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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
22.01.2009
Projektionsobjektiv
WO2009010213
Optik & Fototechnik
15.01.2009
Method of measuring a deviation of an actual shape from a target shape of an optical surface
WO2009006914
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.01.2009
Method of measuring a deviation an optical surface from a target shape
WO2009006919
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.01.2009
Method of measuring a deviation of an optical surface from a target shape
WO2009007088
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.01.2009
Optical element and method of calibrating a measuring apparatus comprising a wave shaping structure
WO2009007087
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14.01.2009
Verwendung eines Beleuchtungssystems für die Euv-Lithografie
EP2013663
Optik & Fototechnik
14.01.2009
Optisches Projektionssystem
EP1690139
Optik & Fototechnik
07.01.2009
Projektionsbelichtungssystem und Verwendung Desselben
EP2010964
Optik & Fototechnik
24.12.2008
Optisches Mikrolithographie-Projektionssystem und Verfahren zur Herstellung einer Entsprechenden Vorrichtung
EP2005249
Optik & Fototechnik
18.12.2008
Projection exposure system for microlithography
WO2008152087
Optik & Fototechnik
17.12.2008
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung und Überwachung einer Position eines Halteelements
EP2003526
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2008
Reflektierendes Optisches Element mit Exzentrischem Optischem Durchgang
EP2002301
Optik & Fototechnik
11.12.2008
Methods for producing an antireflection surface on an optical element, optical element and associated optical arrangement
WO2008148462
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
11.12.2008
Reflective optical element and method for operating an euv lithography device
WO2008148516
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.12.2008
Beleuchtungssystem mit wenigstens einem Akustoptischen Spiegel
WO2008145568
Optik & Fototechnik
04.12.2008
Projection objective for microlithography, microlithography projection exposure apparatus with said projection objective, microlithographic manufacturing method for components, as well as a component manufactured with said method
WO2008145295
Optik & Fototechnik
03.12.2008
Projektionsobjektiv für die Lithographie
EP1998223
Optik & Fototechnik
20.11.2008
Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
WO2008138560
Optik & Fototechnik
06.11.2008
Mirror matrix for a microlithographic projection exposure apparatus
WO2008131930
Optik & Fototechnik
06.11.2008
Illumination system for illuminating a mask in a microlithographic exposure apparatus
WO2008131928
Optik & Fototechnik
05.11.2008
Verfahren zum Ausrichten eines Optischen Systems
EP1987390
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.10.2008
Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Abbildungsfehlern
EP1982233
Optik & Fototechnik
16.10.2008
Optical element module with imaging error and position correction
WO2008122313
Optik & Fototechnik
16.10.2008
Optical element module with imaging error and position correction
WO2008122626
Optik & Fototechnik
16.10.2008
Optical correction element and method for the correction of temperature-induced imaging aberrations in optical systems, projection objective and projection exposure apparatus for semiconductor lithography
WO2008122410
Optik & Fototechnik
09.10.2008
Support for a component of an optical device
WO2008119386
Optik & Fototechnik
09.10.2008
Optical system, in particular illumination device or projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus
WO2008119794
Optik & Fototechnik
02.10.2008
Microlithographic method
WO2008116477
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2008
Korrektur Optischer Elemente mittels Flach Eingestrahltem Korrekturlicht
WO2008116886
Optik & Fototechnik
25.09.2008
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Elements mit mindestens einer Freiformfläche mit Hoher Formgenauigkeit und Geringer Oberflächenrauhigkeit
WO2008113858
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
25.09.2008
Verfahren zum Verbessern von Abbildungseigenschaften eines Optischen Systems sowie Derartiges Optisches System
WO2008113605
Optik & Fototechnik
18.09.2008
Optical Imaging Arrangement
WO2008110212
Optik & Fototechnik
18.09.2008
Diffractive component, interferometer arrangement, method for qualifying a dual diffraction grating, method of manufacturing an optical element, and interferometric method
WO2008110239
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.09.2008
Projektionsobjektiv einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2008110501
Optik & Fototechnik
17.09.2008
Projektionsobjektiv mit Dezentralisierter Steuerung
EP1969428
Optik & Fototechnik
12.09.2008
Verfahren zur Messung der Ausgasung sowie Euv-Lithographievorrichtung und Messaufbau
WO2008107136
Optik & Fototechnik
12.09.2008
Verfahren zum Reinigen einer Euv-Lithographievorrichtung, Verfahren zur Messung der Restgasatmosphäre Bzw. der Kontamination sowie Euv-Lithographievorrichtung
WO2008107166
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.09.2008
Optical Imaging Arrangement
WO2008104220
Optik & Fototechnik
04.09.2008
Catadioptric projection objective with pupil correction
WO2008104192
Optik & Fototechnik
04.09.2008
Abbildungsvorrichtung mit Auswechselbaren Blenden sowie Verfahren Hierzu
WO2008104516
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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