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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
20.08.2009
Plasma measuring method, plasma measuring device, and storage medium
WO2009101866
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Liquid material carburetor, and filming device using the carburetor
WO2009098815
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Method for modifying insulating film with plasma
WO2009099252
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Liquid processing device and liquid processing method
WO2009098969
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
Plasma processing apparatus and plasma processing method
WO2009099186
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
13.08.2009
Method for insulating film formation, storage medium from which information is readable with computer, and treatment system
WO2009099254
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Information processing apparatus, information processing method, and program
WO2009096110
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Abscheidungsvorrichtung und Abscheidungsverfahren
WO2009096084
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
06.08.2009
Thin film forming method, plasma film forming apparatus and storage medium
WO2009096095
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, electronic device, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
WO2009096264
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Annealing apparatus
WO2009096248
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method and computer storage medium
WO2009096380
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Load lock apparatus and substrate cooling method
WO2009096249
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Organic light-emitting diode, method for manufacturing organic light-emitting diode, manufacturing device for manufacturing organic light-emitting diode, and plasma processing device
WO2009096250
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.08.2009
Program test device and program
WO2009096322
Software & Datenverarbeitung
06.08.2009
Microwave plasma processing device
WO2009096515
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2009
Method of aftertreatment of amorphous hydrocarbon film and method for manufacturing electronic device by using the aftertreatment method
WO2009096251
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2009
Method for forming silicon oxide film, storage medium, and plasma processing apparatus
WO2009093760
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2009
Method for integrating selective low-temperature ruthenium deposition into copper metallization of a semiconductor device
WO2009094325
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2009
Highly clean and hot valve
WO2009093608
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2009
Capacitor, semiconductor device, method for manufacturing the capacitor, and method for manufacturing the semiconductor device
WO2009090979
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2009
Placing table apparatus, processing apparatus and temperature control method
WO2009090899
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2009
Method for processing amorphous carbon film, and semiconductor device manufacturing method using the method
WO2009090912
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2009
Film forming method and film forming apparatus
WO2009087906
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Method for processing substrate, program, computer storage medium, and substrate processing system
WO2009084279
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Etching method for metal film and metal oxide film, and manufacturing method for semiconductor device
WO2009084194
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Vacuum processing device, vacuum processing method, and computer-readable storage medium
WO2009084437
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Liquid treatment apparatus, liquid treatment method and storagemedium
WO2009084406
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2009
Information processing device, information processing method, and program
WO2009081819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2009
System for processing subject to be processed and method for controlling the system
WO2009081903
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2009
Silicon carbide focus ring for plasma etching system
WO2009079285
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2009
Heat treatment apparatus, and method for controlling the same
WO2009078310
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2009
Apparatus and method for manufacturing photoelectric conversion elements, and photoelectric conversion element
WO2009078153
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2009
Method and system for reducing line edge roughness during pattern etching
WO2009079284
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2009
Probe Card
WO2009075220
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.06.2009
Probe
WO2009072368
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.06.2009
Probe apparatus
WO2009072341
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2009
Verfahren zur Formung einer Folie und Vorrichtung zur Formung einer Folie
EP2067875
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2009
Holding member for inspection and method for manufacturing holding member for inspection
WO2009069438
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.06.2009
Film forming device control method, film forming method, film forming device, organic el electronic device, and recording medium storing its control program
WO2009069740
Metallurgie & Oberflächentechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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