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MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

425 gesamt
Patent
20.01.2011
A wide dynamic range electrometer with a fast response
WO2011008569
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
13.01.2011
Methods and apparatus for protecting plasma chamber surfaces
WO2011005277
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Method and system for controlling radio frequency power
WO2010151466
Elektrische Energietechnik
22.12.2010
Multigas-Überwachungs- und -Detektionssystem
EP1949077
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.12.2010
Prozesssteuerung mit Prozessdaten und Ertragsdaten
EP2260358
Steuerungs- & Regelungstechnik
18.11.2010
Methods and apparatus for automated predictive design space estimation
WO2010132224
Software & Datenverarbeitung
03.11.2010
Hochfrequenz-Leistungsabliefersystem
EP2245736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.10.2010
Hierarchische Datenorganisation anhand von Partial-Least-Squares-Pfadanalyse
EP2235644
Software & Datenverarbeitung
29.09.2010
Baffle mit einer Steuerung der Ablagerung von Verunreinigungen mit einem Kapazitaetsdifferenz - Druckwandler
EP1627214
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.09.2010
Ionisationsmessgerät mit Elektronenmultiplikator-Kaltemissionsquelle
EP2232224
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2010
Method and apparatus of providing power to ignite and sustain a plasma in a reactive gas generator
WO2010098779
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2010
Radiofrequenzenergie-Tastkopf mit thermisch leitender Hülse
EP1265267
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2010
Methods and systems for stabilizing an amplifier
WO2010090920
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.07.2010
Controlling a manufacturing process with a multivariate model
WO2010085479
Steuerungs- & Regelungstechnik
28.07.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung von Energie zum Zünden und Aufrechterhalten eines Plasmas in einem Reaktiven Gasgenerator
EP1949407
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2010
Reactive chemical containment system
WO2010075467
Verfahrens- & Trenntechnik
09.06.2010
Ausführung eines Kapazitiven Drucksensors
EP1309840
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.05.2010
Dual-mode mass flow verification and mass flow delivery system and method
WO2010059696
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.03.2010
Verfahren und Systeme zum Stabilisieren eines Verstärkers
EP2160618
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.02.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines Referenzdrucks in einer Kammer eines Kapazitätssensors
EP1819995
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.01.2010
Systems and methods for updating valve cracking current in mass flow controllers
WO2010005601
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
06.01.2010
Messinstrument und Verfahren
EP2140241
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.12.2009
Steuerung für einen HF-Leistungsgenerator mit geringer Kabellängeempfindlichkeit
EP1248363
Elektronik & Schaltungstechnik
28.10.2009
Ionenspeicher
EP1366507
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2009
Isolation valve with corrosion protected and heat transfer enhanced valve actuator and closure apparatus and method
WO2009126578
Maschinenelemente & Fluidtechnik
15.10.2009
Orthogonal radio frequency voltage/current sensor with high dynamic range
WO2009126897
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.10.2009
Ventilanordnung mit Verbesserter Leitwertsteuerung
EP1668278
Maschinenelemente & Fluidtechnik
07.10.2009
Stabilitätsnetz für Hf-Leistungsverstärker
EP2106677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.09.2009
Plasma-Stromversorgung mit Schutzschaltung
EP1272014
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.08.2009
Application of wideband sampling for arc detection with a probabilistic model for quantitatively measuring arc events
WO2009102358
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.07.2009
Prädiktives Fehlerschema für industrielles Stromversorgungssystem
EP1248357
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Systems and methods for sorting irregular objects
WO2009085851
Software & Datenverarbeitung
08.07.2009
Elektrostatische Ionenfalle
EP2076917
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2009
Multivariat-Mehrfachmatrixanalyse aus analytischen und Sensordaten
EP2068277
Software & Datenverarbeitung
04.06.2009
Multi-zone pressure control system
WO2009070649
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.04.2009
Toroidal plasma chamber for high gas flow rate process
WO2009051597
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2008
Mass flow verifiers capable of providing different volumes, and related methods
WO2009002917
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.12.2008
Particle reduction through gas and plasma source control
WO2008154222
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2008
Automated model building and model updating
WO2008137544
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.10.2008
Mass flow device using a flow equalizer for improving the output response
WO2008127799
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Wer vertritt MKS Instruments?

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3

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