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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
16.10.2019
Messverfahren und -Vorrichtung, Computerprogramm und Lithographisches System
Optik & Fototechnik
10.10.2019
Architecture for large active area high speed detector
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2019
Spatial modulation of a light beam
Elektronik & Schaltungstechnik
10.10.2019
Inspection apparatus having non-linear optics
Optik & Fototechnik
09.10.2019
Substrathalter, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
Optik & Fototechnik
03.10.2019
Method for evaluating control strategies in a semicondcutor manufacturing process
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Control method for a scanning exposure apparatus
Optik & Fototechnik
03.10.2019
Apparatus for and method of controlling debris in an euv light source
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2019
Substrathalter und Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Steuerungsverfahren für ein Abtastbelichtungsapparat
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Method of metrology and associated apparatuses
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.09.2019
Method for determining curvilinear patterns for patterning device
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.09.2019
Instant tuning method for accelerating resist and etch model calibration
Optik & Fototechnik
25.09.2019
Trägervorrichtung, Lithografievorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.09.2019
Verfahren für Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.09.2019
Control system and method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Inspection system, lithographic apparatus, and inspection method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Inspection tool and inspection method
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.09.2019
Verfahren zum Klemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2019
Herstellung von Radioisotopen
Elektrische Energietechnik
18.09.2019
Bestimmung einer Optimalen Betriebsparametereinstellung eines Metrologiesystems
Optik & Fototechnik
18.09.2019
Inspektionswerkzeug, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.09.2019
Inspektionssystem, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2019
Radiation shielding device and apparatus comprising such shielding device
Optik & Fototechnik
12.09.2019
Prolonging Optical Element Lifetime in an Euv Lithography System
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.09.2019
Multi-beam inspection apparatus with improved detection performance of signal electrons
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2019
Anti-reflection optical substrates and methods of manufacture
Optik & Fototechnik
06.09.2019
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
06.09.2019
Measurement apparatus and method for predicting aberrations in a projection system
Optik & Fototechnik
06.09.2019
Radiation source, lithographic system and method
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
06.09.2019
Apodization measurement for lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
06.09.2019
Metrology apparatus and method for determining a characteristic of one or more structures on a substrate
Optik & Fototechnik
06.09.2019
Method and apparatus for forming a patterned layer of carbon, method of forming a patterned layer of material
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
Optik & Fototechnik
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Kohlenstoffschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.08.2019
Cleaning apparatus and methods of cleaning
Optik & Fototechnik
29.08.2019
Metrology method and apparatus with increased bandwidth
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.08.2019
Sensor system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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