Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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09.07.2020
Metal Contamination Reduction in Substrate Processing Systems With Transformer Coupled Plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2019
Anhängig
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09.07.2020
Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.12.2019
Anhängig
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09.07.2020
Monitoring process wall depositions and coatings
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.12.2019
Anhängig
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09.07.2020
Split Chamber Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2019
Anhängig
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08.07.2020
Pecvd-Abscheidungssystem zur Abscheidung auf der Selektiven Seite eines Substrats
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.08.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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08.07.2020
Prozesssteuerung-Methode für Verbesserte Wafer-Gleichmässigkeit unter Verwendung Integrierter oder Selbständiger Metrologie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2004
Erteilt am 08.07.2020
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Käck, Jürgen · Landsberg am Lech
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25.06.2020
Vacuum chamber opening system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2019
Anhängig
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25.06.2020
Dry development of resists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2019
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18.06.2020
Method and apparatus for treating semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2019
Anhängig
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18.06.2020
Multilayer coatings of component parts for a work piece processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2019
Anhängig
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18.06.2020
Atomic Layer Deposition On 3D Nand Structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2019
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18.06.2020
Real-time health monitoring of semiconductor manufacturing equipment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2019
Anhängig
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18.06.2020
Low Temperature Direct Copper-Copper Bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2019
Anhängig
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18.06.2020
Etching carbon layer using doped carbon as a hard mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2019
Anhängig
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11.06.2020
Void Free Low Stress Fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2019
Anhängig
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11.06.2020
Etching isolation features and dense features within a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2019
Anhängig
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11.06.2020
Long-life extended temperature range embedded diode design for electrostatic chuck with multiplexed heaters array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2019
Anhängig
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11.06.2020
Pin-Lifter Test Substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2018
Anhängig
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04.06.2020
Metal Interconnect Structure By Subtractive Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2019
Anhängig
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04.06.2020
Throughput improvement with interval conditioning purging
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2019
Anhängig
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04.06.2020
Method and apparatus for atomic layer deposition or chemical vapor deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2019
Anhängig
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04.06.2020
Line bending control for memory applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2019
Anhängig
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04.06.2020
Pedestal including vapor chamber for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.11.2019
Anhängig
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04.06.2020
Ceramic pedestal with multi-layer heater for enhanced thermal uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2019
Anhängig
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03.06.2020
Elektro-Oxidativer Metallabtrag in der Through-Mask-Verbindungsherstellung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.07.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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28.05.2020
Cross Flow Conduit For Foaming Prevention in High Convection Plating Cells
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2019
Anhängig
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28.05.2020
Molybdenum templates for tungsten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2019
Anhängig
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28.05.2020
Dual-Phase Cooling in Semiconductor Manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2019
Anhängig
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28.05.2020
Wireless electronic-control system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 20.11.2019
Anhängig
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28.05.2020
Method for determining cleaning endpoint
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.11.2018
Anhängig
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22.05.2020
Atomic layer etch systems for selectively etching with halogen-based compounds
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2019
Anhängig
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22.05.2020
Methods for making hard masks useful in next-generation lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.11.2019
Anhängig
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22.05.2020
Bubble Defect Reduction
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2019
Anhängig
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14.05.2020
Method for etching an etch layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.10.2019
Anhängig
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14.05.2020
Nitride films with improved etch selectivity for 3d nand integration
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2019
Anhängig
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14.05.2020
Directional Deposition in Etch Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2019
Anhängig
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14.05.2020
Enhanced automatic wafer centering system and techniques for same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2019
Anhängig
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07.05.2020
Electrodeposition of nanotwinned copper structures
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2019
Anhängig
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07.05.2020
Method for generating high quality plasma for enhanced atomic layer deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 01.11.2019
Anhängig
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07.05.2020
Identification of and compensation for a failure in a heater array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2019
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31