Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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06.06.2019
Method and apparatus for real-time monitoring of plasma chamber wall condition
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2018
Anhängig
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31.05.2019
Atomic layer deposition and etch for reducing roughness
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.11.2018
Anhängig
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31.05.2019
Atomic layer deposition and etch in a single plasma chamber for critical dimension control
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2018
Anhängig
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31.05.2019
Atomic layer deposition and etch in a single plasma chamber for fin field effect transistor formation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2018
Anhängig
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31.05.2019
Selective growth of sio2 on dielectric surfaces in the presence of copper
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2018
Anhängig
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23.05.2019
Multi-zone cooling of plasma heated window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.11.2018
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23.05.2019
Active feedback control of subsystems of a process module
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 07.11.2018
Anhängig
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23.05.2019
Systems and methods for applying frequency and match tuning in a non-overlapping manner for processing substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2018
Anhängig
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23.05.2019
Method for cleaning chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.10.2018
Anhängig
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23.05.2019
Multi zone pedestal for ald film property correction and tunability
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2018
Anhängig
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23.05.2019
Systems and methods for depositing a homogenous interface for pecvd metal-doped carbon hardmasks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.11.2018
Anhängig
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23.05.2019
Self-Limiting Growth
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2018
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16.05.2019
Method and apparatus for anisotropic pattern etching and treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2018
Anhängig
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09.05.2019
Methods and apparatuses for increasing reactor processing batch size
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.10.2018
Anhängig
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09.05.2019
Controlling Plating Electrolyte Concentration On an Electrochemical Plating Apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2018
Anhängig
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09.05.2019
Etching metal oxide substrates using ale and selective deposition
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.10.2018
Anhängig
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25.04.2019
Methods and systems for controlling plasma glow discharge in a plasma chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2018
Anhängig
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25.04.2019
Convection optimization for mixed feature electroplating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2018
Anhängig
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25.04.2019
Multibath plating of a single metal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2018
Anhängig
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11.04.2019
Radiofrequency (rf) filter for multi-frequency rf bias
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2018
Anhängig
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04.04.2019
Atomic layer etching of metal oxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.07.2018
Anhängig
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28.03.2019
Systems and methods for fabrication of a redistribution layer to avoid etching of the layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Dielectric gapfill of high aspect ratio features utilizing a sacrificial etch cap layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Thickness compensation by modulation of number of deposition cycles as a function of chamber accumulation for wafer to wafer film thickness matching
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Methods and apparatus for controlling delivery of cross flowing and impinging electrolyte during electroplating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Turbulent Flow Spiral Multi-Zone Precursor Vaporizer
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2018
Anhängig
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14.03.2019
Electrochemical doping of thin metal layers employing underpotential deposition and thermal treatment
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.09.2018
Anhängig
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14.03.2019
High temperature rf connection with integral thermal choke
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.08.2018
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07.03.2019
Gas exhaust by-product measurement system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.08.2018
Anhängig
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07.03.2019
Systems and methods for achieving peak ion energy enhancement with a low angular spread
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.08.2018
Anhängig
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06.03.2019
Untere Elektrodenanordnung für eine Plasmaverarbeitungskammer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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06.03.2019
Verfahren zur Herstellung eines Leitenden Grabens oder einer Durchkontaktierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.02.2019
Methods and apparatus for flow isolation and focusing during electroplating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.08.2018
Anhängig
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28.02.2019
Substrate connector including a spring pin assembly for electrostatic chucks
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.08.2018
Anhängig
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21.02.2019
Selective Electroless Electrochemical Atomic Layer Deposition in an Aqueous Solution Without External Voltage Bias
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.08.2018
Anhängig
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21.02.2019
Methods for improving performance in hafnium oxide-based ferroelectric material using plasma and/or thermal treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2018
Anhängig
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21.02.2019
Metal fill process for three-dimensional vertical nand wordline
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.08.2018
Anhängig
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21.02.2019
Geometrically selective deposition of a dielectric film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.08.2018
Anhängig
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14.02.2019
Systems and methods for plasma-less de-halogenation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2018
Anhängig
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14.02.2019
Ultra-high vacuum transport and storage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2018
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31