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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
01.01.2020
Substrattisch, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Lithografischen Vorrichtung
EP3387491
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP3391149
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.01.2020
Verfahren zur Durchführung eines Herstellungsprozesses und Zugehörige Vorrichtungen
EP3588190
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Abstimmungsstrukturierungsvorrichtung basierend auf einer Optischen Eigenschaft
EP3588191
Optik & Fototechnik
26.12.2019
Method for controlling a manufacturing apparatus and associated apparatuses
WO2019242922
Optik & Fototechnik
26.12.2019
Sensor apparatus for lithographic measurements
WO2019243017
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.12.2019
Verfahren zur Steuerung einer Fertigungsvorrichtung und Zugehörige Vorrichtungen
EP3584637
Optik & Fototechnik
19.12.2019
Metrology apparatus
WO2019238363
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.12.2019
Determining significant relationships between parameters describing operation of an apparatus
WO2019238348
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.12.2019
Wafer inspection based on electron beam induced current
WO2019238373
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.12.2019
Machine learning based inverse optical proximity correction and process model calibration
WO2019238372
Optik & Fototechnik
19.12.2019
System and method for scanning a sample using multi-beam inspection apparatus
WO2019238553
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.12.2019
Apparatus for imaging an object at multiple positions
WO2019238640
Optik & Fototechnik
18.12.2019
Bestimmung von Signifikanten Beziehungen zwischen Parametern, die den Betrieb einer Vorrichtung Beschreiben
EP3582007
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
18.12.2019
Reflektor und Verfahren zur Herstellung eines Reflektors
EP3582009
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.12.2019
Methods using fingerprint and evolution analysis
WO2019233743
Optik & Fototechnik
12.12.2019
Metrology apparatus and method for determining a characteristic of one or more structures on a substrate
WO2019233738
Optik & Fototechnik
12.12.2019
Method for improving a process model for a patterning process
WO2019233711
Optik & Fototechnik
12.12.2019
Assembly comprising a cryostat and layer of superconducting coils and motor system provided with such an assembly
WO2019233698
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
11.12.2019
Erstellung eines Stichprobenplans
EP3579051
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
EP3579052
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Belichtungsvorrichtung
EP3577525
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Lithografisches Verfahren
EP3504593
Optik & Fototechnik
05.12.2019
Lithographic apparatus
WO2019228710
Optik & Fototechnik
05.12.2019
Measurement apparatus and method of measuring a target
WO2019228746
Optik & Fototechnik
05.12.2019
Metrology method, apparatus and computer program
WO2019228738
Optik & Fototechnik
05.12.2019
Lithographic apparatus
WO2019228784
Optik & Fototechnik
05.12.2019
Particle beam apparatus
WO2019228884
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2019
Electron beam apparatus, inspection tool and inspection method
WO2019228922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2019
Teilchenstrahlvorrichtung
EP3575873
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2019
Elektronenstrahlvorrichtung, Prüfwerkzeug und Prüfverfahren
EP3576128
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2019
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
EP3575874
Optik & Fototechnik
04.12.2019
Messvorrichtung und Verfahren zur Messung eines Ziels
EP3575875
Optik & Fototechnik
28.11.2019
Bandwidth calculation system and method for determining a desired wavelength bandwidth for a measurement beam in a mark detection system
WO2019223976
Optik & Fototechnik
28.11.2019
Method for determining stack configuration of substrate
WO2019224176
Optik & Fototechnik
28.11.2019
Apparatus for and method of in situ clamp surface roughening
WO2019224040
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
27.11.2019
Positioniersystem für eine Trägerplatte und Lithographischer Apparat
EP3100115
Optik & Fototechnik
27.11.2019
Bandbreitenberechnungssystem und Verfahren zum Bestimmen einer Gewünschten Wellenlängenbandbreite für einen Messstrahl in einem Markierungserfassungssystem
EP3572881
Optik & Fototechnik
21.11.2019
Estimating a parameter of a substrate
WO2019219285
Optik & Fototechnik
21.11.2019
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure
WO2019219314
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
615
Elektronik & Schaltungstechnik
366
Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
Maschinenelemente & Fluidtechnik
67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
Verfahrens- & Trenntechnik
55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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