Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
27.05.2010	27.05.2010 Plasma processing apparatus WO2010058771 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.05.2010	27.05.2010 Substrate processing apparatus WO2010058812 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.05.2010	27.05.2010 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2010058813 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.05.2010	26.05.2010 Verfahren und System zur Reinigung eines Substrats und Programmspeichermedium EP1834708 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2007 Erteilt am 26.05.2010 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.05.2010	26.05.2010 Prüfverfahren, Prüfvorrichtung und computerlesbares Speichermedium mit darauf gespeichertem Programm EP1939640 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2007 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Treatment liquid ejection inspecting method, treatment liquid ejection inspecting apparatus and computer readable recording medium WO2010055551 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Suck bag height test method, suck bag height test device and computer readable recording medium WO2010055552 Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Cable inspection method, cable inspection d device, jig device inspection method, and computer-readable recording medium WO2010055574 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Bonding apparatus and bonding method WO2010055730 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Substrate processing system WO2010055851 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Plasma etching method and plasma etching device WO2010055862 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Processing device WO2010055946 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.05.2010	20.05.2010 Film forming apparatus WO2010055926 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2010	14.05.2010 Substrate processing apparatus WO2010053149 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.11.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2010	12.05.2010 Film zur Isolation zwischen Schichten und Verdrahtungsstruktur und Herstellungsverfahren dafür EP2184771 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2008 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2010	12.05.2010 Halbleiteranordnung und Verfahren zu Ihrer Herstellung EP2184775 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2008 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2010	12.05.2010 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Luft EP1400761 Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2002 Erteilt am 12.05.2010 Vertretung Fiesser, Gerold Michael · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.05.2010	05.05.2010 Mechanismus zum Verändern der Endlage eines Zylinders und Substratverarbeitungsvorrichtung damit EP2028378 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2008 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.05.2010	05.05.2010 Chromatographische Detektionsvorrichtung EP2182353 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2008 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.05.2010	05.05.2010 Verfahren zur Reinigung von Reaktionsbehälter EP1422316 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2002 Erteilt am 05.05.2010 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2010	29.04.2010 Heat treatment apparatus WO2010047155 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2010	29.04.2010 Plasma etching method and plasma etching device WO2010047308 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.10.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.04.2010	28.04.2010 Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung und Flüssigkeitsverarbeitungsverfahren EP1840942 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2007 Erteilt am 28.04.2010 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2010	14.04.2010 Waschvorrichtung und Waschverfahren EP1900448 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2006 Erteilt am 14.04.2010 Vertretung Wiedemann, Peter · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Gas supply device WO2010038344 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Vaporizer and deposition system using the same WO2010038515 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Method and apparatus for forming silicon oxide film WO2010038654 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Method for detecting abnormal placement state of substrate, substrate processing method, computer-readable storage medium and substrate processing apparatus WO2010038674 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Deposition apparatus, deposition method, and storage medium having program stored therein WO2010038631 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Plasma processing apparatus WO2010038729 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Film forming apparatus WO2010038734 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Silicon oxynitride film and process for production thereof, computer-readable storage medium, and plasma cvd device WO2010038888 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Silicon oxide film, method for forming silicon oxide film, and plasma cvd apparatus WO2010038900 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Silicon dioxide film and process for production thereof, computer-readable storage medium, and plasma cvd device WO2010038887 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Silicon nitride film and process for production thereof, computer-readable storage medium, and plasma cvd device WO2010038885 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2010	08.04.2010 Method for depositing silicon nitride film, computer-readable storage medium, and plasma cvd device WO2010038886 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2010	01.04.2010 Vacuum processing apparatus and vacuum transfer apparatus WO2010035385 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2010	01.04.2010 Chemical mechanical polishing apparatus, chemical mechanical polishing method, and control program WO2010035404 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2010	01.04.2010 Film forming method and film forming apparatus WO2010035647 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2010	01.04.2010 Film formation device and substrate processing apparatus WO2010035773 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen