Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
14.01.2010	14.01.2010 Film forming method and processing system WO2010004998 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Plasma processing apparatus WO2010004997 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2010	13.01.2010 Vorrichtung und Verfahren zur Substratreinigung sowie Speichermedium EP1952899 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2008 Erteilt am 13.01.2010 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2010	13.01.2010 Auf/zu-Vorrichtung für Auf/zu-Deckel eines Lagerbehälters für Unbehandelte Dinge und Behandlungssystem für Unbehandelte Dinge EP1195807 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2000 Erteilt am 13.01.2010 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2010	13.01.2010 Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung EP1868229 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2007 Erteilt am 13.01.2010 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Temperature adjusting mechanism and semiconductor manufacturing apparatus using temperature adjusting mechanism WO2010001890 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Method for thin-film formation and apparatus for thin-film formation WO2010001931 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Plasma processing device, plasma processing method, and mechanism for regulating temperature of dielectric window WO2010001938 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2010	06.01.2010 Verfahren und Programm zur Herstellung eines elektronischen Bauelements EP1691408 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2009	30.12.2009 Annealing apparatus WO2009157484 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2009	30.12.2009 Substratverarbeitungsvorrichtung EP1770761 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2000 Erteilt am 30.12.2009 Vertretung Waldren, Robin Michael · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2009	30.12.2009 Prozesssystem und Prozessflüssigkeitszufuhrverfahren EP2001041 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2006 Erteilt am 30.12.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren und Speichermedium EP2136392 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2008 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Processing device WO2009154075 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Contact structure for inspection WO2009154217 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Magnetron sputtering method, and magnetron sputtering device WO2009154213 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and high frequency power supplying mechanism WO2009150907 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009150870 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009150971 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus WO2009151009 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing device and plasma processing method WO2009150978 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009150970 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing device and plasma processing method WO2009150979 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2009	16.12.2009 Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1306893 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2001 Erteilt am 16.12.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2009	16.12.2009 Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Plasmaverarbeitungsverfahren EP1632994 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2004 Erteilt am 16.12.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2009	10.12.2009 Fluid heater, manufacturing method thereof, substrate processing device equipped with a fluid heater, and substrate processing method WO2009147871 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2009	10.12.2009 Liquid treatment apparatus and liquid treatment method WO2009147962 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.12.2009	09.12.2009 Apparat für die Plasma-Behandlung EP1193746 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2000 Erteilt am 09.12.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2009	02.12.2009 Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung EP1848025 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.04.2007 Erteilt am 02.12.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Discontinuous switching flow control method of fluid using pressure type flow controller WO2009141947 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Vacuum processing apparatus WO2009142197 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.11.2009	25.11.2009 Verfahren zur Optimierung der Verfahrensrezeptur eines Substratverarbeitungssystems EP1916314 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Erteilt am 25.11.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2009	19.11.2009 Film forming method of silicon oxide film, silicon oxide film, semiconductor device, and manufacturing method of semicomductor device WO2009139485 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.11.2009	12.11.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009136606 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.10.2009	28.10.2009 Halbleiterbauelement und Verfahren zu Seiner Herstellung EP2112685 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.12.2007 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.10.2009	28.10.2009 Substratträgervorrichtung, und Vorrichtung und Verfahren zur Substrat-Temperatursteuerung EP1732105 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2009	22.10.2009 Atmosphere cleaning device WO2009128431 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.10.2009	21.10.2009 Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Abnormitätsdetektion in einer Solchen Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Verfahren zum Spezifizieren der Abnormitätsursache oder zur Vorhersage von Abnormität und Aufzeichnungsmedium, Worauf ein Computerprogramm zum Ausführen eines Solchen Verfahrens Gespeichert Ist EP1845553 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2005 Erteilt am 21.10.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.10.2009	15.10.2009 Annealing apparatus WO2009125727 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Substrate processing apparatus and substrate processing method WO2009122790 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen