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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
08.04.2021
Selective graphene deposition using remote plasma
WO2021067118
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2021
Radio Frequency Distribution Circuits Including Transformers And/or Transformer Coupled Combiners
WO2021067160
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
08.04.2021
Metrology module with parallel acquisition of broadband polarized spectra
WO2021067239
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.04.2021
Mask encapsulation to prevent degradation during fabrication of high aspect ratio features
WO2021067092
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2021
Wafer shielding for prevention of lipseal plate-out
WO2021067419
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2021
Verfahren und System zum Festhalten eines Isolations-Artigen Substrats Während der Plasma-Verarbeitung des Isolations-Artigen Substrats
EP3364446
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Tunable and non-tunable heat shields to affect temperature distribution profiles of substrate supports
WO2021061907
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Systems and methods for autonomous process control and optimization of semiconductor equipment using light interferometry and reflectometry
WO2021061541
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.04.2021
Low Temperature Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Including Preheated Showerhead
WO2021061461
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.03.2021
Atomic layer etch and ion beam etch patterning
WO2021055197
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2021
Flow Metrology Calibration For Improved Processing Chamber Matching in Substrate Processing Systems
WO2021050663
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2021
In-situ sensor-fusion with artificial intelligence
WO2021050189
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.03.2021
Boden- und Mittelrandringe
EP3566245
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2021
Verfahren zur Herstellung von Euv-Musterbaren Hartmasken
EP3791231
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2021
Stimulus responsive polymer films and formulations
WO2021046572
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2021
Low Angle Membrane Frame For an Electroplating Cell
WO2021046068
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.03.2021
Small molecule films for sacrificial bracing, surface protection, and queue-time management
WO2021046061
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2021
Molybdenum Deposition
WO2021046058
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2021
Sorption chamber walls for semiconductor equipment
WO2021045867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Near netshape additive manufacturing using low temperature plasma jets
WO2021041115
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.03.2021
Plasma Viewport
WO2021042117
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Thermally Controlled Chandelier Showerhead
WO2021042116
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Metal Deposition
WO2021042114
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.02.2021
Spatially Tunable Deposition To Compensate Within Wafer Differential Bow
WO2021034508
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.02.2021
Reducing Line Bending During Metal Fill Process
WO2021035254
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2021
Multi-state rf pulsing to control mask shape and breaking selectivity versus process margin trade-off
WO2021035132
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2021
Moveable edge rings for substrate processing systems
WO2021030184
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2021
Tungsten Deposition
WO2021030836
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2021
Dynamic Process Control in Semiconductor Manufacturing
WO2021030364
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.02.2021
Model based control of wafer non-uniformity
WO2021030833
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2021
Thermal atomic layer deposition of silicon-containing films
WO2021025874
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.02.2021
Spindle Assembly For Wafer Transfer in A Multi-Station Process Module
WO2021026430
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Systems and methods for cleaning an edge ring pocket
WO2021021531
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Pedestal setup using camera wafer
WO2021021604
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.02.2021
Chemical etch nonvolatile materials for mram patterning
WO2021021486
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Integrated adaptive positioning systems and routines for automated wafer-handling robot teach and health check
WO2021022291
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Integrated hardware-software computer vision system for autonomous control and inspection of substrate processing systems
WO2021021501
Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung
04.02.2021
Differential contrast plating for advanced packaging applications
WO2021022292
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Non-elastomeric, non-polymeric, non-metallic membrane valves for semiconductor processing equipment
WO2021021578
Maschinenelemente & Fluidtechnik
04.02.2021
Radio Frequency Power Generator Having Multiple Output Ports
WO2021022303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Optik & Fototechnik
116
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105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31

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