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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
22.11.2006
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
22.11.2006
Membranrahmen mit verstärkten Klebestellen
Optik & Fototechnik
15.11.2006
Inspektionsmethode und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.11.2006
Optisches Reduktionssystem mit Kontrolle der Belichtungspolarisation
Optik & Fototechnik
15.11.2006
Vorrichtung zur Lichtstrukturierung unter Verwendung von Kippspiegeln in einer Superpixelanordnung
Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
08.11.2006
Bestimmung der Position einer Substrat-Ausrichtungsmarke
Optik & Fototechnik
08.11.2006
Verfahren zur Ausrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
08.11.2006
Bauelementeherstellungsverfahren und Substrat mit Strahlungsempfindlichem Material
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2006
Verfahren und Gerät zur Herstellung einer Schutzschicht auf einem Spiegel
Optik & Fototechnik
25.10.2006
Lithographische Maske, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.10.2006
Lithographischer Immersionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.10.2006
Vorrichtung und Methode zur Reduzierung von Reaktionskräften auf einer Trägerplattform unter Verwendung einer Ausgleichsmasse
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
11.10.2006
Lithographievorrichtung, Bauelementeherstellungsverfahren und Dadurch Hergestelltes Bauelement
Optik & Fototechnik
04.10.2006
Methode und Vorrichtung zur Kompensation transienter thermischer Belastung eines Photolithographiespiegels
Optik & Fototechnik
27.09.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.09.2006
Lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
20.09.2006
Einspannvorrichtungssystem, Lithographische Vorrichtung damit und Bauelementeherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
13.09.2006
Lithographische Vorrichtung und Messverfahren
Optik & Fototechnik
13.09.2006
Lithographische Vorrichtung und Messverfahren
Optik & Fototechnik
13.09.2006
Substrattisch, Verfahren zur Messung der Position eines Substrats und lithographisches Gerät
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Optimierung einer Beleuchtungsquelle unter Verwendung photolithographischer Simulationen
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Beleuchtungsanlagenbedingte kontrastumkehrende Abbildung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2006
Lithographievorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Reinigung des Apparats und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Sensoranordnung
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Lithografische Messungen mittels Scatterometrie
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Mehrkanaliges Ausrichtsystem unter Verwendung eines Interferenzgitters
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Shearing-Interferometer für EUV-Wellenfrontmessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.08.2006
Lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
09.08.2006
Lithographischer Apparat und Methode zur Bestimmung der Strahlgrösse und -divergenz
Optik & Fototechnik
02.08.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.08.2006
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
02.08.2006
System und Verfahren zur automatisierten Fokusmessung eines lithographischen Gerätes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.07.2006
Verfahrung zur Messung von Substratinformationen und Substrat für Gebrauch in einem lithografischen Apparat
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2006
Optische Vorrichtung für die Photolithographie
Optik & Fototechnik
12.07.2006
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
Optik & Fototechnik
12.07.2006
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
Optik & Fototechnik
05.07.2006
Verfahren zur Eichung eines lithographischen Geräts, Ausrichtverfahren, Computerprogramm, lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
05.07.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik

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