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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
01.10.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Beleuchtungssystems einer Projektionsbelichtungsanlage, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage
EP4625047 Optik & Fototechnik
01.10.2025
Photonische Integrierte Schaltung zur Erzeugung von Breitbandstrahlung
EP4623339 Optik & Fototechnik
24.09.2025
Simulation einer Elektromagnetischen Reaktion einer Halbleiterstruktur für Diffraktionsbasierte Optische Metrologie
EP4619823 Optik & Fototechnik
24.09.2025
Faserherstellungszwischenprodukt und Verfahren zur Herstellung von Photonischen Kristallfasern
EP4619351 Anorganische Chemie & Werkstoffe
24.09.2025
Verfahren zur Herstellung von Photonischen Kristallfasern
EP4619352 Anorganische Chemie & Werkstoffe
24.09.2025
Breitbandstrahlungsquelle
EP4619821 Optik & Fototechnik
24.09.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4621485 Optik & Fototechnik
17.09.2025
Substratträger und Lithographische Vorrichtung
EP4616252 Optik & Fototechnik
17.09.2025
Positionsmesssystem und Lithographische Vorrichtung
EP4616142 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.09.2025
Erzeugung einer Dichten Defektwahrscheinlichkeitskarte zur Verwendung in einem Computergestützten Inspektionsmaschinenlernmodell
EP4616255 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.09.2025
Detektor für Geladene Teilchenstrahlen mit Adaptivem Detektionsbereich für Mehrere Sichtfeldeinstellungen
EP4612719 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2025
Sichttrübungsstab für Extreme Uv-Lichtquelle und Verfahren
EP4613069 Elektronik & Schaltungstechnik
10.09.2025
Dosissteuersystem
EP4612551 Optik & Fototechnik
10.09.2025
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm
EP4614227 Optik & Fototechnik
10.09.2025
Optischer Verstärker
EP4612767 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.09.2025
Systeme und Verfahren zur Bildbasierten Musterauswahl
EP4200671 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung erteilt
03.09.2025
Hohlkernfaserlichtquelle und Verfahren zur Herstellung einer Hohlkernfaser
EP4193205 Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik erteilt
03.09.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4609415 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4610725 Optik & Fototechnik
03.09.2025
Euv-Belichtungsgerät
EP3674798 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik erteilt
27.08.2025
Bestimmung eines Ätzeffekts auf Basis einer Gerichteten Ätzreserve
EP4433869 Optik & Fototechnik erteilt
27.08.2025
Lithographischer Apparat und Verfahren
EP4605797 Optik & Fototechnik
27.08.2025
Durch Maschinenlernen Unterstützte Pupillenmetrologie
EP4607576 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2025
Elektrische Verbindungsprüfung
EP4605765 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.08.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Entrauschungsmodells
EP4182881 Software & Datenverarbeitung erteilt
20.08.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4603909 Optik & Fototechnik
20.08.2025
Spiegelschicht und Spiegel für einen Lithographischen Apparat
EP4602436 Optik & Fototechnik
20.08.2025
Elektronenoptisches Element
EP4602636 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2025
Ausrichtung von Elektronenoptischen Elementen
EP4602635 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
Vakuumbelichtungsvorrichtung und Bewertungssystem
EP4600989 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
Beleuchtungs- und Detektionsanordnung und Verfahren für eine Metrologieanordnung
EP4600746 Optik & Fototechnik
13.08.2025
Vorrichtung mit mehreren Strahlverändernden Modulen zur Verwendung in einem Metrologiewerkzeug
EP4600747 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.08.2025
Elektronenoptisches Modul
EP4599473 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
System zur Messung von Wellenfrontaberrationen und Belichtungsvorrichtung
EP4600738 Optik & Fototechnik
06.08.2025
Verfahren zum Bearbeiten einer Probe mittels einer Teilchenstrahlvorrichtung zur Bewertung
EP4453991 Halbleiter & Elektrische Bauelemente erteilt
06.08.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verarbeitung einer Probe
EP4597540 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Optische Anordnung für Geladene Teilchen in einem Teilchenstrahlapparat
EP4597539 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Kühlvorrichtung zum Kühlen einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage
EP4594823 Optik & Fototechnik
06.08.2025
Parametrisierte Inspektionsbildsimulation
EP4594996 Software & Datenverarbeitung
30.07.2025
System und Verfahren zur Bildauflösungscharakterisierung
EP4591339 Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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