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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
04.06.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur für einen Belichtungsprozess, Lithographievorrichtung und Computerprogramm
EP4564095 Optik & Fototechnik
04.06.2025
Elektronenoptisches System, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenstrahlelements
EP4564396 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2025
Verfahren zum Einrichten eines Lithographiegeräts
EP4564096 Optik & Fototechnik
04.06.2025
Elektrolyseur mit Laminarer Strömung
EP4562228 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
04.06.2025
Trainieren eines Modells zur Erzeugung Prädiktiver Daten
EP4562474 Optik & Fototechnik
28.05.2025
Strahlungsquelle
EP4560393 Optik & Fototechnik
28.05.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Projektion mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
EP4560682 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
System und Verfahren zur Bereitstellung von Ausgangsstrahlung
EP4560394 Optik & Fototechnik
28.05.2025
Anordnung zur Wellenlängenkalibrierung
EP4560401 Optik & Fototechnik
28.05.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Optischen Eigenschaft einer Mehrschichtigen Struktur
EP4560400 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.05.2025
System und Verfahren zum Zählen von Partikeln auf einem Detektor Während der Inspektion
EP4558845 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Verbesserte Kantendetektion mit Detektoreinfallstellen
EP4559016 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Detektor für Geladene Teilchen für Mikroskopie
EP4559015 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2025
Verfahren und Anordnungen zur Wellenlängenkalibrierung
EP4556869 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.05.2025
Spiegelanordnung für Mikrospiegelarray
EP4555382 Optik & Fototechnik
21.05.2025
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung, Computerprogramm und Verfahren
EP4555383 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2025
Metrologie- und Steuerungssystem
EP4555832 Elektronik & Schaltungstechnik
21.05.2025
Isolierender Abstandshalter für Elektronenoptische Anordnung
EP4555549 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2025
Transiente Defektinspektion unter Verwendung eines Inspektionsbildes
EP4555474 Software & Datenverarbeitung
21.05.2025
Verfahren und System zur Feinfokussierung Sekundärer Strahlpunkte auf einem Detektor für Mehrstrahlinspektionsvorrichtung
EP4555550 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2025
Fokusmetrologieverfahren und Verfahren zum Entwurf eines Fokusziels für Fokusmetrologie
EP4553579 Optik & Fototechnik
14.05.2025
Design einer Schaltung auf Sensorelementebene für eine Elektronenzähldetektionsvorrichtung
EP4179302 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente erteilt
14.05.2025
Quelle, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Reinigung einer Quelle Geladener Teilchen, Verfahren zur Reinigung einer Komponente einer Beurteilungsvorrichtung
EP4553885 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2025
Beurteilungsvorrichtung und Verfahren
EP4552149 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2025
Vorrichtung zur Breitbandstrahlungserzeugung
EP4548157 Optik & Fototechnik
07.05.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Herstellung einer Optischen Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4550382 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2025
Vorwärtskopplungsrahmen eines Neuronalen Netzwerks zur Compliance-Kompensation
EP4550063 Steuerungs- & Regelungstechnik
07.05.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Absoluten Position eines Beweglichen Objekts, Interferometersystem, Projektionssystem und Lithografische Vorrichtung
EP4548039 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.05.2025
Seitenwandwinkelmetrologie
EP4550047 Optik & Fototechnik
30.04.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Detektion von Signalgeladenen Teilchen
EP4546393 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2025
Verfahren zur Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
EP4546049 Optik & Fototechnik
23.04.2025
Positionsmesssystem, Positionsmessverfahren und Lithografische Vorrichtung
EP3995897 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik erteilt
23.04.2025
Substratträger und Lithographische Vorrichtung
EP4540659 Optik & Fototechnik
23.04.2025
Substrat Unterstützung und Substrattisch
EP4111261 Optik & Fototechnik erteilt
16.04.2025
Verfahren zum Entwurf eines Fokusziels für Fokusmetrologie
EP4538793 Optik & Fototechnik
16.04.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4538794 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2025
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas und Zugehöriges Metrologieverfahren
EP4538797 Optik & Fototechnik
16.04.2025
Verfahren zur Herstellung von Photonischen Kristallfasern
EP4536601 Anorganische Chemie & Werkstoffe
16.04.2025
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung mit Schneller Fokuskorrektur und Verfahren dafür
EP4537381 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2025
Ansichtsfensteranordnung für eine Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle
EP4537158 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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