Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
26.04.2018	26.04.2018 Microwave output device and plasma processing device WO2018074236 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.04.2018	26.04.2018 Method for self-aligned cutting of single fins WO2018075753 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.10.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.04.2018	26.04.2018 Method for forming metal wiring layer, device for forming metal wiring layer, and recording medium WO2018074072 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.04.2018	26.04.2018 Method of reducing overlay error in via to grid patterning WO2018075755 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.10.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.04.2018	19.04.2018 Electrolytic treatment tool, method for manufacturing electrolytic treatment tool, and electrolytic treatment device WO2018070188 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.04.2018	19.04.2018 Substrate processing system WO2018070127 Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2018	12.04.2018 Facilitation of spin-coat planarization over feature topography during substrate fabrication WO2018067677 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2018	12.04.2018 Electrolytic treatment tool and electrolytic treatment method WO2018066297 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2018	12.04.2018 Electrolytic treatment tool and electrolytic treatment method WO2018066315 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Cleaning composition, cleaning method, and method for manufacturing semiconductor WO2018062053 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Abnormality detection program, abnormality detection method and abnormality detection device WO2018061842 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Substrate processing method and substrate processing device WO2018062362 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Atmospheric plasma processing systems and methods for manufacture of microelectronic workpieces WO2018064391 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Substrate processing method and substrate processing device WO2018061697 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2018	05.04.2018 Substrate inspection device and substrate inspection method WO2018061609 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2018	29.03.2018 Method of patterning intersecting structures WO2018057493 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2018	29.03.2018 Spacer formation for self-aligned multi-patterning technique WO2018057499 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2018	29.03.2018 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2018056085 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2018	29.03.2018 Substrate inspection device WO2018056021 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2018	29.03.2018 Substrate inspection method and substrate inspection device WO2018056022 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2018	22.03.2018 Method of in situ hard mask removal WO2018053487 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2018	15.03.2018 Method of quasi atomic layer etching WO2018048925 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.09.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2018	15.03.2018 Culture medium heating device and culturing system WO2018047679 Pharma & Biotechnologie Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2018	15.03.2018 Inspection system adjusting method and auxiliary element used therefor WO2018047490 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2018	14.03.2018 Puffertank und Kultursystem EP3293252 Pharma & Biotechnologie	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2017 Anhängig Vertretung Diehl & Partner · München Diehl & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2018	08.03.2018 Iii nitride microcrystal aggregate production method, gallium nitride microcrystal aggregate production method, iii nitride microcrystal aggregate, and sputtering target WO2018042705 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2018	08.03.2018 Method of anisotropic extraction of silicon nitride mandrel for fabrication of self-aligned block structures WO2018044727 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2018	08.03.2018 Method of quasi-atomic layer etching of silicon nitride WO2018044713 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2018	08.03.2018 Endpoint detection algorithm for atomic layer etching (ale) WO2018045197 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2018	07.03.2018 Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Films EP2099063 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2007 Erteilt am 07.03.2018 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2018	07.03.2018 Verfahren zum Ätzen einer zu Ätzenden Schicht EP3073518 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2014 Erteilt am 07.03.2018 Vertretung Enomoto, Kéi · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2018	01.03.2018 Coating method, coating device, and storage medium WO2018037691 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2018	01.03.2018 Etching method and method for manufacturing dram capacitor WO2018037739 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2018	01.03.2018 Manufacturing methods to protect ulk materials from damage during etch processing to obtain desired features WO2018038922 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2018	28.02.2018 Ätzverfahren unter Verwendung von Blockcopolymeren EP2733533 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2013 Erteilt am 28.02.2018 Vertretung Ego, Christophe · Boortmeerbeek Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2018	22.02.2018 Method of metal filling recessed features in a substrate WO2018035120 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2018	15.02.2018 Device inspection circuit, device inspection device, and probe card WO2018029971 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2018	15.02.2018 Chemically amplified resist material, and method for forming resist pattern WO2018030445 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2018	15.02.2018 Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium WO2018030516 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2018	15.02.2018 Three-dimensional semiconductor device and method of fabrication WO2018031528 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen