KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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25.10.2017
Zeilenabtastender Messerkantenhöhensensor für Halbleiterinspektion und Messtechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.10.2017
Design aware system, method and computer program product for detecting overlay-related defects in multi-patterned fabricated devices
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 05.04.2017
Anhängig
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19.10.2017
System and method for defect classification based on electrical design intent
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.04.2017
Anhängig
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12.10.2017
System and method for wafer inspection with a noise boundary threshold
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.03.2017
Anhängig
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12.10.2017
Semiconductor metrology with information from multiple processing steps
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2017
Anhängig
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05.10.2017
Multi-Channel Photomultiplier Tube Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2017
Anhängig
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05.10.2017
Systems and methods for automated multi-zone detection and modeling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2017
Anhängig
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05.10.2017
System and method for defining designs of interest in repeating structures of design data
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.03.2017
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05.10.2017
Method and apparatus for polarized light wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2017
Anhängig
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05.10.2017
All surface film metrology system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2017
Anhängig
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05.10.2017
High Brightness Laser-Sustained Plasma Broadband Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2017
Anhängig
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21.09.2017
System, method and computer program product for identifying fabricated component defects using a local adaptive threshold
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 16.03.2017
Anhängig
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06.09.2017
Systeme und Verfahren zur Inspektion und Überprüfung auf Reflektierende Waferdefekte
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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31.08.2017
Method and system for detecting defects on a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2017
Anhängig
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31.08.2017
Analyzing Root Causes Of Process Variation in Scatterometry Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 31.10.2016
Anhängig
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23.08.2017
Laserunterstützte Plasmalampe mit Wasser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.05.2013
Erteilt am 23.08.2017
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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10.08.2017
Instrumented substrate apparatus for acquiring measurement parameters in high temperature process applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
Overlay variance stabilization methods and systems
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
Methods and systems for selecting recipe for defect inspection
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
Dynamic determination of metal film thickness from sheet resistance and tcr value
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 02.02.2017
Anhängig
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09.08.2017
Waferkanteninspektion mit einer dem Kantenprofil Folgenden Inspektionsbahn
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.07.2017
Single wavelength ellipsometry with improved spot size capability
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2017
Anhängig
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20.07.2017
Accelerating semiconductor-related computations using learning based models
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.01.2017
Anhängig
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20.07.2017
Image based specimen process control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.01.2017
Anhängig
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20.07.2017
Generating simulated output for a specimen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.01.2017
Anhängig
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20.07.2017
Improving defect sensitivity of semiconductor wafer inspectors using design data with wafer image data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2017
Anhängig
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20.07.2017
Systems and methods for extended infrared spectroscopic ellipsometry
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2017
Anhängig
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13.07.2017
Optical die To Database Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.12.2016
Anhängig
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13.07.2017
Feature selection and automated process window monitoring through outlier detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.01.2017
Anhängig
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13.07.2017
Generating high resolution images from low resolution images for semiconductor applications
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 04.01.2017
Anhängig
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13.07.2017
System and method for semiconductor wafer inspection and metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2016
Anhängig
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06.07.2017
Systems and methods for defect detection using image reconstruction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.12.2016
Anhängig
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29.06.2017
Shape based grouping
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2016
Anhängig
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22.06.2017
Adaptive alignment methods and systems
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2016
Anhängig
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15.06.2017
System, method and computer program product for fast automatic determination of signals for efficient metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2016
Anhängig
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15.06.2017
X-ray scatterometry metrology for high aspect ratio structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.09.2016
Anhängig
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15.06.2017
Reducing registration and design vicinity induced noise for intra-die inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2016
Anhängig
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15.06.2017
Defect Signal To Noise Enhancement By Reducing die To die Process Noise
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2016
Anhängig
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08.06.2017
Non-contact thermal measurements of vuv optics
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.11.2016
Anhängig
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07.06.2017
Rückbeleuchteter Sensor mit Borschicht
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2013
Erteilt am 07.06.2017
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7