Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
01.11.2012	01.11.2012 Internal faraday shield having distributed chevron patterns and correlated positioning relative to external inner and outer tcp coil WO2012148931 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2012	31.10.2012 Vorrichtung und Verfahren zur Verbesserung der Ätzrate-Gleichförmigkeit EP1446825 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.11.2002 Erteilt am 31.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Falk, Urs · Steinhausen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.10.2012	26.10.2012 Apparatus and method for reducing substrate pattern collapse during drying operations WO2012145232 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2012	24.10.2012 Vorrichtung und Verfahren zur Flüssigbehandlung Waferförmiger Artikel EP2513954 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2012	24.10.2012 Hochtemperaturfutter und Verfahren zu Seiner Verwendung EP2513963 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2012	18.10.2012 Multi-frequency hollow cathode and systems implementing the same WO2012141862 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2012	18.10.2012 Multi-frequency hollow cathode system for substrate plasma processing WO2012141863 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2012	18.10.2012 E-beam enhanced decoupled source for semiconductor processing WO2012142038 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.04.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2012	17.10.2012 Zum Entfernen von Freiem Kohlenstoff Behandelte Siliziumkarbidkomponenten von Halbleitersubstratbehandlungsvorrichtungen EP1691938 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.11.2004 Erteilt am 17.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Morf, Jan Stefan · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2012	10.10.2012 Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche EP2106303 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.01.2008 Erteilt am 10.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2012	10.10.2012 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung mittels einer Mischung aus einer Säure und einem Oxidierenden Gas EP2507817 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2012	10.10.2012 Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der räumlichen Temperaturverteilung über die Oberfläche eines Arbeitsstückträgers hinweg EP1391140 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2002 Erteilt am 10.10.2012 Vertretung Leeming, John Gerard · London Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2012	03.10.2012 Verfahren zur Erfassung des Endpunktes eines Prozesses mittels Breitbandreflektometrie EP1546650 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.08.2003 Erteilt am 03.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2012	03.10.2012 Vorrichtung und Verfahren zur Ultraschall-Nassbehandlung von Plattenartigen Artikeln EP2150969 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2008 Erteilt am 03.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2012	03.10.2012 Verfahren zur Bildung einer Planarisierten Cu-Verbindungsschicht unter Verwendung einer Stromlosen Ablagerung mittels Membran EP1609181 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2004 Erteilt am 03.10.2012 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Käck, Jürgen · Landsberg am Lech Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2012	27.09.2012 Fluid Distribution Members And/or Assemblies WO2012128821 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Plasma processing systems including side coils and methods related to the plasma processing systems WO2012115833 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2012	08.08.2012 Plasmaverarbeitungssystem EP2484185 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2012	08.08.2012 Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Halbleiterwafers EP1619275 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2005 Erteilt am 08.08.2012 Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2012	01.08.2012 Reinigungszusammensetzung und Verfahren und System zur Verwendung der Reinigungszusammensetzung EP1803803 Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2006 Anhängig Vertretung Wombwell, Francis · Birkenhead Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2012	01.08.2012 Erweitertes Wafer-Reinigungsverfahren EP1848551 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2006 Erteilt am 01.08.2012 Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Methods and apparatus for detecting multiple objects WO2012096811 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.06.2012	28.06.2012 Process for treating a semiconductor wafer WO2012085817 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.06.2012	21.06.2012 Method for forming stair-step structures WO2012082336 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.06.2012	20.06.2012 Vorrichtung und System zur Reinigung eines Substrats EP1803503 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2012	14.06.2012 Plasma processing system control based on rf voltage WO2012078569 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2012	14.06.2012 Methods and apparatus for integrating and controlling a plasma processing system WO2012077032 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.12.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2012	13.06.2012 Plasmareaktor mit einer Gleichzeitig mit Unterschiedlichen Frequenzen Betriebenen Elektrode EP1516350 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2003 Erteilt am 13.06.2012 Vertretung Gill, David Alan · London WP Thompson Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2012	07.06.2012 Method and apparatus for surface treatment using inorganic acid and ozone WO2012073176 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2012	07.06.2012 Method and apparatus for wafer wet processing WO2012073139 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2012	07.06.2012 Immersible plasma coil assembly and method for operating the same WO2012074741 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2012	06.06.2012 Entzündungsschutz in Elektrostatischen Chucks EP2460179 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2012	30.05.2012 System und Verfahren zur Plasmalichtbogenerkennung, Isolierung und Vorbeugung EP2457420 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.07.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2012	23.05.2012 Verfahren zur Trocknung eines Halbleiterwafers EP2454750 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2010 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2012	23.05.2012 Lösungen für Stromlose Abscheidung und Prozesssteuerung EP2454397 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.07.2009 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2012	18.05.2012 Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing WO2012064543 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.05.2012	10.05.2012 Electrode securing platens and electrode polishing assemblies incorporating the same WO2012061362 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.05.2012	10.05.2012 Rapid and uniform gas switching for a plasma etch process WO2012061277 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.05.2012	10.05.2012 Methods and apparatus for detecting the confinement state of plasma in a plasma processing system WO2012061711 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.11.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.05.2012	03.05.2012 Method and apparatus for drying a semiconductor wafer WO2012056343 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.10.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen