Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
24.04.2008	24.04.2008 Film coating apparatus and film coating method WO2008047541 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device WO2008047635 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Semiconductor device, semiconductor device manufacturing method, and inspection method WO2008047832 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Ti film forming method and storage medium WO2008047838 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2008	23.04.2008 Substratbehandlungseinrichtung und Substratbehandlungsverfahren EP1403913 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2002 Erteilt am 23.04.2008 Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2008	17.04.2008 Method for forming thin film and multilayer structure of thin film WO2008044602 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Vapor deposition device, device for controlling vapor deposition device, method for controlling vapor deposition device, and method for using vapor deposition device WO2008041558 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, storage medium, and plasma processing apparatus WO2008041599 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, plasma processing apparatus, and storage medium WO2008041600 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, plasma oxidizing apparatus, and storage medium WO2008041601 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Film coating apparatus WO2008041625 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Vapor-deposition apparatus WO2008041671 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Apparatus for manufacturing semiconductor, method for manufacturing semiconductor device, storage medium, and computer program WO2008041670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Substrate treating apparatus, substrate treating method, and rinsing method for drainage cup WO2008041741 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Planar heater and semiconductor heat treatment apparatus provided with the heater WO2008038477 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Probe card and inspection device of minute structure WO2008038781 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Method for forming silicon oxide film, plasma processing apparatus and storage medium WO2008038788 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Deposition apparatus and method for operating the same WO2008038822 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Deposition apparatus, deposition apparatus control apparatus, deposition apparatus control method, deposition apparatus using method and outlet manufacturing method WO2008038821 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Substrate treatment method and substrate treatment apparatus WO2008038823 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.03.2008	27.03.2008 Plasma cleaning process and plasma cvd method WO2008035678 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Coating/developing apparatus, coating/developing apparatus control method and storage medium WO2008032714 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Electron Beam Enhanced Surface Wave Plasma Source WO2008033928 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Method and system for dry etching a hafnium containing material WO2008033886 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate cleaning method WO2008030713 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Temperature measuring device WO2008029595 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate positioning method, substrate position detecting method, and substrate retrieving method WO2008029609 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate transfer device, substrate processing device, and method of transferring substrate WO2008029608 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Annealing apparatus WO2008029742 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate processing method and storage medium WO2008029800 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Thermal processing system for curing dielectric films WO2008030663 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.03.2008	06.03.2008 Method of plasma oxidation processing WO2008026531 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Method of treating substrate, process for manufacturing semiconductor device, substrate treating apparatus and recording medium WO2008023585 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Coating developing machine, resist pattern forming device, coating developing method, resist pattern forming method, and storage medium WO2008023693 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Etching method, etching device, computer program, and recording medium WO2008023700 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2008	21.02.2008 Thermal processing system with improved process gas flow and method for injecting a process gas into a thermal processing system WO2008021598 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Substrate transferring apparatus, substrate processing apparatus, substrate transferring arm and substrate transferring method WO2008018285 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Film forming device, film forming system, and film forming method WO2008018500 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Defect inspecting method and defect inspecting apparatus WO2008018463 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Film forming apparatus, film forming system and film forming method WO2008018498 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen