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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

2.414 gesamt
Patent
07.02.2008
Probe Pin
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.02.2008
Server device and program
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Server device and program
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Cvd film forming method and cvd film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Heat treatment method and heat treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Substrate processing apparatus, program, recording medium and conditioning necessity determining method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Method for film formation, apparatus for film formation, computer program, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Gas supply device and board treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2008
Annealing apparatus and annealing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2008
Coating method and coater
Verfahrens- & Trenntechnik
31.01.2008
Substrate processing method, program, computer-readable recording medium, and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2008
Standing wave measuring unit in waveguide and standing wave measuring method, electromagnetic wave using device, plasma processing device, and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.01.2008
Microwave plasma source and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2008
Liquid treatment device and liquid treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2008
Substrate processing method, program, computer-readable storage medium and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus, semiconductor device, computer program and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus, computer program and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Analyzing method and analyzing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Film forming method and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Shower plate, method for producing the same, plasma processing apparatus using the shower plate, plasma processing method, and method for manufacturing electronic device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2008
Film formation method, cleaning method, and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.01.2008
Facility diagnosis method, facility diagnosis system, and computer program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
10.01.2008
Gas Supply Unit
Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
10.01.2008
Plasma abnormal discharge diagnosis method, plasma abnormal discharge diagnosis system, and computer program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.01.2008
Aftertreatment method for amorphous carbon film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2008
Annealing apparatus and annealing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2008
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2008
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2008
Oscillating wave detection method and device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.01.2008
Plasma processing method and equipment
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2008
Element zum Einkoppeln von elektrischer Energie in eine Bearbeitungskammer und Bearbeitungssystem mit einem solchen Element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2007
A dry non-plasma treatment system and method of using
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2007
Microwave introducing apparatus and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.12.2007
Film forming apparatus and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Placing table structure and heat treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Shower plate, method for manufacturing the shower plate, plasma processing apparatus using the shower plate, plasma processing method and electronic device manufacturing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Substrate processing system and substrate conveyance method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2007
Film forming apparatus, film forming method, computer program and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2007
Plasma cvd method, method for forming silicon nitride film, method for manufacturing semiconductor device and plasma cvd method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2007
Thermische Behandlungsvorrichtung und Verfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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