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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
24.01.2002
Holding device for treated body
WO0207212
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2002
Gerät und Verfahren mit einer Verstellbaren Segmentierten Elektrode
WO0207184
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2002
Temperaturregelungsgerät
EP1174723
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.01.2002
Operation monitoring method for treatment apparatus
WO0203441
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2002
Method for predicting consumption of consumable part, method for predicting deposited-film thickness, and plasma processor
WO0203440
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2002
Halbleiter und Seine Herstellungsmethode
EP1170784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2002
Kondensator für Analog-Schaltung und dessen Herstellungsverfahren
EP1169740
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2002
Etching method
WO0201619
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2001
Gas supply device and treating device
WO0199171
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2001
Variabler Kondensator mit Flüssigem Dielektrikum
WO0199131
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2001
Semiconductor manufacturing apparatus detecting a state of connection between controllers
WO0197262
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2001
Vorrichtung und Verfahren zur Elektronenbeschleunigung in einem Plasmareaktor
WO0195352
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2001
Doppelmembranpumpe
WO0194782
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
06.12.2001
Plasma processing device and processing method
WO0193322
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2001
Gas introducing system for temperature control of processed body
WO0193321
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
22.11.2001
Processing device and method of maintaining the device, mechanism and method for assembling processing device part, and lock mechanism and method for locking the lock mechanism
WO0188971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2001
Verfahren zur Durchmessereinstellung einer Elektrode in einer Plasmabehandlungsvorrichtung
WO0188966
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2001
Verfahren und Vorrichtung zum Bewegen eines Werkstückes in einer Hochdruck-Umgebung
WO0185391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2001
Measuring Plasma Uniformity In-Situ At Wafer Level
WO0186688
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2001
Plasma Bearbeitungsmethode und Apparat
EP1154466
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2001
Vorrichtung mit Widerstandheizelementen für Wärmebehandlung von Einzelnen Halbleiterscheiben
EP1153420
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2001
Method and apparatus for distributing gas within high density plasma process chamber to ensure uniform plasma
WO0183852
Metallurgie & Oberflächentechnik
08.11.2001
Variable Gap Stop Which Can Be Used in A Semiconductor Processing Device
WO0182745
Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter
07.11.2001
Verfahren zur Plasmabeschichtung und Vorrichtung mit einem Magnetischen Behälter, einem Konzentrischen Plasma sowie einer Materialquelle
EP1151147
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2001
Halbleiterbauelement und dessen Herstellungsverfahren
EP1152463
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2001
Verfahren zur Plasmabehandlung
EP1152646
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
01.11.2001
Thermal processing system
WO0182348
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2001
Verfahren und Vorrichtung zur Wärmebehandlung
WO0182341
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2001
Thermal processing system and thermal processing method
WO0182349
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2001
Verfahren zur Reiningung von Werkstücken mit einem Plasma und Einrichtung dafür
WO0182355
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2001
Eigenständige Plasmavakuumpumpe
WO0180281
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2001
Gerät zur Herstellung von Halbleitern und Verfahren zur Steuerung der Betriebsparameter
EP1148402
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2001
Treating device
WO0175965
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2001
Verfahren und Vorrichtung zur Gaseinspritzung
WO0175188
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.10.2001
Plasmaätzverfahren mit Trockensilylierung
WO0175944
Optik & Fototechnik
11.10.2001
Optical monitoring and control system and method for plasma reactors
WO0176326
Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.10.2001
Wärmebehandlungsverfahren
EP1143494
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2001
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der an einer Mehrteiligen Elektrode Abgegebenen Leistung
WO0173814
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2001
High Speed Photoresist Stripping Chamber
WO0172094
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2001
Chuck transport method and system
WO0170605
Verpackungs- & Fördertechnik

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290
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234
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145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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