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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
19.01.2012
Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2012
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2012
Etch process for reduccing silicon recess
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2012
Fördervorrichtungen und Bearbeitungssystem damit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2012
Substratverarbeitungsverfahren, Substratverarbeitungsvorrichtung, und Programmspeichermedium
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
05.01.2012
Method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Etching method and device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Metal-film forming device
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
05.01.2012
Metal film formation system, metal film formation method, and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
05.01.2012
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.01.2012
Substrate treatment device, and method for cleaning of substrate treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Trap device and substrate processing device
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
05.01.2012
Film forming method and processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Farbstoffabsorption für einen Photosensibilisator-Farbstoff, Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Farbstoffsensibilisierten Solarzelle und Farbstoffsensibilisierte Solarzelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2012
Flüssigkeitsbehandlungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2012
Vorrichtung zur Substratverarbeitung, Verfahren zur Substratverarbeitung und Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2011
Plasma doping device, plasma doping method, method for manufacturing semiconductor element, and semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2011
Film formation method, semiconductor-device fabrication method, insulating film and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2011
Sealing film formation method, sealing film formation device, and organic light-emitting element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.12.2011
Sputterverfahren unter Verwendung von Virtueller Verschlussvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.12.2011
Pitch change device and substrate conveyance robot using pitch change device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2011
Process for production of semiconductor device, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2011
Beschichtungsverfahren und Beschichtungsvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
15.12.2011
Method of selectively etching an insulation stack for a metal interconnect
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2011
Data acquisition method of substrate processing device, and sensor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2011
Method for supplying treatment liquid, and computer storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2011
Substrate etching method and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2011
Imprint system, imprint method, and computer memory medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2011
Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2011
Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2011
Endgerätevorrichtung, Endgerätevorrichtungs-Steuerverfahren, Netzwerksystem, Netzwerksystem-Steuerverfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
17.11.2011
Metal film forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2011
Metal film forming system, method for forming metal film and computer recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2011
Metal film forming system, metal film forming method, and computer storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2011
Chemical supply system, substrate processing apparatus provided with same, and application/development system provided with the substrate processing apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2011
Method for forming carbon nanotubes, and carbon nanotube film-forming apparatus
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
02.11.2011
Filmablagerungsvorrichtung und Gasausgabeglied
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2011
Vertikales Wärmebearbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2011
Contact structure and method for manufacturing contact structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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