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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
11.09.2009
Rotating magnet sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Solar Cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.09.2009
Method of helping particle detection, method of particle detection, apparatus for helping particle detection, and system for particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.09.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2009
Plasma etching apparatus and plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2009
Verfahren zur Herstellung eines Substratmontagetisches
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2009
Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Solarzelle
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Gas supply device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Thin film and method for manufacturing semiconductor device using the thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Film production method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Method for sr-ti-o-base film formation and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Method for manufacturing probe supporting plate, computer storage medium and probe supporting plate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.08.2009
Semiconductor device and method for manufacturing the same
20.08.2009
Applying/developing apparatus, and applying/developing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Liquid processing system, liquid processing method and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Solar Cell Wherein Solar Photovoltaic Thin Film Is Directly Formed On Base
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Pattern forming method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Top board of microwave plasma processing device, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.08.2009
Plasma measuring method, plasma measuring device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2009
Verarbeitungssystem und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Liquid material carburetor, and filming device using the carburetor
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Method for modifying insulating film with plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Liquid processing device and liquid processing method
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
13.08.2009
Method for insulating film formation, storage medium from which information is readable with computer, and treatment system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Information processing apparatus, information processing method, and program
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Abscheidungsvorrichtung und Abscheidungsverfahren
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
06.08.2009
Thin film forming method, plasma film forming apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, electronic device, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Annealing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Organic light-emitting diode, method for manufacturing organic light-emitting diode, manufacturing device for manufacturing organic light-emitting diode, and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.08.2009
Program test device and program
Software & Datenverarbeitung
06.08.2009
Microwave plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Method of aftertreatment of amorphous hydrocarbon film and method for manufacturing electronic device by using the aftertreatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2009
Method for forming silicon oxide film, storage medium, and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2009
Method for integrating selective low-temperature ruthenium deposition into copper metallization of a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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