ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

3.336 gesamt
Patent
23.11.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1372038 Optik & Fototechnik erteilt
23.11.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1598705 Optik & Fototechnik
26.10.2005
Appareil lithographique et méthode de fabrication d'un dispositif
EP1566697 Optik & Fototechnik
19.10.2005
Lithographischer Apparat, Kontrollsystem und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1586947 Optik & Fototechnik
05.10.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1582927 Optik & Fototechnik
05.10.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1582930 Optik & Fototechnik
28.09.2005
Streulichtbestimmung in einem lithographischen Projektionsapparat
EP1411393 Optik & Fototechnik
28.09.2005
Lithographischer Apparat, Lorentz-Aktuator und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1580602 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.09.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1571494 Optik & Fototechnik
31.08.2005
Verfahren zur Messung der Ausrichtung eines Substrats bezüglich einer Referenz-Ausrichtmarke
EP1348149 Optik & Fototechnik erteilt
31.08.2005
Lithographisches Herstellungsverfahren mit einem Überdeckungsmessverfahren
EP1348150 Optik & Fototechnik erteilt
31.08.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1569034 Optik & Fototechnik
31.08.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1569035 Optik & Fototechnik
24.08.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1566698 Optik & Fototechnik
17.08.2005
Lasererzeugtes Plasma-Strahlungssystem mit Kontaminationsschutz
EP1491963 Optik & Fototechnik
17.08.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und Drehwinkelkodierer
EP1473597 Optik & Fototechnik
04.08.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005071486 Optik & Fototechnik
03.08.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1542076 Optik & Fototechnik
03.08.2005
T-Gate Herstellung
EP1560260 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2005
Optisches Element, dasselbe verwendender lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1557722 Optik & Fototechnik
21.07.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005066716 Optik & Fototechnik
20.07.2005
Lithographischer Apparat mit einer temperierten Schleuseneinrichtung
EP1457830 Optik & Fototechnik
14.07.2005
Lithographic apparatus having a debris-mitigation system, a source for producing euv radiation having a debris mitigation system and a method for mitigating debris
WO2005064401 Optik & Fototechnik
14.07.2005
Lithographic apparatus with a debris-mitigation system
WO2005064411 Optik & Fototechnik
06.07.2005
System und Verfahren zur Ansteuerung eines Körpers mittels eines Piezoaktors
EP1548855 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2005
Thermische Verformung eines Wafers in einem lithographischen Verfahren
EP1548504 Optik & Fototechnik
23.06.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005057280 Optik & Fototechnik
16.06.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005054955 Optik & Fototechnik
08.06.2005
Lithographischer Projektionsapparat
EP1026550 Optik & Fototechnik erteilt
08.06.2005
Lithographischer Projektionsapparat
EP1052548 Optik & Fototechnik erteilt
08.06.2005
EUV-Beleuchtungssystem und Lithographischer Apparat
EP1538484 Optik & Fototechnik
02.06.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005050326 Optik & Fototechnik
18.05.2005
Retikelhalter
EP1531363 Verpackungs- & Fördertechnik Optik & Fototechnik
18.05.2005
Lithographischer Apparat mit Unterdrückung von Kontamination
EP1531365 Optik & Fototechnik
11.05.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1211562 Optik & Fototechnik erteilt
11.05.2005
Strahlungsdetektor
EP1530091 Optik & Fototechnik
04.05.2005
Lithographisches Gerät sowie Methode zur Herstellung eines Elements
EP1528430 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
04.05.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517188 Optik & Fototechnik
27.04.2005
Spiegel für ein Lithographiegerät, Lithographiegerät mit einem solchen und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
EP1526550 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
27.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und eine Messeinrichtung
EP1526408 Optik & Fototechnik

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen