ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380

Patente

2000–2026

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
30.05.2007	30.05.2007 System und Verfahren zur Erhöhung der Oberflächenspannung und des Kontaktwinkels in der Immersionslithographie EP1791026 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2006 Anhängig Vertretung Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Weenink, Willem · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2007	09.05.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1434097 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.12.2003 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Verfahren zur Übernahme einer lithographischen Maske EP1237045 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2002 Erteilt am 02.05.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1310829 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.11.2002 Erteilt am 02.05.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Methode zur Bestimmung der Aberration eines Projektionssystems eines Lithographieapparats EP1580605 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2005 Erteilt am 02.05.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1739494 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2006 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Thermisches Kontrollsystem für Substrate EP1770759 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2001 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven McGowan, Cathrine · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.04.2007	18.04.2007 Methode zur Naheffekt-Korrektur mit teilweise strahlungsdurchlässigen, nicht aufgelösten Hilfsstrukturen EP1235103 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2002 Erteilt am 18.04.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2007	04.04.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1770445 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2006 Anhängig Vertretung van Loon, C.J.J · Den Haag Raukema, Age · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.03.2007	28.03.2007 Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1762898 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2004 Anhängig Vertretung Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Seitz, Holger Fritz Karl · Rijswijk Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.03.2007	21.03.2007 Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung und Ladung einer Maske mittels eines robotischen Endeffektors EP1327913 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2002 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2007	14.03.2007 Lithographischer Projektionsapparat EP1186958 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2001 Erteilt am 14.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2007	14.03.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1220038 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2001 Erteilt am 14.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2007	14.03.2007 Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1312984 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.11.2002 Erteilt am 14.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2007	14.03.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1586948 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.04.2005 Erteilt am 14.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Lithographischer Apparat mit einem ausbalancierten Positionierungssystem EP1111470 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2000 Erteilt am 07.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Lithographischer Apparat mit einem System zur Positionsdetektion EP1111472 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2000 Erteilt am 07.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Lithographischer Projektionsapparat EP1186957 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2001 Erteilt am 07.03.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Maske und Vorrichtung EP1760525 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2006 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Van den Hooven, Jan · Veldhoven Doolaar, Frans · Enschede Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Lithografisches Verfahren EP1760531 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.09.2006 Anhängig Vertretung van Os, Lodewijk Hubertus · Veldhoven Raukema, Age · Veldhoven Doolaar, Frans · Enschede Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Linienbreitenausgleich unter Verwendung räumlicher Variationen der Teilkohärenz EP1168083 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2001 Erteilt am 07.03.2007 Vertretung Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2007	07.03.2007 Optischer Projektionsapparat mit grossem Bildfeld und mit der Korrigierbarkeit von Abbildungsfehlern für Flachbildschirme EP1494076 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2004 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und Computerprogramm dafür EP1319987 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2002 Erteilt am 28.02.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Verfahren zur Herstellung eines Artikels, dabei hergestellter Artikel und lithographischer Apparat dafür EP1324137 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.12.2002 Erteilt am 28.02.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Verfahren und System zur 3D Ausrichtung für Ganzscheibenintegration EP1675165 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.12.2005 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Weenink, Willem · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Immersion Lithography Objective WO2007020067 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2007	14.02.2007 Thermisches Kontrollsystem für Substrate EP1261984 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2001 Erteilt am 14.02.2007 Vertretung McGowan, Cathrine · London Potter, Julian Mark · London WP Thompson Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2007	14.02.2007 Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Projektionselement zur Benutzung in dem lithographischen Gerät EP1659451 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.11.2005 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2007	07.02.2007 Vorrichtung zur Bereitstellung eines Polarisationsmusters EP1749241 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2005 Anhängig Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2007	24.01.2007 Gehäuse mit einer Struktur zum Anbringen Optischer Elemente EP1745317 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.02.2005 Anhängig Vertretung Lorenz, Werner · Heidenheim Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2007	03.01.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1327912 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2002 Erteilt am 03.01.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2007	03.01.2007 Lithografische Vorrichtung, Herstellungsverfahren und damit hergestellte Vorrichtung EP1708032 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2007	03.01.2007 Verfahren und System zur Echtzeitmustersaufrasterung für maskenlose Lithographie unter Verwendung von rechnerisch gekoppelten Spiegeln zur Erzielung einer optimierten Musterteilsdarstellung EP1739495 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Roberts, Peter David · Manchester Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Positionierungsapparat und damit versehener lithographischer Apparat EP1107067 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2000 Erteilt am 27.12.2006 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Lithografischer Apparat und steuerbare Mustererzeugungsvorrichtung unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators mit verteilter Digital-Analog Umwandlung EP1734409 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2006 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1736831 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.06.2006 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Van den Hooven, Jan · Veldhoven Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1426826 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2003 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Verfahren zur Reinigung durch Entfernung von Teilchen von Oberflächen, Reinigungsvorrichtung und lithographischer Projektionsapparat EP1411388 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2003 Erteilt am 20.12.2006 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2006	13.12.2006 Lithographischer Projektionsapparat und lithographisches Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1174769 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2001 Erteilt am 13.12.2006 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2006	29.11.2006 Strahlungsbelichtungsgerät mit Gasspülsystem EP1669809 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2005 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen