ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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11.12.2025
Suppression of plasma-induced surface degradation by irradiation of light
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.04.2025
Anhängig
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10.12.2025
Substrat, Lithographisches Verfahren und Metrologieverfahren
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a substrate, associated patterning device and metrology method. The substrate comprises one or more first metrology targets for measuring a parameter of interest in one or more measurement directions, each said one or more first metrology targets comprising at least one first-type sub-target and at least one second-type sub-target; and one or more second metrology targets, wherein each said second metrology target is similar to each said first metrology target, but with the first-type sub-targets swapped in position with the second-type sub-targets of the same measurement direction for at least one measurement direction of said one or more measurement directions. |
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10.12.2025
Positionsmesssystem und -Verfahren, Substratstufensystem und Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
The present disclosure provides an object stage system, comprising: a balance mass having a top surface, a bottom surface, and one or more side surfaces; at least one object table movable with respect to said top surface; at least one object table follower movable with respect to a side of the balance mass and supporting a cable slab connected to a corresponding object table; a first position measurement system for measuring a first position of the at least one object table relative to the top surface in six degrees of freedom, and a second position measurement system for measuring a second position of the object table follower relative to the balance mass in six degrees of freedom. |
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10.12.2025
Verfahren zur Bestimmung der Verschlechterung einer Sensorbezugsmarke
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of determining a fiducial degradation metric for a sensor fiducial. The method comprises obtaining fiducial plane position data describing a position over a time period, and in a fiducial plane, of a plurality of marks on a fiducial surface; determining first fiducial position drift data from the fiducial plane position data, said first fiducial position drift data describing a temporal drift in measured positions within the fiducial plane position data; obtaining height data describing a position over said time period, and perpendicular to the fiducial plane, of the fiducial surface; determining second fiducial position drift data from said height data; and determining the fiducial degradation metric from said first fiducial position drift data and said second fiducial position drift data. |
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10.12.2025
Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser-Basierte Mehrwellenlängen-Lichtquellenvorrichtung
Optik & Fototechnik
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10.12.2025
Blutegelbasierte Oberflächenprofilbestimmung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.12.2025
Unterdrückung von Plasmainduzierter Oberflächendegradation durch Lichtbestrahlung
Optik & Fototechnik
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10.12.2025
Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen durch Lithografie mit Lackübertragung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.12.2025
Systems and methods of measurement apparatus fabrication
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2025
Anhängig
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04.12.2025
Dual comb radiation source and heterodyne detection for overlay metrology systems and methods
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2025
Anhängig
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04.12.2025
Method for calibrating an optical measurement system and system adapted to implement the method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2025
Anhängig
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04.12.2025
A method of manufacturing a hollow core cane for use in manufacturing a hollow-core photonic crystal fiber
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 02.05.2025
Anhängig
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04.12.2025
Method and system for predicting metrology data using a neural network.
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.05.2025
Anhängig
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03.12.2025
Wellenfrontsensor für ein Metrologiesystem
Optik & Fototechnik
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03.12.2025
Steuerung basierend auf der Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion eines Parameters
Optik & Fototechnik
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03.12.2025
Modellierung der Defektwahrscheinlichkeit aus Erwarteten Kritischen Dimensionen zur Verbesserung der Genauigkeit der Ausfallratenvorhersage
Optik & Fototechnik
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03.12.2025
Verfahren zur Kalibrierung eines Optischen Messsystems und zur Implementierung des Verfahrens Angepasstes System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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03.12.2025
Verfahren und System zur Vorhersage von Metrologiedaten unter Verwendung eines Neuronalen Netzwerks
Optik & Fototechnik
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03.12.2025
Verfahren zur Herstellung eines Hohlkernrohrs zur Verwendung bei der Herstellung einer Hohlkernphotonischen Kristallfaser
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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27.11.2025
Systems, methods, and software for phase-based alignment sensors
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Substrate alignment system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Systems, methods, and software for model-based combined alignment and overlay metrology
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.05.2025
Anhängig
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27.11.2025
Wafer-Level Selection For Enhanced Inline Inspection in Semiconductor Manufacturing
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Vibration correction for interferometric or holographic metrology
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Split Chuck
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Positioning apparatus for a stage apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Calibration substrate, method to determine an offset correction for a substrate to be loaded on a substrate support, combination of a substrate support and a calibration substrate, and substrate handling apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Method of predicting an on product effect of a wafer load grid
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Improvements to lithographic methods and apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Masking Module
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Method for calibrating illumination optics
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 16.04.2025
Anhängig
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27.11.2025
Apparatus and method for continuous die bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2025
Anhängig
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26.11.2025
System und Verfahren zur Erzeugung von Superkontinuumstrahlung
Optik & Fototechnik
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26.11.2025
Verfahren zur Kalibrierung einer Beleuchtungsoptik
Optik & Fototechnik
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26.11.2025
Verfahren zur Vorhersage eines On-Produkt-Effekts eines Waferladegitters
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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26.11.2025
Verbesserungen an Lithographischen Verfahren und Apparaten
Optik & Fototechnik
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20.11.2025
Systems and methods for evaluating data for training machine-learning models
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 22.04.2025
Anhängig
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20.11.2025
System and method for combined field and pupil intensity-based phase retrieval
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.04.2025
Anhängig
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20.11.2025
Object support, object table and mask table
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.04.2025
Anhängig
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20.11.2025
Actuator
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.04.2025
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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