Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

6.250 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
12.09.2002	12.09.2002 Plasma processor and plasma processing method WO02071462 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2002	12.09.2002 Shower head gas injection apparatus with secondary high pressure pulsed gas injection WO02071463 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2002	12.09.2002 Method and apparatus for active temperature control of susceptors WO02071446 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2002	12.09.2002 System and method for forming film WO02071464 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2002	12.09.2002 Apparatus and method of improving impedance matching between an rf signal and a multi-segmented electrode WO02071631 Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.09.2002	06.09.2002 Plating device and plating method WO02068730 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.09.2002	06.09.2002 Heat treating device WO02068711 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2002	29.08.2002 Plasma processing system WO02067311 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2002	29.08.2002 Parts of apparatus for plasma treatment and method for manufacture thereof, and apparatus for plasma treatment WO02067312 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2002	29.08.2002 System and method for utilization of waste heat of semiconductor equipment and heat exchanger used for utilization of waste heat of semiconductor equipment WO02067308 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2002	29.08.2002 Exhaust heat utilization system, exhaust heat utilization method and semiconductor production facility WO02067301 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.08.2002	28.08.2002 Eine Vorrichtung zur Überkritischen Verarbeitung von Werkstücken EP1234322 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.11.2000 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2002	08.08.2002 Method and apparatus for gas injection system with minimum particulate contamination WO02061179 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2002	08.08.2002 Wärmebehandlungsvorrichtung und Stützring für Wafer WO02061808 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2002	01.08.2002 Vertikal Verschiebbare Spannvorrichtung und Verfahren für ein Plasmareaktorsystem WO02059933 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2002	01.08.2002 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO02059954 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2002	01.08.2002 Method and device for heat treatment WO02059955 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.07.2002	31.07.2002 Entfernung von Photoresist und Rückständen auf einem Substrat durch ein Überkritisches Kohlendioxid-Verfahren EP1226603 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.11.2000 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Method for manufacturing semiconductor device WO02058122 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Verfahren zum Beschichten von Metallfilmen mit Kupfer WO02058115 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 System for enhanginc apparatus productivity and method thereof WO02057860 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Plasma treatment device, baffle plate, and method of manufacturing the baffle plate WO02058127 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Plasma device and plasma generating method WO02058124 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Plasma device and plasma generating method WO02058123 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2002	25.07.2002 Plasma processing device and plasma processing method WO02058125 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.07.2002	18.07.2002 Device and method for feeding treating air WO02055938 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2002	11.07.2002 Heating device, heat treatment apparatus having the heating device and method for controlling heat treatment WO02054452 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2002	11.07.2002 Leistungzuschaltung auf Ausgewählten Harmonischen von Plasmabehandlungsvorrichtung-Ansteuerfrequenz WO02054835 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2002	11.07.2002 Kapazitiv Gekoppelte Radiofrequenz-Spannungssonde WO02054091 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.07.2002	04.07.2002 Pressure control method, transfer device, and cluster tool WO02052638 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.07.2002	04.07.2002 Treating device WO02052062 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.07.2002	04.07.2002 Probe cartridge assembly and multi-probe assembly WO02052285 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2002	03.07.2002 Elektronendichtemessungs- und Regelungssystem unter Anwendung von Plasmainduzierten Frequenzveränderungen eines Mikrowellenoszillators EP1218763 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2000 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.06.2002	27.06.2002 Etching method for insulating film WO0250885 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.06.2002	27.06.2002 Seal for sealing and load bearing a process tube in a vacuum system WO0250463 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.06.2002	20.06.2002 Processing method and processing apparatus WO0249098 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.06.2002	20.06.2002 Method of etching porous insulating film, dual damascene process, and semiconductor device WO0249089 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.06.2002	20.06.2002 Thin film forming method and thin film forming device WO0248427 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.06.2002	20.06.2002 Rapid thermal processing lamp and method for manufacturing the same WO0249395 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.06.2002	19.06.2002 Schieber und Vakuumbehandlungsvorrichtung mit dem Schieber EP1215430 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2000 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen