Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
19.12.2024	19.12.2024 Substrate etching with aerostatic bearings WO2024258706 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2024	19.12.2024 Multiple Flow-Over-Vapor Ampule Delivery Systems WO2024258764 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2024	19.12.2024 Substrate etching with plasma jet WO2024258750 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2024	12.12.2024 Contemporaneous etching of oxide and deposition of metal-containing substance on patterning mask WO2024254554 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2024	12.12.2024 Methods to provide void free trench fill for logic and memory applications WO2024254272 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2024	11.12.2024 Wafer-Spannfutteranordnung mit Wärmedämmung für Rf-Verbindungen EP4473558 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2023 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2024	11.12.2024 Steuerung der Direktionalität bei der Atomschichtätzung EP3586357 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2018 Erteilt am 11.12.2024 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2024	05.12.2024 Apparatuses and methods to control wafer warpage compensation along x/y directions WO2024249699 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2024	05.12.2024 Automated machine learning with spatial sensor WO2024249436 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2024	05.12.2024 Gas distributor including gas and coolant plenums WO2024249317 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2024	05.12.2024 System and associated methods for controlling radiofrequency power delivery to plasma processing chamber WO2024249397 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2024	05.12.2024 Spatial Awareness System in Semiconductor Processing Tools WO2024248995 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2024	04.12.2024 Verbesserter Euv-Unterschichteffekt mit Diffusionssperrschicht EP4470029 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.01.2023 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Vorrichtung zur Messung der Masse Und/oder der Masseänderung eines Gegenstandes EP4716831 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2024 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Cyclic etching and deposition to control film profile WO2024243318 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Showerhead Optimization For Reducing Showerhead Impedance in Semiconductor Fabrication Equipment WO2024243145 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Surface finishing of internal geometries for manifolds WO2024243220 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Aluminum Fluoride Etch From Aluminum-Containing Components WO2024243158 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Inhibited Atomic Layer Deposition in Trench Features WO2024243143 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Low pressure chemical vapor deposition of silicon oxide WO2024243002 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2024	28.11.2024 Self-Cleaning Inductively Coupled Plasma Source WO2024242866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2024	21.11.2024 Showerhead Inlet Feed Manifold WO2024238276 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.11.2024	20.11.2024 Plasmaradikale Randringsperrdichtung EP4463883 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2022 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2024	14.11.2024 Oxidative surface treatments on underlayers to reduce the dose to size of euv photoresists WO2024233496 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2024	14.11.2024 WO2024233369 WO2024233369 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2024	14.11.2024 Apparatus and methods to determine hole blockage in a showerhead WO2024233130 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Systems and methods for achieving uniformity with multiple coils WO2024228931 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Systems and techniques for semiconductor processing and foreline cleaning WO2024229282 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Filament for heater pedestal WO2024229046 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Adjusting Cathode Temperature in Electrodeposition WO2024228849 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Plasma pretreatment for selective adsorption of aminosilane inhibitor WO2024228843 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Multi-channel precursor delivery system WO2024228870 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2024	07.11.2024 Process tuning system for substrate processing systems WO2024228827 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.11.2024	06.11.2024 Systeme und Verfahren zur Impulsbreitenmodulierten Dosissteuerung EP4391011 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2018 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2024	31.10.2024 Vibration-based health monitoring system for valves of a gas delivery system WO2024226280 Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2024	31.10.2024 System, method, and apparatus for flow tuning WO2024226137 Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2024	24.10.2024 Isolation Valve Gasket WO2024220242 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2024	24.10.2024 Capacitance Reduction WO2024220583 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.04.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2024	23.10.2024 Durch Siliciumhaltige Reaktanden Unterstützte Niedertemperatur-Molybdenabscheidung EP4449479 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2022 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2024	23.10.2024 Hexapod-Basierte Sockelsysteme zur Verwendung in Halbleiterverarbeitungsoperationen EP4449489 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2022 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen