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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
08.03.2018
Apparatus for high-speed imaging sensor data transfer
WO2018044623
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2018
Model based optical measurements of semiconductor structures with anisotropic dielectric permittivity
WO2018044572
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2018
Spectral reflectometry for in-situ process monitoring and control
WO2018044904
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.03.2018
Multi-Pin Dense Array Resistivity Probe
WO2018039075
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.02.2018
System and method for generating multi-channel tunable illumination from a broadband source
WO2018034908
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.02.2018
Off-Axis Reflective Afocal Optical Relay
WO2018031346
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.02.2018
Automated 3-D Measurement
WO2018031560
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.02.2018
Optical measurement of bump hieght
WO2018031574
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.02.2018
Optical measurement of step size and plated metal thickness
WO2018031567
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.02.2018
Optical Measurement Of Opening Dimensions in A Wafer
WO2018031639
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2018
Oven enclosure for optical components with integrated purge gas pre-heater
WO2018026856
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2018
Surface defect inspection with large particle monitoring and laser power control
WO2018027010
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2018
Method and computer program product for controlling the positioning of patterns on a substrate in a manufacturing process
WO2018026373
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2018
Simultaneous capturing of overlay signals from multiple targets
WO2018023078
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.02.2018
An apparatus and method for cleaning wafer handling equipment
WO2018022652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2018
Retikeldefekterkennung mit Systematischem Defektfilter
EP2823355
Optik & Fototechnik
25.01.2018
Reverse decoration for defect detection amplification
WO2018017367
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2018
Bestimmen von Inspektionsbereiche für Wafer
EP2599114
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2018
Systems and methods of using z-layer context in logic and hot spot inspection for sensitivity improvement and nuisance suppression
WO2018005132
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2018
Photokathode mit einem Siliciumsubstrat mit einer Borschicht
EP2880693
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2017
Encapsulated instrumented substrate apparatus for acquiring measurement parameters in high temperature process applications
WO2017218701
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2017
Unebene Extraktorstruktur für eine Elektronenquelle
EP2847781
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2017
Electrically relevant placement of metrology targets using design analysis
WO2017213997
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2017
Simultaneous Multi-Angle Spectroscopy
WO2017214314
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2017
Verfahren und System zur Abbildung einer Fotomaske durch eine Abziehemulsionsschicht
EP3254304
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2017
System and method for fabricating metrology targets oriented with an angle rotated with respect to device features
WO2017210128
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2017
System, method and computer program product for automatically generating a wafer image to design coordinate mapping
WO2017210354
Software & Datenverarbeitung
30.11.2017
Combined patch and design-based defect detection
WO2017205361
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.11.2017
Fotovervielfacherröhre, Bildsensor und Inspektionssystem mit Pmt oder Bildsensor
EP2973713
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2017
Systems and methods for automatic correction of drift between inspection and design for massive pattern searching
WO2017201098
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2017
System and method for compensation of illumination beam misalignment
WO2017192403
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2017
Porosity measurement of semiconductor structures
WO2017192411
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2017
Critical dimension measurements with gaseous adsorption
WO2017192401
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.11.2017
Porosity measurement of semiconductor structures
WO2017192408
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.11.2017
Measurement of semiconductor structures with capillary condensation
WO2017192406
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2017
System, method and computer program product for detecting defects in a fabricated target component using consistent modulation for the target and reference components
WO2017192908
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2017
Verfahren und Vorrichtung zur Verminderung der Thermischen Spannung durch Regulierung und Kontrolle von Lampenbetriebstemperaturen
EP2890930
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
26.10.2017
Computer assisted weak pattern detection and quantification system
WO2017185056
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2017
System, method and computer program product for correcting a difference image generated from a comparison of target and reference dies
WO2017185058
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.10.2017
Beam shaping slit for small spot size transmission small angle x-ray scatterometry
WO2017185101
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
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Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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