Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
27.03.2008	27.03.2008 Plasma cleaning process and plasma cvd method WO2008035678 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Coating/developing apparatus, coating/developing apparatus control method and storage medium WO2008032714 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Electron Beam Enhanced Surface Wave Plasma Source WO2008033928 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2008	20.03.2008 Method and system for dry etching a hafnium containing material WO2008033886 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2008	19.03.2008 Durchflussregler mit Variablem Flussbereich EP1901154 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2006 Anhängig Vertretung Neilson, Martin Mark · Leeds Murgitroyd & Company Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate cleaning method WO2008030713 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Temperature measuring device WO2008029595 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate positioning method, substrate position detecting method, and substrate retrieving method WO2008029609 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate transfer device, substrate processing device, and method of transferring substrate WO2008029608 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Annealing apparatus WO2008029742 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Substrate processing method and storage medium WO2008029800 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2008	13.03.2008 Thermal processing system for curing dielectric films WO2008030663 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Vakuumbehandlungsanlage EP1169490 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2001 Erteilt am 12.03.2008 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Verfahren zur Bestimmung von Parametern einer Thermischen Behandlung EP1320124 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2001 Erteilt am 12.03.2008 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Impedanzmess-Schaltung und Ihr Verfahren und Kapazitätsmess-Schaltung EP1426772 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.09.2002 Erteilt am 12.03.2008 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung EP1898453 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Plasmanitrierungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1898456 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Fördereinrichtung eines zu Verarbeitenden Artikels EP1898445 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.03.2008	06.03.2008 Method of plasma oxidation processing WO2008026531 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Method of treating substrate, process for manufacturing semiconductor device, substrate treating apparatus and recording medium WO2008023585 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Coating developing machine, resist pattern forming device, coating developing method, resist pattern forming method, and storage medium WO2008023693 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2008	28.02.2008 Etching method, etching device, computer program, and recording medium WO2008023700 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Rohrverbindung EP1486715 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.03.2003 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Paul, Dieter-Alfred · Neuss Paul, Dieter-Alfred · Neuss Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Verfahren zur Filmerzeugung und Computerlesbares Speichermedium EP1892752 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.05.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2008	21.02.2008 Thermal processing system with improved process gas flow and method for injecting a process gas into a thermal processing system WO2008021598 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2008	21.02.2008 Method of treating a mask layer prior to performing an etching process WO2008021609 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2008	21.02.2008 Exhaust assembly for a plasma processing system and method WO2008021654	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Substrate transferring apparatus, substrate processing apparatus, substrate transferring arm and substrate transferring method WO2008018285 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Film forming device, film forming system, and film forming method WO2008018500 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Defect inspecting method and defect inspecting apparatus WO2008018463 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2008	14.02.2008 Film forming apparatus, film forming system and film forming method WO2008018498 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Probe Pin WO2008015868 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Server device and program WO2008015881 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Server device and program WO2008015880 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Cvd film forming method and cvd film forming apparatus WO2008015914 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Heat treatment method and heat treatment apparatus WO2008015915 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Substrate processing apparatus, program, recording medium and conditioning necessity determining method WO2008015912 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Method for film formation, apparatus for film formation, computer program, and storage medium WO2008016004 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Gas supply device and board treatment apparatus WO2008016023 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Annealing apparatus and annealing method WO2008016116 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen