ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
3.336 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
30.07.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Bonden von Substraten
EP4591348
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.07.2025
System und Verfahren zur Bildauflösungscharakterisierung
EP4591339
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.07.2025
Lithographischer Apparat und Zugehöriges Verfahren
EP4592749
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Bestimmung einer Messrezeptur in einem Metrologischen Verfahren
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Abschwächer und Verfahren
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.08.2016
Erteilt am 23.07.2025
Vertretung
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Pellikel und Verfahren zur Bildung des Pellikels zur Verwendung in einer Lithografischen Vorrichtung
EP4587888
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Vorrichtung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.07.2025
Verfahren zur Herstellung eines Pellikels für eine Lithographische Vorrichtung und Pellikel für eine Lithographische Vorrichtung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.10.2016
Erteilt am 16.07.2025
Vertretung
Filip, Diana · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.07.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4584636
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.07.2025
Verfahren zur Konfiguration eines Sichtfeldes einer Inspektionsvorrichtung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.07.2025
System und Verfahren zur Detektion von Partikeln mit einem Detektor Während der Inspektion
EP4581685
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.07.2025
Farbauswahlmodul
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.07.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Mehrstufigen Chipbonden
EP4579723
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.07.2025
Lithografische Vorrichtung und Kühlverfahren
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.01.2018
Erteilt am 02.07.2025
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Konditionierungssystem, -Anordnung und -Verfahren
EP4573412
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Quellenmodul und Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4576154
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Optische Ladungsteilchenvorrichtung, Optisches Ladungsteilchenmodul, Verfahren zur Projektion mehrerer Ladungsteilchenstrahlen auf eine Probe
EP4576155
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Optisches Modul für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verwendung einer Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4576158
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Farbauswahlmodul zur Filterung eines Wählbaren Wellenlängenbandes
EP4575636
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Euv-Quellensteuerung mit Konstantem oder Langsam Veränderlichem Durchschnittlichem Laserausgangsleistungsniveau für eine Lithografische Vorrichtung
EP4575643
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Behälter zur Strahlungsaufnahme mit einer Kühlfalle zur Verunreinigungssammlung
EP4575644
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
System mit Geladenen Teilchen und Verfahren zum Ausbrennen eines Systems mit Geladenen Teilchen
EP4576159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Leed- und Ptychographiebasierte Oberflächenprofilbestimmung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Hochspannungs-Entladungserkennung in einem Geladenen Partikelsystem
EP4576157
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Verfahren zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung, Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Optischer Verstärker und Komponenten dafür
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
System und Verfahren zum Chipbonden mit Strahlungsfreisetzung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
System und Verfahren zur Spannungsfreisetzung Beim Chipbonden
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Sensor und Verfahren zur Qualifizierung einer Topographie einer Oberfläche einer Matrize zum Chipbonden
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Unterdrückung der Spiegelnden Reflexion eines Maskenabsorbers und Feldheftung auf Auflösung
EP4573411
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Beurteilung einer Probenoberfläche, Verfahren zum Scannen einer Probenoberfläche und Vorrichtung zur Beurteilung Geladener Teilchen
EP4575637
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
The present disclosure provides methods and apparatus relating to assessing a sample surface using charged particles. In one arrangement, a method comprises, at a first region of a sample surface on which is an intended pattern, relative scanning a beam over an elongate row portion of the intended pattern along a first direction to generate a row data set. At a second region of the sample surface on which is a repeat of the intended pattern, the beam is relative scanned over an elongate column portion of the intended pattern along a second direction to generate a column data set. The row data set and the column data set are processed to compare between the row data set and the column data set a common portion of the intended pattern to assess the common portion. |
|||
|
18.06.2025
Ganzheitliche Kalibrierung
EP4571418
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
A method is provided for measuring a characteristic feature or property of a sub-target (e.g., a component of an integrated circuit, IC, fabricated using a lithography production process). The sub-target is located on a target, which includes one or more other sub-targets. The method involves arranging each of the sub-targets in a plurality of disjunct positions within an illumination spot of electromagnetic radiation and measuring the intensity of electromagnetic radiation diffracted from each of the sub-targets at those respective positions. Corrected intensities of electromagnetic radiation diffracted by the corresponding sub-target are determined. |
|||
|
18.06.2025
Auf Bereichsdichte Basierender Fehlausrichtungsindex zur Bildausrichtung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.06.2025
Differenzialmesssystem
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.06.2025
Übersprechungsverringerung
EP4571811
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.06.2025
Metrologievorrichtung und Zugehörige Verfahren
EP4567371
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.06.2025
Laserbetriebenes, Plasmabasiertes Euv-Erzeugungssystem
EP4568425
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.06.2025
Metrologievorrichtung und -Verfahren mit Empfang von Streustrahlung in mehreren Diskreten Zeitintervallen
EP4567517
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.06.2025
Strahlungsquellenanordnung zur Erzeugung Breitbandiger Strahlung
EP4567510
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.06.2025
Signalverarbeitungsverfahren, Signalprozessor, Beurteilungsverfahren und Beurteilungsvorrichtung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil