Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
29.12.2004	29.12.2004 Verfahren zur Bildung eines Zugrundeliegenden Isolationsfilms EP1492161 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2004	29.12.2004 Method and equipment for inspecting electric characteristics of specimen WO2004114392 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2004	29.12.2004 Heat treatment apparatus WO2004114377 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2004	23.12.2004 Process for depositing film, process for fabricating semiconductor device, semiconductor device and system for depositing film WO2004112114 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2004	23.12.2004 Treatment gas supply mechanism, film-forming device, and film-forming method WO2004111297 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2004	22.12.2004 Methode und System, einen Oxynitridfilm herzustellen EP1160847 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2001 Anhängig Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2004	22.12.2004 Substratverarbeitungseinrichtung und Substratverarbeitungsverfahren, Schnelle Drehventile, Reinigungsverfahren EP1489651 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2003 Anhängig Vertretung Vinsome, Rex Martin · Newcastle-upon-Tyne Urquhart-Dykes & Lord LLP Rees, Alexander Ellison · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2004	16.12.2004 Relative pressure control system and relative flow rate control system WO2004109420 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2004	16.12.2004 Method for data pre-population WO2004109410 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2004	16.12.2004 Method and system for heating a substrate using a plasma WO2004109773 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2004	16.12.2004 Method and system for using ion implantation for treating a low-k dielectric film WO2004109756 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2004	16.12.2004 Adaptable processing element for a processing system and a method of making the same WO2004108982 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.12.2004	09.12.2004 Method for modifying insulating film WO2004107431 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.12.2004	09.12.2004 Plasma source and plasma processing apparatus WO2004107825 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.12.2004	09.12.2004 Apparatus and methods for compensating plasma sheath non-uniformities at the substrate in a plasma processing system WO2004107387 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.12.2004	08.12.2004 Zerschneideverfahren, Verfahren zur Untersuchung eines Integrierten Schaltungselements, Substrathalteeinrichtung und Druckhaftfilm EP1484791 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2003 Anhängig Vertretung Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2004	02.12.2004 Cvd method for forming silicon nitride film WO2004105115 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2004	02.12.2004 Temperature measuring system and temperature measuring method WO2004104535 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2004	01.12.2004 Verfahren zur Passivierung von Materialien mit Niedrigem Dielektrikum bei der Waferverarbeitung EP1481284 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2003 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2004	01.12.2004 Ätzmethode und Plasmabehandlungsmethode EP1207550 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2000 Erteilt am 01.12.2004 Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2004	01.12.2004 Substratträgermechanismus für ein Halbleiterverarbeitungssystem EP1482545 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.11.2004	25.11.2004 Method system and computer readable medium for monitoring the status of a chamber process WO2004102307 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2004	24.11.2004 Verfahren zum Ätzen einer Metalloxid-Verbindungsschicht und Behandlungsvorrichtung EP1158576 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2001 Anhängig Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.11.2004	18.11.2004 Hybrid ball-lock attachment apparatus WO2004099462 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.11.2004	18.11.2004 Processing schedule making method, coating/developing apparatus, pattern forming device, and processing system WO2004100234 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.11.2004	11.11.2004 Method and apparatus for processing organosiloxane film WO2004097921 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.11.2004	11.11.2004 Method and apparatus for treating organosiloxane coating film WO2004097920 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.11.2004	11.11.2004 Process gas introducng mechanism and plasma processing device WO2004097919 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.11.2004	11.11.2004 Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen eines Tiefen Grabens in Silizium WO2004097909 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2004	10.11.2004 Methode und Vorrichtung zur Beobachtung einer porösen, amorphen Schicht und Methode und Vorrichtung zur Herstellung derselben. EP1087036 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Erteilt am 10.11.2004 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2004	10.11.2004 Resisttrocknung mit einem Lösungsbad und Superkritischem Co Sb 2 /sb EP1474723 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2003 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2004	10.11.2004 Kompaktes Schieberventil EP1234133 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2000 Erteilt am 10.11.2004 Vertretung Freeman, Jacqueline Carol · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2004	10.11.2004 Cvd-Verfahren und Einrichtung zur Ausbildung eines Siliziumhaltigen Isolationsfilms EP1475828 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2003 Anhängig Vertretung Grosse, Rainer · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2004	10.11.2004 Verarbeitungseinrichtung und Verarbeitungsverfahren EP1475825 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 Semiconductor device WO2004095557 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.12.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 Plasma processing system and method WO2004095502 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 Method and system for temperature control of a substrate WO2004095531 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 Method and apparatus for reducing substrate backside deposition during processing WO2004095529 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 A method for adjoining adjacent coatings on a processing element WO2004095530 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 A barrier layer for a processing element and a method of forming the same WO2004095532 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen