Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
23.12.2009	23.12.2009 Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren und Speichermedium EP2136392 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2008 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Processing device WO2009154075 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Contact structure for inspection WO2009154217 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Magnetron sputtering method, and magnetron sputtering device WO2009154213 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and high frequency power supplying mechanism WO2009150907 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009150870 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009150971 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus WO2009151009 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing device and plasma processing method WO2009150978 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009150970 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing device and plasma processing method WO2009150979 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2009	16.12.2009 Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1306893 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2001 Erteilt am 16.12.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2009	10.12.2009 Fluid heater, manufacturing method thereof, substrate processing device equipped with a fluid heater, and substrate processing method WO2009147871 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2009	10.12.2009 Liquid treatment apparatus and liquid treatment method WO2009147962 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Discontinuous switching flow control method of fluid using pressure type flow controller WO2009141947 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Vacuum processing apparatus WO2009142197 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2009	19.11.2009 Film forming method of silicon oxide film, silicon oxide film, semiconductor device, and manufacturing method of semicomductor device WO2009139485 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.11.2009	12.11.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009136606 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.10.2009	28.10.2009 Halbleiterbauelement und Verfahren zu Seiner Herstellung EP2112685 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.12.2007 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2009	22.10.2009 Atmosphere cleaning device WO2009128431 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.10.2009	21.10.2009 Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Abnormitätsdetektion in einer Solchen Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Verfahren zum Spezifizieren der Abnormitätsursache oder zur Vorhersage von Abnormität und Aufzeichnungsmedium, Worauf ein Computerprogramm zum Ausführen eines Solchen Verfahrens Gespeichert Ist EP1845553 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2005 Erteilt am 21.10.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.10.2009	15.10.2009 Annealing apparatus WO2009125727 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Substrate processing apparatus and substrate processing method WO2009122790 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Process for producing silicon nitride film, process for producing silicon nitride film laminate, computer-readable storage medium, and plasma cvd device WO2009123325 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Method for depositing high stress thin film and method for fabricating semiconductor integrated circuit device WO2009123049 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Hole forming method, hole forming apparatus, and program WO2009122764 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Plasma treatment apparatus WO2009123198 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Mos semiconductor memory device and a method for manufacturing the same WO2009123331 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Method for manufacturing a mos semiconductor memory device, and plasma cvd device WO2009123335 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Gas filter and gas feeder WO2009123120 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Three-Way Valve WO2009122762 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Heat treatment apparatus WO2009122913 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2009	08.10.2009 Liquid raw material vaporizer and film forming apparatus using the same WO2009122966 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Control method and processor of exhaust gas flow rate of processing chamber WO2009118837 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Apparatus for treating surface and method of treating surface WO2009119343 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Film deposition apparatus and method of film deposition WO2009119365 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Gas feeding device, treating device, treating method, and storage medium WO2009119500 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Temperature-measuring apparatus, and mounting table structure and heat treatment apparatus having the same WO2009119418 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Film forming method and semiconductor device manufacturing method WO2009119148 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Method for film formation, apparatus for film formation, and computer-readable recording medium WO2009119147 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen