ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

3.336 gesamt
Patent
20.04.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und Positionierungssystem
EP1524556 Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524557 Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524558 Optik & Fototechnik
20.04.2005
Eingebettete Aetzstopschicht für Phasenschiebermasken, sowie ebene Phasenschiebermaske zur Reduzierung von Wellenleitereffekten und Topographie bedingten Effekten
EP1439418 Optik & Fototechnik
06.04.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
EP1498780 Optik & Fototechnik
06.04.2005
Steuerung eines lithographischen Apparates
EP1521122 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1519230 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1517183 Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517184 Optik & Fototechnik
23.03.2005
Ausrichtungs- oder Überlagerungs-Markenstruktur
EP1498779 Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
EP1517185 Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517186 Optik & Fototechnik
16.03.2005
Verfahren zum Schutz eines optischen Elements, und optisches Element
EP1515188 Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513018 Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513017 Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513022 Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Maske Und/oder einer Membranabdeckung
EP1473598 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2005
Mehrschichtiger Spiegel mit erhöhter Reflektivität für Extrem-Ultraviolett-Strahlung und lithographische Projektionsvorrichtung mit einem solchen Spiegel
EP1065532 Optik & Fototechnik erteilt
02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1510867 Optik & Fototechnik
02.03.2005
Lithographischer Apparat
EP1510868 Optik & Fototechnik
02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1510870 Optik & Fototechnik
16.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Justierung des Apparats
EP1507172 Optik & Fototechnik
09.02.2005
Isolierende Stützvorrichtungen zur Verwendung mit Vakuumkammern und deren Anwendung in lithographischen Projektionsapparaten
EP1500983 Optik & Fototechnik
09.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1505444 Optik & Fototechnik
02.02.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergesteller Artikel
EP1503243 Optik & Fototechnik
02.02.2005
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1503244 Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1500979 Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
EP1500980 Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
EP1500987 Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1500981 Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1500982 Optik & Fototechnik
19.01.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
EP1498777 Optik & Fototechnik
19.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1498778 Optik & Fototechnik
12.01.2005
Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
EP1496521 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.01.2005
Methode und System zur vorwärts gerichteten Overlay-Korrektur musterinduzierter Bildverzerrung- und verschiebung, und lithographisches Projektionsgerät zur Benutzung derselben
EP1496397 Optik & Fototechnik
06.01.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005001572 Optik & Fototechnik
06.01.2005
Device manufacturing method and device
WO2005001461 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.01.2005
Betriebsweise eines lithographischen Projektionsapparates
EP1164436 Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1265106 Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1494074 Optik & Fototechnik

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen