Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.253 gesamt| Patent | |||
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11.09.2009
Rotating magnet sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Solar Cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2009
Anhängig
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11.09.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2009
Anhängig
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11.09.2009
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.02.2009
Anhängig
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03.09.2009
Method of helping particle detection, method of particle detection, apparatus for helping particle detection, and system for particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.01.2009
Anhängig
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03.09.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2009
Anhängig
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03.09.2009
Plasma etching apparatus and plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.02.2009
Anhängig
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02.09.2009
Verfahren zur Herstellung eines Substratmontagetisches
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.09.2009
Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Solarzelle
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.11.2007
Anhängig
Vertretung
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27.08.2009
Gas supply device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2009
Anhängig
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27.08.2009
Thin film and method for manufacturing semiconductor device using the thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.02.2009
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27.08.2009
Film production method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.02.2009
Anhängig
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27.08.2009
Method for sr-ti-o-base film formation and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.02.2009
Anhängig
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27.08.2009
Method for manufacturing probe supporting plate, computer storage medium and probe supporting plate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.02.2009
Anhängig
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20.08.2009
Semiconductor device and method for manufacturing the same
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Status
Angemeldet am 26.11.2008
Anhängig
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20.08.2009
Applying/developing apparatus, and applying/developing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2009
Anhängig
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20.08.2009
Liquid processing system, liquid processing method and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2009
Anhängig
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20.08.2009
Solar Cell Wherein Solar Photovoltaic Thin Film Is Directly Formed On Base
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2009
Anhängig
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20.08.2009
Pattern forming method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2009
Anhängig
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20.08.2009
Top board of microwave plasma processing device, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.02.2009
Anhängig
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20.08.2009
Plasma measuring method, plasma measuring device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2009
Anhängig
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19.08.2009
Verarbeitungssystem und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.08.2009
Liquid material carburetor, and filming device using the carburetor
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2008
Anhängig
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13.08.2009
Method for modifying insulating film with plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Liquid processing device and liquid processing method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2009
Anhängig
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13.08.2009
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Method for insulating film formation, storage medium from which information is readable with computer, and treatment system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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06.08.2009
Information processing apparatus, information processing method, and program
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2008
Anhängig
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06.08.2009
Abscheidungsvorrichtung und Abscheidungsverfahren
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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06.08.2009
Thin film forming method, plasma film forming apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2008
Anhängig
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06.08.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, electronic device, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Annealing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Organic light-emitting diode, method for manufacturing organic light-emitting diode, manufacturing device for manufacturing organic light-emitting diode, and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Program test device and program
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 23.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Microwave plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2009
Anhängig
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06.08.2009
Method of aftertreatment of amorphous hydrocarbon film and method for manufacturing electronic device by using the aftertreatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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30.07.2009
Method for forming silicon oxide film, storage medium, and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2009
Anhängig
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30.07.2009
Method for integrating selective low-temperature ruthenium deposition into copper metallization of a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.01.2009
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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