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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
26.07.2012
Abnormality diagnosis method of processing device and abnormality diagnosis system of same
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2012
Zweiflüssigkeits-Düse zum Reinigen eines Substrats und Substratreinigungseinrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2012
Plasmabehandlungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2012
Filmerzeugungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2012
Method for thermal stabilization of probe card and inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2012
Substrate-processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2012
Thin film forming device for solar cell and thin film forming method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2012
Substrate-processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2012
Method for forming tisin film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2012
Trockenreinigungsverfahren einer Substratverarbeitungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
12.07.2012
Coating and developing apparatus, coating and developing method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2012
Peeling system, peeling method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2012
Release device, release system, release method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2012
Device for depositing molecular resist composed of low-molecular-weight compound
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
14.06.2012
Display device manufacturing apparatus, display device manufacturing method, and display device
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2012
Load lock device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2012
Application apparatus, application method and storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2012
Evacuation apparatus control method and evacuation apparatus control apparatus
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2012
Double patterning with inline critical dimension slimming
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2012
Sidewall image transfer pitch doubling and inline critical dimension slimming
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2012
Filtration filter and method for producing same
Verfahrens- & Trenntechnik
24.05.2012
Apparatus for plasma treatment and method for plasma treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.05.2012
Method for producing filtration filter
Verfahrens- & Trenntechnik
18.05.2012
Device for producing and method for producing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2012
Method for modifying surface of substrate, computer storage medium, and device for modifying surface of substrate
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2012
Template processing method, computer storage medium, and template processing device
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2012
Method of depositing dielectric films using microwave plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2012
Verfahren zum Ätzen von Merkmalen mit Hohem Streckungsverhältnis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2012
Plating apparatus, plating method, and recording medium having plating program recorded thereon
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.05.2012
Behälterwechselsystem und Verfahren zum Wechseln eines Behälters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2012
Liquid treatment apparatus and liquid treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2012
Processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2012
Template and substrate treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2012
Water treatment device and water treatment method
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
19.04.2012
Billing method for use of water purification system
Software & Datenverarbeitung
12.04.2012
Selective etch process for silicon nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2012
Deposition apparatus and deposition material supply method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2012
Substratreinigungsvorrichtung, Substratreinigungsverfahren, Substratreinigungsprogramm und Programmaufzeichnungsmedium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2012
Method for forming ge-sb-te film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2012
Film forming method and film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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