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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
11.02.2026
Abdeckring, Substratträger und Lithographischer Apparat
EP4689795
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Laser system, installation for exposing a semiconductor material coated with a photosensitive coating with ultraviolet light, method for generating a light beam for generating a plasma of a target material that emits euv light and method for producing microchips or semiconductor intermediates for producing microchips
WO2026027392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2026
Exposure apparatus and associated method of determining a correction for an exposure process
WO2026027172
Optik & Fototechnik
05.02.2026
Exposure apparatus and exposure method
WO2026027246
Optik & Fototechnik
05.02.2026
Adaptable Euv Radiation Source
WO2026027206
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2026
Exposure method and exposure apparatus
WO2026027156
Optik & Fototechnik
05.02.2026
Method and apparatus for bonding substrates
WO2026027129
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Machine-learning assisted extrapolation of wafer-scale metrology using alignment read-outs
WO2026027188
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
05.02.2026
Method for use with a sensor system of a lithographic apparatus and a lithographic apparatus comprising a sensor system
WO2026027154
Optik & Fototechnik
05.02.2026
Method and apparatus for measuring a gas species in a system
WO2026027146
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.02.2026
Systems and methods for optical proximity correction (opc) model calibration in a stitching region
WO2026027141
Optik & Fototechnik
04.02.2026
Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung
EP4686981
Optik & Fototechnik
04.02.2026
Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren
EP4686980
Optik & Fototechnik
04.02.2026
Verfahren und Vorrichtung zum Bonden von Substraten
EP4687171
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2026
Lasersystem, Anlage zum Belichten eines mit einer Lichtempfindlichen Beschichtung Beschichteten Halbleitermaterials mit Ultraviolettem Licht, Verfahren zum Erzeugen eines Lichtstrahls zum Erzeugen eines Plasmas eines Zielmaterials, das Euv-Licht Emittiert, und Verfahren zum Herstellen von Mikrochips oder Halbleiterzwischenprodukten zum Herstellen von Mikrochips
EP4687233
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.01.2026
Optical member thermal conditioning method
WO2026021820
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Methods and apparatuses for independent rarefication pulse for co2 laser driven euv source
WO2026021738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
Object force application system
WO2026021823
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
High Force Low Vibration Cylindrical Linear Motor
WO2026021822
Elektrische Energietechnik
29.01.2026
Electromagnetic Coil
WO2026021760
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
Charged particle-optical element, charged particle-optical device and methods of manufacturing electrodes
WO2026021802
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
Optimizing a patterning device layout and a discretized pupil profile to control facet mirrors used in a lithographic process
WO2026021792
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Method and apparatus for homogenizing a beam of radiation
WO2026021804
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Modular moveable loading station for a lithography apparatus
WO2026021790
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Method of determining degradation on a fiducial
WO2026021719
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Slotted ferromagnetic core polyphase forcer with closed slot design
WO2026021791
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
28.01.2026
Farbauswahlmodul
EP4685560
Optik & Fototechnik
28.01.2026
Verfahren und System zur Erzeugung eines Lithografieprozessbewussten Pupillenprofils
EP4684247
Optik & Fototechnik
28.01.2026
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur Und/oder Abschwächung für eine Lithografische Belichtung und Zugehörige Vorrichtung
EP4685559
Optik & Fototechnik
28.01.2026
Optisches Element für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Herstellung von Elektroden
EP4685837
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2026
Verfahren und Vorrichtung zur Homogenisierung eines Strahlenbündels
EP4685529
Optik & Fototechnik
22.01.2026
Radiation source with heat transfer
WO2026017516
Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2026
Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support and lithographic apparatus
WO2026017397
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2026
Method of correcting an image
WO2026017503
Optik & Fototechnik
22.01.2026
Method, computer program and assembly for pellicle monitoring
WO2026017337
Optik & Fototechnik
22.01.2026
Method of configuring a substrate positioning system of a semiconductor manufacturing tool
WO2026017339
Optik & Fototechnik
22.01.2026
Substrate Support
WO2026017338
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2026
A Broadband Radiation Source
WO2026017352
Optik & Fototechnik
21.01.2026
System und Verfahren zur Ausrichtung eines Substrats
EP4681023
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2026
Verfahren und System zur Bestimmung Optischer Aberrationen und Lithographische Vorrichtung mit dem System
EP4579340
Optik & Fototechnik

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