ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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3.336 gesamt| Patent | |||
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12.11.2025
Materialentfernungsvorrichtung und Verfahren zum Entfernen von Material von einem Objektträger
EP4567872
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.11.2025
Verfahren in Verbindung mit einer Maskenanordnung
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Status
Angemeldet am 01.02.2016
Erteilt am 05.11.2025
Vertretung
Filip, Diana · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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05.11.2025
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Methode
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05.11.2025
Objekthalter
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05.11.2025
Pick And Place mit Chipaktuatoren zur Heterogenen Integration
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05.11.2025
Aufnahme und Platzierung auf Aussparungsbasis für Heterogene Integration
EP4643376
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.11.2025
Hybriddetektoren mit Oberflächenpassivierung bei Niedriger Temperatur
EP4643395
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.11.2025
Kühlsystem für Objektivlinse
EP4643367
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.11.2025
Modul für eine Metrologievorrichtung mit einer Öffnung mit einer von der Strahlungswellenlänge Abhängigen Grösse Und/oder Form
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29.10.2025
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Beurteilung einer Probe
EP4639605
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Verfahren zur Erzeugung eines Projektionsmusters aus mehreren Projektionen eines Substrattisches
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29.10.2025
Detektor zur Erfassung von Strahlung
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29.10.2025
Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP4639606
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Topologiebasierte Bildwiedergabe in Inspektionssystemen mit Geladenen Teilchenstrahlen
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29.10.2025
Mikrospiegelarrays
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29.10.2025
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
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Zusammenfassung
A vibration isolator (10) for supporting a payload and isolating the payload from vibrations comprises: a pressurized gas compartment (24) formed with a rigid base structure (28), which base structure has an opening (32) covered with a flexible membrane (20) having an inner surface (21) facing into the gas compartment and an outer surface (22) facing in the opposite direction, a support member (12) for supporting the payload, which support member is arranged in contact with the outer surface (22) of the membrane, and a clamping member (62) arranged at the inner surface (21) of the membrane, wherein the support member and the clamping member form a clamping system (66), which system comprises at least one magnetic element (64) effecting the membrane to be pressed against the support member. |
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29.10.2025
In-Situ-Reinigung für Lithografische Vorrichtung
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29.10.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mittels Geladener Teilchenstrahlen
EP4639604
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Erweiterte Ladungssteuerungskonfiguration in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4639603
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.10.2025
Strahlungsquellengehäuse und Kollektor
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A radiation source comprising a source of target material configured to direct target material to a plasma formation location, and a laser system configured to direct an infrared laser beam onto the target material at the plasma formation location to generate EUV radiation, wherein the radiation source further comprises a housing with an opening through which EUV radiation may exit the radiation source, wherein the radiation source is configured such that a first portion of the housing receives a majority of the infrared radiation beam when the infrared radiation beam is not incident upon a target material, and wherein the first portion of the housing is configured to reflect the infrared radiation to other portions of the housing which are further away from the opening of the housing. |
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22.10.2025
Klemme und Verfahren zur Herstellung davon
EP4634971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.10.2025
System und Verfahren zur Thermischen Konditionierung eines Lithographischen Apparates
EP4634724
Optik & Fototechnik
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22.10.2025
Strahlungsfilter
EP4636444
Optik & Fototechnik
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22.10.2025
Defektidentifizierung und -Segmentierung ohne Markierte Daten und Bildqualitätsverbesserung
EP4607460
Software & Datenverarbeitung
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Zusammenfassung
An apparatus for identifying defects on a wafer under inspection includes a memory storing a set of instructions and at least one processor configured to execute the set of instructions to cause the apparatus to perform: operations including: acquiring a set of labeled images, wherein the set of labeled images includes: a first set of images generated by a generative model trained on input images, a conditioning mask, and conditioning parameters, wherein the conditioning mask and the conditioning parameters are associated with a defect; the input images; and the conditioning mask; and training a segmentation model, using the set of labeled images, to predict the defect in a second set of images. |
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22.10.2025
Saugklemme zum Klemmen eines Substrats
EP4636483
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A suction clamp for clamping a substrate, the suction clamp comprising a base; a substrate support extending perpendicular from the base in a first direction, the substrate support having a support area for supporting the substrate during clamping thereof; a resilient skirt member for receiving the substrate, wherein the skirt member extends around the substrate support; a fixing arrangement for removably fixing the skirt member to the base in an airtight manner; a suction opening arranged in the base and within a contour of the skirt member, the suction opening being adapted to be connected to a suction device for providing a suction force for clamping the substrate on the skirt member and the substrate support. |
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15.10.2025
Optischer Verstärker zur Verstärkung von Laserstrahlung, Lithographiesystem und Verfahren zur Verstärkung von Laserstrahlung in einem Optischen Verstärker
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Zusammenfassung
The present invention concerns an optical amplifier (2) for amplifying laser radiation (11) comprising a cavity (201) filled with a laser active gas, comprising a screen (205) having a surface arranged in the cavity (201), a camera (207) configured for monitoring the surface of the screen (205) and for providing image data, and an analysis unit (208) configured for detecting particles (300) deposited on the surface of the screen (205) based on the image data provided by the camera (207. The invention further concerns a for monitoring particle contamination in an optical amplifier (2) for amplifying laser radiation (11) comprising a cavity (201) filled with a laser active gas and a screen (205) having a surface arranged in the cavity (201), wherein a camera (207) monitors the surface of the screen (205) and provides image data and an analysis unit (208) detects particles (300) deposited on the surface of the screen (205) based on the image data provided by the camera (205). |
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15.10.2025
Strahlführungseinrichtung zur Führung von Laserstrahlung sowie Lithographieanlage
EP4632446
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
The present invention concerns a beam guiding device (200) for guiding laser radiation, comprising a body (201) with an inner beam channel (202), an optical beam guiding element (205), in particular a mirror, that is arranged inside the beam channel and a bracket (203) for holding the body (201), wherein the body (201) is connected to the bracket (203) via a first flexure bearing (207), a second flexure bearing (208) and a revolute joint (209). The invention further concerns a lithography system (101), in particular extreme ultraviolet lithography system, comprising a drive laser (100) with a beam guiding device (200) as mentioned before. |
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15.10.2025
Bildung eines Referenzbestrahlungmusters auf einem Detektor
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15.10.2025
Verfahren zur Lithographie und Zugehörige Vorrichtungen
EP4632488
Optik & Fototechnik
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15.10.2025
Elektronenoptischer Stapel, Modul, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenoptischen Stapels
EP4631089
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.10.2025
Abfragegerät für Phasengenerierten Träger und Abfrageverfahren für den Zugehörigen Phasengenerierten Träger
EP4630753
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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15.10.2025
Superkontinuumsstrahlungsquelle
EP4630880
Optik & Fototechnik
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08.10.2025
Verfahren und System zur Beurteilung Geladener Teilchen
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08.10.2025
Systeme und Verfahren zur Energiediskriminierung Rückgestreuter Geladener Teilchen
EP4627613
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.10.2025
Strahlführungseinrichtung zur Führung von Laserstrahlung sowie Lithographieanlage
EP4628961
Optik & Fototechnik
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01.10.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Beleuchtungssystems einer Projektionsbelichtungsanlage, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage
EP4625047
Optik & Fototechnik
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01.10.2025
Akustische Dämpfungsvorrichtung, Flüssigkeitstransportsystem, Temperaturkonditionierungssystem und Lithografische Vorrichtung
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01.10.2025
Elektrostatische Klemme
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01.10.2025
Reflektorherstellungsverfahren und Zugehöriger Reflektor
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01.10.2025
Photonische Integrierte Schaltung zur Erzeugung von Breitbandstrahlung
EP4623339
Optik & Fototechnik
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Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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