Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.05.2008	15.05.2008 Reflow method, pattern-forming method, and method for manufacturing tft WO2008056614 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.05.2008	15.05.2008 Probe card for inspecting solid state image sensor WO2008056627 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.05.2008	15.05.2008 Interlayer insulating film, wiring structure, electronic device and method for manufacturing the interlayer insulating film, the wiring structure and the electronic device WO2008056748 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2008	08.05.2008 Method of film deposition and apparatus for treating substrate WO2008053625 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2008	08.05.2008 Apparatus for inspecting fine structure, method for inspecting fine structure and substrate holding apparatus WO2008053929 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.05.2008	07.05.2008 System und Verfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung EP1455388 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2002 Erteilt am 07.05.2008 Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.05.2008	07.05.2008 Untersuchungsverfahren und Untersuchungsgerät EP1574866 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2003 Erteilt am 07.05.2008 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2008	02.05.2008 Shower plate sintered integrally with gas release hole member and method for manufacturing the same WO2008050567 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2008	02.05.2008 Power supply and microwave generator using same WO2008050619 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2008	02.05.2008 Method for forming high dielectric film and method for manufacturing semiconductor device WO2008050708 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2008	02.05.2008 Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, program and recording medium WO2008050832 Verfahrens- & Trenntechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Vaporizer and film forming apparatus WO2008047506 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Plasma filming apparatus, and plasma filming method WO2008047520 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Film coating apparatus and film coating method WO2008047541 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device WO2008047635 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Semiconductor device, semiconductor device manufacturing method, and inspection method WO2008047832 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2008	24.04.2008 Ti film forming method and storage medium WO2008047838 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2008	23.04.2008 Substratbehandlungseinrichtung und Substratbehandlungsverfahren EP1403913 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2002 Erteilt am 23.04.2008 Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2008	23.04.2008 Wärmebehandlungsgerät und Methode EP1156518 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2000 Erteilt am 23.04.2008 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2008	23.04.2008 Kondensator und dessen Herstellungsverfahren EP1758151 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2008	17.04.2008 Method for forming thin film and multilayer structure of thin film WO2008044602 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Vapor deposition device, device for controlling vapor deposition device, method for controlling vapor deposition device, and method for using vapor deposition device WO2008041558 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, storage medium, and plasma processing apparatus WO2008041599 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, plasma processing apparatus, and storage medium WO2008041600 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Plasma oxidizing method, plasma oxidizing apparatus, and storage medium WO2008041601 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Film coating apparatus WO2008041625 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Vapor-deposition apparatus WO2008041671 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Apparatus for manufacturing semiconductor, method for manufacturing semiconductor device, storage medium, and computer program WO2008041670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Substrate treating apparatus, substrate treating method, and rinsing method for drainage cup WO2008041741 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Method and system for facilitating preventive maintenance of an optical inspection tool WO2008042572 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2008	10.04.2008 Uv-assisted dielectric formation for devices with strained germanium-containing layers WO2008042528 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2008	09.04.2008 Substratverarbeitungsvorrichtung EP1909313 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Planar heater and semiconductor heat treatment apparatus provided with the heater WO2008038477 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Probe card and inspection device of minute structure WO2008038781 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Method for forming silicon oxide film, plasma processing apparatus and storage medium WO2008038788 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Deposition apparatus and method for operating the same WO2008038822 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Deposition apparatus, deposition apparatus control apparatus, deposition apparatus control method, deposition apparatus using method and outlet manufacturing method WO2008038821 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Substrate treatment method and substrate treatment apparatus WO2008038823 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Temperature controlled substrate holder with non-uniform insulation layer for a substrate processing system WO2008039611 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Integrated Substrate Processing in A Vacuum Processing Tool WO2008039606 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen