Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
18.10.2012	18.10.2012 Testing device, testing system and testing method WO2012141203 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2012	17.10.2012 Verfahren zur Filmerzeugung, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements, Halbleiterbauelement und Substratbehandlungssystem EP1655771 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2004 Erteilt am 17.10.2012 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2012	17.10.2012 Substrat-Reinigungsverfahren und Substrat-Reinigungsgerät EP1739730 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.04.2005 Erteilt am 17.10.2012 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2012	11.10.2012 Method for producing nitride semiconductor, nitride semiconductor, and method for forming group iii-v nitride film WO2012137949 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.04.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Method of slimming radiation-sensitive material lines in lithographic applications WO2012134910 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Method for forming ultra-shallow doping regions by solid phase diffusion WO2012135599 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Ion energy analyzer, methods of electrical signaling therein, and methods of manufacturing and operating the same WO2012135351 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Etch system and method for single substrate processing WO2012135792 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Heating device WO2012133493 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Heating device WO2012133494 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Plasma etching device, and plasma etching method WO2012133585 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Method for detecting effective power deviations in microwaves in plasma processing devices, and plasma processing device WO2012132625 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Vaporizer, gas supply device and film formation apparatus WO2012132878 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Method for forming copper wire WO2012133400 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Substrate processing device WO2012133218 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Method for modifying metal cap layers in semiconductor devices WO2012135379 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Contact processing using multi-input/multi-output (mimo) models WO2012135531 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Heat treating apparatus WO2012132538 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Information processing device, processing system, processing method, and program WO2012132602 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Adaptive Recipe Selector WO2012135396 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2012	04.10.2012 Substrate processing apparatus and recovery device WO2012132609 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2012	03.10.2012 Verfahren zur Herstellung einer Germaniumoxidschicht und Material für elektronische Vorrichtung EP2506293 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2012 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Method for patterning a full metal gate structure WO2012129005 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Etch process for controlling pattern cd and integrity in multi-layer masks WO2012129209 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Filtration filter and production method therefor WO2012128235 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Gate valve unit, substrate processing device and substrate processing method thereof WO2012128029 Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Biologically based chamber matching WO2012129249 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Film forming apparatus, film forming method, method for manufacturing organic light emitting element, and organic light emitting element WO2012127982 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Method for controlling dangling bonds in fluorocarbon films WO2012129122 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2012	26.09.2012 Werkstück-Haltemechanismus EP1324381 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.07.2001 Erteilt am 26.09.2012 Vertretung Brisch, Georg · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2012	19.09.2012 Verfahren zur Wartung eines Prozessors EP1300874 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.07.2001 Erteilt am 19.09.2012 Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Bonding device, bonding system and bonding method WO2012121046 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Plasma generating apparatus, plasma processing apparatus, and plasma processing method WO2012121132 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Production efficiency improving apparatus, production efficiency improving method, and computer program WO2012121378 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Method of etching silicon nitride films WO2012122064 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Treatment Liquid Flow Rate Meter WO2012120984 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Joining method, joining device, and joining system WO2012121044 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Surface Wave Plasma Processing Device, Microwave Plasma Source, And Microwave Introduction Mechanism Used in Same WO2012121289 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2012	13.09.2012 Joining method, joining device, and joining system WO2012121045 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2012	12.09.2012 Verfahren und System zur Beschichtung und zur Entwicklung eines Films EP1684333 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2006 Erteilt am 12.09.2012 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen