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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
01.10.2009
Film forming method, film forming apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2009
Method for classifying defects, computer storage medium, and device for classifying defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
01.10.2009
Method of depositing metallic film and memory medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2009
Shower plate and plasma processing device using the same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2009
Amorpher Kohlenstofffilm, Halbleiterbauelement, Filmbildungsverfahren, Filmbildungsvorrichtung und Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2009
Placing table structure and heat treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2009
Power combiner and microwave introduction mechanism
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
24.09.2009
Surface treatment method, showerhead, treatment container, and treatment apparatus using same
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
24.09.2009
Annealing apparatus and overheat prevention system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2009
Mono-energetic neutral beam activated chemical processing system and method of using
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.09.2009
Microwave introducing mechanism, microwave plasma source and microwave plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.09.2009
Autonomous Adaptive Semiconductor Manufacturing
Steuerungs- & Regelungstechnik
17.09.2009
Loading table structure and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2009
Autonomous biologically based learning tool
Software & Datenverarbeitung
17.09.2009
Flat antenna member and a plasma processing device provided with same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.09.2009
Photoelectric conversion element structure and solar battery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Void-free copper filling of recessed features using a smooth non-agglomerated copper seed layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Method for curing a porous low dielectric constant dielectric film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Functional Member Having Surface Cleaning Properties
Kunststoff- & Polymertechnik
11.09.2009
Porous Member
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
11.09.2009
Rotating magnet sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Solar Cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.09.2009
Method of helping particle detection, method of particle detection, apparatus for helping particle detection, and system for particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.09.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2009
Plasma etching apparatus and plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2009
Verfahren zur Herstellung eines Substratmontagetisches
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2009
Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Solarzelle
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Gas supply device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Thin film and method for manufacturing semiconductor device using the thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Film production method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Method for sr-ti-o-base film formation and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2009
Method for manufacturing probe supporting plate, computer storage medium and probe supporting plate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.08.2009
Semiconductor device and method for manufacturing the same
20.08.2009
Applying/developing apparatus, and applying/developing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Liquid processing system, liquid processing method and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Solar Cell Wherein Solar Photovoltaic Thin Film Is Directly Formed On Base
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Pattern forming method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Top board of microwave plasma processing device, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik

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