Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.253 gesamt| Patent | |||
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08.10.2009
Process for producing silicon nitride film, process for producing silicon nitride film laminate, computer-readable storage medium, and plasma cvd device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Method for depositing high stress thin film and method for fabricating semiconductor integrated circuit device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Hole forming method, hole forming apparatus, and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2009
Anhängig
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08.10.2009
Plasma treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Mos semiconductor memory device and a method for manufacturing the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Method for manufacturing a mos semiconductor memory device, and plasma cvd device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Gas filter and gas feeder
Verfahrens- & Trenntechnik
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Angemeldet am 30.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Three-Way Valve
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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08.10.2009
Heat treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2009
Anhängig
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08.10.2009
Liquid raw material vaporizer and film forming apparatus using the same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2009
Anhängig
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07.10.2009
Prozessflüssigkeitsversorgungssystem, Prozessflüssigkeitsversorgungsverfahren und Speichermedium
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.10.2009
Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.10.2009
Control method and processor of exhaust gas flow rate of processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2008
Anhängig
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01.10.2009
Apparatus for treating surface and method of treating surface
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Film deposition apparatus and method of film deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Gas feeding device, treating device, treating method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Temperature-measuring apparatus, and mounting table structure and heat treatment apparatus having the same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Film forming method and semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2009
Anhängig
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01.10.2009
Method for film formation, apparatus for film formation, and computer-readable recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2009
Anhängig
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01.10.2009
Film forming method, film forming apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.02.2009
Anhängig
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01.10.2009
Method for classifying defects, computer storage medium, and device for classifying defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Method of depositing metallic film and memory medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2009
Anhängig
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01.10.2009
Shower plate and plasma processing device using the same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2009
Anhängig
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30.09.2009
Amorpher Kohlenstofffilm, Halbleiterbauelement, Filmbildungsverfahren, Filmbildungsvorrichtung und Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2007
Anhängig
Vertretung
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24.09.2009
Placing table structure and heat treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2009
Anhängig
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24.09.2009
Power combiner and microwave introduction mechanism
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.03.2009
Anhängig
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24.09.2009
Surface treatment method, showerhead, treatment container, and treatment apparatus using same
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.03.2009
Anhängig
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24.09.2009
Annealing apparatus and overheat prevention system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2009
Anhängig
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24.09.2009
Mono-energetic neutral beam activated chemical processing system and method of using
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2009
Anhängig
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23.09.2009
Einheit zum Anbringen und Abnehmen eines Deckels für einen Waferträger
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.06.2000
Erteilt am 23.09.2009
Vertretung
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17.09.2009
Microwave introducing mechanism, microwave plasma source and microwave plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.03.2009
Anhängig
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17.09.2009
Autonomous Adaptive Semiconductor Manufacturing
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.03.2009
Anhängig
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17.09.2009
Loading table structure and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2009
Anhängig
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17.09.2009
Autonomous biologically based learning tool
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 05.03.2009
Anhängig
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17.09.2009
Flat antenna member and a plasma processing device provided with same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Photoelectric conversion element structure and solar battery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Void-free copper filling of recessed features using a smooth non-agglomerated copper seed layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Method for curing a porous low dielectric constant dielectric film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Functional Member Having Surface Cleaning Properties
Kunststoff- & Polymertechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2009
Anhängig
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11.09.2009
Porous Member
Verfahrens- & Trenntechnik
Kunststoff- & Polymertechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2009
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56