ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
5.380 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
16.10.2019
Messverfahren und -Vorrichtung, Computerprogramm und Lithographisches System
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.04.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2019
Architecture for large active area high speed detector
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2019
Spatial modulation of a light beam
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2019
Inspection apparatus having non-linear optics
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.10.2019
Substrathalter, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
Vertretung
Dung, Shiang-Lung · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2019
Method for evaluating control strategies in a semicondcutor manufacturing process
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2019
Control method for a scanning exposure apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2019
Apparatus for and method of controlling debris in an euv light source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.10.2019
Substrathalter und Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2013
Erteilt am 02.10.2019
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.10.2019
Steuerungsverfahren für ein Abtastbelichtungsapparat
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.03.2018
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.03.2018
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2019
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2019
Method of metrology and associated apparatuses
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2019
Method for determining curvilinear patterns for patterning device
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2019
Instant tuning method for accelerating resist and etch model calibration
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.03.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.09.2019
Trägervorrichtung, Lithografievorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.05.2013
Erteilt am 25.09.2019
Vertretung
Dung, Shiang-Lung · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.09.2019
Verfahren für Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.03.2018
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2019
Control system and method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2019
Inspection system, lithographic apparatus, and inspection method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2019
Inspection tool and inspection method
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.09.2019
Verfahren zum Klemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.02.2010
Erteilt am 18.09.2019
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.09.2019
Herstellung von Radioisotopen
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.11.2016
Erteilt am 18.09.2019
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.09.2019
Bestimmung einer Optimalen Betriebsparametereinstellung eines Metrologiesystems
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.10.2017
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.09.2019
Inspektionswerkzeug, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.03.2018
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.09.2019
Inspektionssystem, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.03.2018
Anhängig
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2019
Radiation shielding device and apparatus comprising such shielding device
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2019
Prolonging Optical Element Lifetime in an Euv Lithography System
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2019
Multi-beam inspection apparatus with improved detection performance of signal electrons
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2019
Anti-reflection optical substrates and methods of manufacture
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Measurement apparatus and method for predicting aberrations in a projection system
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Radiation source, lithographic system and method
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Apodization measurement for lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Metrology apparatus and method for determining a characteristic of one or more structures on a substrate
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2019
Method and apparatus for forming a patterned layer of carbon, method of forming a patterned layer of material
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.02.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Kohlenstoffschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2019
Cleaning apparatus and methods of cleaning
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2019
Metrology method and apparatus with increased bandwidth
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2019
Sensor system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2019
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil