ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
5.380 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
31.12.2025
Abfragegerät für Phasengenerierten Träger und Abfrageverfahren für den Zugehörigen Phasengenerierten Träger
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.12.2025
Flüssigkeitshandhabungssystem und Verfahren zur Reduzierung von Defekten Aufgrund von auf einem Substrat Verbleibender Flüssigkeit und Lithografische Vorrichtung mit dem Flüssigkeitshandhabungssystem
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.12.2025
Interferometersystem, Wellenfrontanalysesystem, Projektionssystem, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Analyse einer Wellenfront eines Lichtstrahls eines Heterodyninterferometersystems
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.12.2025
Reinigungsverfahren
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Optical Element
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.06.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Optical amplifier for a drive laser for use in a lithography system, lithography system and method for installing an optical amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.06.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Method of improving an image
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Module, apparatus, and method of using the module
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Full plane diffraction based digital holography metrology system and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
In-device overlay metrology using inverse die-to-database alignment
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Euv radiation generating method
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Method and apparatus for bonding substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Exposure process and apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
An arrangement for a lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Wafer-To-Wafer Bonding Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Method, device and system for sensor surface cleaning
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.12.2025
Systems and methods for handling the impact of failing beams in multibeam inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.12.2025
Optischer Verstärker für einen Ansteuerlaser zur Verwendung in einem Lithographiesystem, Lithographiesystem und Verfahren zur Installation eines Optischen Verstärkers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.12.2025
Element für Optische Strahlung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
An optical beam member for a charged particle-optical device configured to direct a charged particle beam towards a sample location, the optical beam member comprising: a charged particle beam aperture for passage of the charged particle beam, an emitter arrangement associated with the charged particle beam aperture, the emitter arrangement configured to emit an optical radiation towards the sample location, and an optical source module comprising an optical source arrangement for providing an optical radiation input to the said emitter arrangement. An assembly comprising the optical beam member. A charged particle-optical device comprising the assembly. A method for directing optical radiation towards a sample location of a sample. |
|||
|
24.12.2025
Bestimmung Geometrischer Eigenschaften sowie Bestimmung von Materialeigenschaften einer Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
An apparatus configured for determining geometric surface properties and for determining material properties of a same measuring region of a sample to be investigated, the apparatus comprising an illumination device arranged for illuminating a measuring region of the sample, an elastic camera system for determining the geometric surface properties of said sample in the measuring region by capturing light elastically scattered from the sample in the measuring region, an inelastic camera system for determining material properties of the sample in the measuring region by capturing light inelastically scattered from the sample in the measuring region and optics arranged to guide light elastically and inelastically scattered from the sample in the measuring region to the elastic camera system and the inelastic camera system, respectively. |
|||
|
24.12.2025
Gaszufuhrmodul, Flüssigkeitshandhabungssystem, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.12.2025
Retikelfrontseiten-Potentialsteuerung mit Klemmberl-Verbindung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.12.2025
System zur Speicherung und Abgabe von Zielmaterial für eine Euv-Strahlungsquelle
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.12.2025
Optisches Strahlteil
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
Integrated optics distance, leveling and tilt sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
Vented sealing systems and methods for a lithography apparatus
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
A metrology and modeling solution for spacer double patterning technology
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
Method and device for producing a pellicle for a lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
Lithographic apparatus comprising a reflective mark and a transmissive mark and a method of measuring aberrations in a lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
An Extreme Ultraviolet Mirror With an Integrated Sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.12.2025
Systems and methods of increasing laser optical output
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.04.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.12.2025
Positionsmesssystem, Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Messung einer Position eines Objekts
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
The invention provides a position measurement system, comprising:a light source to provide a measurement beam and a reference beam propagating along a common light beam path,an optical device located in the common light beam path and downbeam of the light source, wherein the optical device is configured to induce or adjust an offset between the measurement beam and the reference beam,interferometer optics downbeam of the optical device, the interferometer optics configured to propagate the measurement beam in multiple passes along measurement paths to a measurement surface and the reference beam in multiple passes along reference paths to a reference surface,a detector to receive a reflected measurement beam and a reflected reference beam after a final pass of the multiple passes,wherein a reflective surface in the measurement paths or the reference paths is tilted, such that an incident angle of the measurement beam or reference beam incident on the respective reflective surface is at a non-90 degrees angle and at a non-45 degrees angle with respect to the reflective surface. |
|||
|
17.12.2025
Diversifizierung eines Sem-Messschemas für Verbesserte Genauigkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.12.2025
Strahlungsquelle und Verfahren zur Erzeugung von Ausgangsstrahlung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
Method of determining degradation on a sensor fiducial
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
Support system
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
System and method for die bonding self-alignment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
System and method for die bonding alignment referenced to carrier position
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
Suppression of plasma-induced surface degradation by irradiation of light
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2025
Method of determining contamination information and an object stage adapted to implement the method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil