Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
01.04.2010	01.04.2010 Method for forming ruthenium metal cap layers WO2010037074 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2010	31.03.2010 Komplementäre MIS-Vorrichtung EP1848039 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2002 Erteilt am 31.03.2010 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Method and apparatus for forming polymerized film WO2010032547 Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Substrate processing apparatus and substrate placing table WO2010032750 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Method for reducing temperature of substrate placing table, computer-readable storage medium, and substrate processing system WO2010032708 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Temperature adjustment mechanism, and plasma treatment apparatus WO2010032745 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Dielectric material treatment saystem and method of operating WO2010033469 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2010	25.03.2010 Dual Tone Development Processes WO2010033720 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2010	11.03.2010 Variable-Ratio Double-Deflection Beam Blanker WO2010027368 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2010	11.03.2010 Heat treatment apparatus WO2010026815 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2010	11.03.2010 Gas supply member and plasma processing device WO2010026879 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2010	11.03.2010 Method for forming aluminum-doped metal carbonitride gate electrodes WO2010027715 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2010	04.03.2010 Plasma processing device and method for cleaning plasma processing device WO2010024036 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2010	04.03.2010 Method for forming amorphous carbon nitride film, amorphous carbon nitride film, multilayer resist film, method for manufacturing semiconductor device, and storage medium in which control program is stored WO2010024037 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2010	04.03.2010 Plasma processing apparatus, plasma processing method, method for cleaning plasma processing apparatus and pressure control valve for plasma processing apparatus WO2010024334 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2010	04.03.2010 Method of patterning a substrate using dual tone development WO2010025198 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2010	25.02.2010 Microwave introduction mechanism, microwave plasma source and microwave plasma processing device WO2010021382 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2010	24.02.2010 Einrichtung und Steuerverfahren für die Mikrowellen-Plasmaverarbeitung EP1377138 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Erteilt am 24.02.2010 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2010	24.02.2010 Flüssigkeitsbehandlungsapparat EP1168421 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2001 Erteilt am 24.02.2010 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2010	24.02.2010 Wafertransportsystem, Wafertransportverfahren und ein automatisch geführtes Transportsystem EP1280186 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.07.2002 Anhängig Vertretung Liedl, Christine · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2010	24.02.2010 Wärmebehandlungsverfahren und Wärmebehandlungsvorrichtung EP1548809 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2003 Erteilt am 24.02.2010 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.02.2010	18.02.2010 Metal recovery method, metal recovery apparatus, exhaust system, and film forming device using same WO2010018768 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2010	11.02.2010 Microwave plasma generation device and microwave plasma processing device WO2010016414 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2010	11.02.2010 Dielectric window, dielectric window manufacturing method, and plasma treatment apparatus WO2010016423 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2010	11.02.2010 Raw material recovery method and trapping mechanism for recovering raw material WO2010016500 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2010	11.02.2010 Placing Table Structure WO2010016499 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2010	11.02.2010 Plasma processing apparatus WO2010016417 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.02.2010	10.02.2010 Dünnfilm des Verbundtyps, Verfahren zur Bildung eines Dünnfilms des Verbundtyps und Elektronische Vorrichtung mit dem Dünnfilm EP2151853 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2008 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.02.2010	04.02.2010 Method and device for cleaning a substrate, and storage medium WO2010013661 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.02.2010	04.02.2010 High throughput processing system for chemical treatment and thermal treatment and method of operating WO2010014384 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2010	28.01.2010 Semiconductor device and manufacturing method therefor WO2010010668 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2010	28.01.2010 Method and apparatus for modifying titanium nitride film WO2010010816 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2010	28.01.2010 High Temperature Electrostatic Chuck WO2010011519 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2010	21.01.2010 Probe WO2010007816 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2010	21.01.2010 Microwave plasma processing apparatus and method for producing cooling jacket WO2010007863 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2010	21.01.2010 Film-forming apparatus and powder evaporation apparatus WO2010007981 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Method for semiconductor element isolation WO2010004619 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Device and method for removing nitride film WO2010004620 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Plasma processing device WO2010004836 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Resist processing apparatus, resist applying/developing apparatus and resist processing method WO2010004827 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen