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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
01.06.2017
Methods to store dynamic layer content inside a design file
WO2017091676
Software & Datenverarbeitung
26.05.2017
Single Image Detection
WO2017087646
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.05.2017
Laser Produced Plasma Light Source Having A Target Material Coated On A Cylindrically-Symmetric Element
WO2017087569
Elektronik & Schaltungstechnik
26.05.2017
Systems and methods for region-adaptive defect detection
WO2017087571
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.05.2017
Plasma based light source having a target material coated on a cylindrically-symmetric element
WO2017087283
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.05.2017
Droplet generation for a laser produced plasma light source
WO2017083569
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.05.2017
Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung Extrem Ultravioletter Retikel
EP2862197
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
13.04.2017
System and method for electrodeless plasma ignition in laser-sustained plasma light source
WO2017062274
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2017
Interposer-Bilderzeugungssensor für Hochgeschwindigkeits-Bilderfassungs- und Inspektionssysteme
EP2758994
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2017
System and method for laser-sustained plasma illumination
WO2017058790
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.04.2017
Multisäulen-Elektronenstrahlvorrichtung und Verfahren
EP2727129
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2017
Method and system for noise mitigation in a multi-beam scanning electron microscopy system
WO2017053240
Optik & Fototechnik
30.03.2017
Multi-Beam Dark Field Imaging
WO2017053241
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.03.2017
Method and system for process control with flexible sampling
WO2017053150
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2017
Spectroscopic Beam Profile Overlay Metrology
WO2017053581
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2017
Method and system for focus adjustment a multi-beam scanning electron microscopy system
WO2017053812
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2017
Increasing dynamic range of a height sensor for inspection and metrology
WO2017053325
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.03.2017
Backscattered electrons (bse) imaging using multi-beam tools
WO2017053353
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2017
Systems and methods for controlling an etch process
WO2017049175
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2017
Adaptive Automatic Defect Classification
WO2017049219
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2017
Imaging performance optimization methods for semiconductor wafer inspection
WO2017040055
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2017
Method of improving lateral resolution for height sensor using differential detection technology for semiconductor inspection and metrology
WO2017041047
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2017
Self directed metrology and pattern classification
WO2017040351
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2017
Model-based metrology using images
WO2017040219
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
09.03.2017
Techniques and systems for model-based critical dimension measurements
WO2017040857
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2017
Ausrichtsmarken, Methoden zum Entwurf von Ausrichtmarken, und Verfahren zum Messen von Ausrichtfehlern
EP1314198
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2017
Determining one or more characteristics of a pattern of interest on a specimen
WO2017035142
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2017
Dark-field inspection using a low-noise sensor
WO2017031013
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23.02.2017
System, method and computer program product for calibration of metrology tools
WO2017031014
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
23.02.2017
Electron Source
WO2017031004
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2017
Process-sensitive metrology systems and methods
WO2017030990
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2017
Numerische Aperturintegration in Raleigh-Wellenlängen für Ocd-Metrologie
EP2812913
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.02.2017
Nachweis von Dünnen Linien für Selektive Empfindlichkeit bei Inspektion eines Retikels unter Verwendung von Verarbeiteten Bildern
EP2823354
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
16.02.2017
Polygon-based geometry classification for semiconductor mask inspection
WO2017027555
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2017
Method and system for edge-of-wafer inspection and review
WO2017027558
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.02.2017
Determining A Position Of A Defect in an Electron Beam Image
WO2017027748
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2017
Focus metrology and targets which utilize transformations based on aerial images of the targets
WO2017024158
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2017
Range-Based Real-Time Scanning Electron Microscope Non-Visual Binner
WO2017024065
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.02.2017
Hybrid phase unwrapping systems and methods for patterned wafer measurement
WO2017019338
Optik & Fototechnik
02.02.2017
Automated metrology system selection
WO2017019341
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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