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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
21.11.2019
Illumination source for an inspection apparatus, inspection apparatus and inspection method
WO2019219336
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.11.2019
High stability collimator assembly, lithographic apparatus, and method
WO2019219389
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Lithographisches System mit einem Modul zur Differentiellen Interferometrie
EP2691812
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.11.2019
Stützstruktur für einen Wafertisch
EP2753980
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Photonenquelle, Messgerät, Lithographisches System und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2859410
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.11.2019
Beleuchtungsquelle für eine Inspektionsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
EP3570109
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.11.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung von Elektromagnetischen Streuungseigenschaften einer Struktur
EP3570108
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Schätzung eines Parameters eines Substrats
EP3570110
Optik & Fototechnik
14.11.2019
Method for determining an electromagnetic field associated with a computational lithography mask model
WO2019214909
Optik & Fototechnik
14.11.2019
Vibration isolation system and lithographic apparatus
WO2019214930
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
13.11.2019
Objekthalter und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
EP2979135
Optik & Fototechnik
07.11.2019
Inspection tool, inspection method and computer program product
WO2019211061
Optik & Fototechnik
07.11.2019
Multi-beam inspection apparatus
WO2019211072
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2019
E-beam apparatus
WO2019211123
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Elektrostatische Klemme, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Klemme
EP2208224
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Durchführungsvorrichtung und Signalleiterbahnanordnung
EP3563456
Elektrische Energietechnik
06.11.2019
Vorrichtung mit Verwendung mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
EP3563400
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP3563199
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.11.2019
Verfahren und System zur Herstellung von Einzigartigen Chips unter Verwendung eines Lithografiesystems mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP3563198
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Prüfwerkzeug, Prüfverfahren und Computerprogrammprodukt
EP3564754
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Pneumatic support device and lithographic apparatus with pneumatic support device
WO2019206517
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Stage apparatus, lithographic apparatus, control unit and method
WO2019206548
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2019
Tubular linear actuator, patterning device masking device and lithographic apparatus
WO2019206531
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
31.10.2019
Alignment method and apparatus
WO2019206579
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Frame assembly, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2019206595
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Reflective optical element for a radiation beam
WO2019206637
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Alignment sensor apparatus for process sensivity compensation
WO2019206586
Optik & Fototechnik
30.10.2019
Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Merkmals
EP3559754
Optik & Fototechnik
30.10.2019
Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP3559752
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2019
Cleaning device and method of cleaning
WO2019201516
Optik & Fototechnik
24.10.2019
Pixel shape and section shape selection for large active area high speed detector
WO2019201544
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2019
Method of determining a value of a parameter of interest of a target formed by a patterning process
WO2019201697
Optik & Fototechnik
23.10.2019
Verfahren zur Bestimmung eines Wertes eines Interessierenden Parameters eines durch einen Strukturierungsprozess Gebildeten Ziels
EP3557327
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Lithographic apparatus
WO2019197091
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Metrology method and apparatus
WO2019197126
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Level sensor and lithographic apparatus
WO2019197111
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Method of determining a characteristic of a structure, and metrology apparatus
WO2019197117
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Model based reconstruction of semiconductor structures
WO2019197129
Optik & Fototechnik
17.10.2019
Apparatus and method
WO2019197128
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2019
Modellbasierte Rekonstruktion von Halbleiterstrukturen
EP3553602
Optik & Fototechnik

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171
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67
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60
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55
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39
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35

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