ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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3.336 gesamt| Patent | |||
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20.04.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und Positionierungssystem
EP1524556
Optik & Fototechnik
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20.04.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524557
Optik & Fototechnik
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20.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524558
Optik & Fototechnik
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20.04.2005
Eingebettete Aetzstopschicht für Phasenschiebermasken, sowie ebene Phasenschiebermaske zur Reduzierung von Wellenleitereffekten und Topographie bedingten Effekten
EP1439418
Optik & Fototechnik
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06.04.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
EP1498780
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.07.2004
Anhängig
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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06.04.2005
Steuerung eines lithographischen Apparates
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30.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
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Status
Angemeldet am 29.09.2003
Anhängig
Vertretung
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23.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1517183
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517184
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.09.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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23.03.2005
Ausrichtungs- oder Überlagerungs-Markenstruktur
EP1498779
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.06.2004
Anhängig
Vertretung
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23.03.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
EP1517185
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.07.2004
Anhängig
Vertretung
Maas, Abraham Johannes · Veldhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Barendregt, Frank, Drs · Rijswijk
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23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517186
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2004
Anhängig
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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16.03.2005
Verfahren zum Schutz eines optischen Elements, und optisches Element
EP1515188
Optik & Fototechnik
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09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513018
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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09.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513017
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513022
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.08.2004
Anhängig
Vertretung
Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
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09.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Maske Und/oder einer Membranabdeckung
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Status
Angemeldet am 29.04.2004
Anhängig
Vertretung
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
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02.03.2005
Mehrschichtiger Spiegel mit erhöhter Reflektivität für Extrem-Ultraviolett-Strahlung und lithographische Projektionsvorrichtung mit einem solchen Spiegel
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02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1510867
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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02.03.2005
Lithographischer Apparat
EP1510868
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2003
Anhängig
Vertretung
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02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1510870
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.08.2004
Anhängig
Vertretung
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16.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Justierung des Apparats
EP1507172
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.08.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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09.02.2005
Isolierende Stützvorrichtungen zur Verwendung mit Vakuumkammern und deren Anwendung in lithographischen Projektionsapparaten
EP1500983
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.04.2000
Anhängig
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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09.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1505444
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.07.2004
Anhängig
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Leeming, John Gerard · London
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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02.02.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergesteller Artikel
EP1503243
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.07.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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02.02.2005
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1503244
Optik & Fototechnik
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26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1500979
Optik & Fototechnik
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26.01.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
EP1500980
Optik & Fototechnik
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26.01.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
EP1500987
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.07.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1500981
Optik & Fototechnik
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26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1500982
Optik & Fototechnik
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19.01.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
EP1498777
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.07.2003
Anhängig
Vertretung
Prins, Adrianus Willem · Den Haag
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
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19.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1498778
Optik & Fototechnik
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12.01.2005
Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
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12.01.2005
Methode und System zur vorwärts gerichteten Overlay-Korrektur musterinduzierter Bildverzerrung- und verschiebung, und lithographisches Projektionsgerät zur Benutzung derselben
EP1496397
Optik & Fototechnik
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06.01.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005001572
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2004
Anhängig
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06.01.2005
Device manufacturing method and device
WO2005001461
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2004
Anhängig
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05.01.2005
Betriebsweise eines lithographischen Projektionsapparates
EP1164436
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2001
Anhängig
Vertretung
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
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05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1265106
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.06.2002
Anhängig
Vertretung
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05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1494074
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2003
Anhängig
Vertretung
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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