Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
07.02.2008	07.02.2008 Method and system for controlling the uniformity of a ballistic electron beam by rf modulation WO2008016747 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Coating method and coater WO2008013035 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Substrate processing method, program, computer-readable recording medium, and substrate processing system WO2008013211 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Standing wave measuring unit in waveguide and standing wave measuring method, electromagnetic wave using device, plasma processing device, and plasma processing method WO2008013087 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Microwave plasma source and plasma processing apparatus WO2008013112 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Liquid treatment device and liquid treatment method WO2008013118 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2008	31.01.2008 Substrate processing method, program, computer-readable storage medium and substrate processing system WO2008013310 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus, semiconductor device, computer program and storage medium WO2008010370 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus, computer program and storage medium WO2008010371 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Analyzing method and analyzing apparatus WO2008010385 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Film forming method and film forming apparatus WO2008010489 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Shower plate, method for producing the same, plasma processing apparatus using the shower plate, plasma processing method, and method for manufacturing electronic device WO2008010520 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2008	17.01.2008 Film formation method, cleaning method, and film formation device WO2008007675 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.01.2008	16.01.2008 Vorrichtung zur Filmerzeugung und Verfahren zur Filmerzeugung EP1879431 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2006 Anhängig Vertretung Glawe Delfs Moll · Hamburg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Facility diagnosis method, facility diagnosis system, and computer program WO2008004457 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Gas Supply Unit WO2008004501 Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Plasma abnormal discharge diagnosis method, plasma abnormal discharge diagnosis system, and computer program WO2008004528 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Aftertreatment method for amorphous carbon film WO2008004584 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Annealing apparatus and annealing method WO2008004581 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.01.2008	09.01.2008 Duschplatte und Verfahren zu Ihrer Herstellung EP1876639 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2008001697 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2008001698 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Oscillating wave detection method and device WO2008001798 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Plasma processing method and equipment WO2008001853 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2008	02.01.2008 Element zum Einkoppeln von elektrischer Energie in eine Bearbeitungskammer und Bearbeitungssystem mit einem solchen Element EP1401008 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2000 Erteilt am 02.01.2008 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 A dry non-plasma treatment system and method of using WO2007149627 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Microwave introducing apparatus and plasma processing apparatus WO2007148690 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Film forming apparatus and film forming method WO2007148692 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2007	26.12.2007 Mikrostruktur-Sondenkarte und Mikrostruktur-Untersuchungseinrichtung, Verfahren und Computerprogramm EP1870714 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2007	26.12.2007 Sondenkarte EP1870715 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2007 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Placing table structure and heat treatment apparatus WO2007145132 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Shower plate, method for manufacturing the shower plate, plasma processing apparatus using the shower plate, plasma processing method and electronic device manufacturing method WO2007145229 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Substrate processing system and substrate conveyance method WO2007145315 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Placing table structure and heat treatment apparatus WO2007145070 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Ein Substratverarbeitungssystem und ein Substratverarbeitungsverfahren EP1737022 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2006 Erteilt am 19.12.2007 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Verarbeitungsvorrichtung und Verarbeitungsverfahren EP1862711 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2007 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2007	13.12.2007 Film forming apparatus, film forming method, computer program and storage medium WO2007142329 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2007	12.12.2007 Herstellung eines Halbleiter-Bauelementes EP1146555 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2000 Erteilt am 12.12.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2007	12.12.2007 Verfahren zum Herstellen eines Siliziumoxidfilms, Steuerprogramm Dafür, Aufzeichnungsmedium und Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1865548 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2007	06.12.2007 Plasma cvd method, method for forming silicon nitride film, method for manufacturing semiconductor device and plasma cvd method WO2007139142 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen