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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
21.08.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2025
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2025
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2025
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2025
Die Shape Control For die To Wafer Bond Enhancement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Direct current superposition (dcs) for protection of organic mandrel during spacer deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Computer program, information processing method, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
14.08.2025
Bonding device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Substrate support, electrostatic chuck, plasma processing apparatus, and method for manufacturing electrostatic chuck
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Film forming device, film forming method, and substrate processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Plasma processing device, power supply system, control method, and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.08.2025
Luminescent dye and detection method using luminescent dye
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
14.08.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.08.2025
Wet processing system and nozzle for dispensing a liquid laterally across a semiconductor wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Apparatus for plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
Substratverarbeitungssystem und Verfahren zur Erkennung von Substratanomalien
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Plasma processing device, rf system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.08.2025
Method for selective exposure of wafer to corrective irradiation at a per-die level
Optik & Fototechnik
07.08.2025
Method for etching a pattern in a layer of a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Contact Patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Plasma processing system with direct current superposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Substrate processing apparatus, substrate processing method, and computer-readable storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Substrate processing method, substrate processing apparatus, and substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Computer program, information processing method, and information processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Aligner device and method for controlling aligner device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Plasma processing apparatus and ring assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Substrate processing apparatus and tray
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.08.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Processing system and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Processing system and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Bonding device and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Polierte Temperaturgeregelte Bühne
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.07.2025
Boron nitride film formation method and formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Selective Etching in Semiconductor Devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Processing device, work device, and work method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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