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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
12.01.2005
Verfahren zur Herstellung von Dünnen Schichten durch Thermische Kurzzeitprozesse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2005
Kontrolle der Dotierungsdiffusion und der Dotierungsaktivierung mit Athermal Aufheizen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2004
Ion Implanter Having Enhanced Low Energy Ion Beam Transport
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2004
Herstellungsverfahren von Dünnfilmschichten durch Gleichzeitiges Dotieren und Sintern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2004
Strahlenzuführungsvorrichtung mit Hoher Transmission und Niedriger Energie für Ionenimplantierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.10.2004
Methods and apparatus for high speed object handling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2004
Aktive Elektrostatische Dichtung und Elektrostatische Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
06.10.2004
Gleichförmigkeitskontrolle für Plasmadotierungssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2004
Verfahren zur Bildung Ultraseichter Übergänge
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2004
Kombiniertes Athermales Aufheizen und Rta Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2004
Extraktion und Abbremsung von Niederenergiestrahlen mit Geringer Strahldivergenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Abstimmung von Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2004
Elektrodenkonfiguration zur Erhaltung von Kühl-Gas auf einer Elektrostatischen Wafer-Klammer
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2004
Verfahren zur Messung der Inzidenzwinkeln eines Ionenstrahls auf einer Halbleiterscheibe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2004
Verfahren und Apparat zur Ionenimplantation mit Variabler Räumlicher Dichte der Zeilen des Rasters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2004
Verfahren zur Herstellung Flacher Übergänge mit Niedrigem Schichtwiderstand
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2004
Glühdraht für Ionenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2003
Verfahren und Vorrichtung zur Gleichmässigkeitseinstellung Gerasteter Strahlen in Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2003
Methods and systems for dopant profiling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2003
Verfahren zur Herstellung von Soi-Materialien
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2003
Hybride Rastervorrichtung und Ionenimplantierungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2003
Ionenimplantierung mit Dualer Betriebsweise mittels nicht Parallelen Ionenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2003
Faraday Vorrichtung für Ionenimplantierungsgeräte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2003
Verfahren und Vorrichtung zur Justierung des Strahlenparallelismus in Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2003
Ionenimplantierung-Vorrichtungen und -Verfahren mit einer Stromabwärtiger Gasquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2003
Verfahren und Gerät zur Ionenimplantierung mit hoher Abrasterungseffizienz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2003
Steuerungssystem für die Indirekt Geheizte Kathode einer Ionenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2003
Scheiben-Orientierungssensor für Gaas Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2002
Verfahren zur Herstellung der Flachen Übergänge durch Laser-Annealing und Kurzzeittempern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2002
Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Hochenergiebeschleunigers mit Niedriger Energie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
24.10.2002
Strahlverschlussvorrichtung für Ionenimplantierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Helium Ionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2002
Plasma-Dotierungs-System Beinhaltend eine Hohlkathode
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Sauerstoff-Implantation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2002
Dosismonitor für ein Plasma-Dotierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2002
Elektrostatische Waferklemmvorrichtung mit einer Elektrostatischen Gasabdichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2002
In Situ Strahlauftreffwinkel- und Strahldivergenz-Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2002
Ionenstrahl-Rastergerät mit Grossem Parameterbereich
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2002
Oberflächenstruktur und Verfahren zu Ihrer Herstellung, und Elektrostatische Waferklemmvorrichtung mit Dieser Oberflächenstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.07.2002
Ladungsaustauschvorrichtung für Ladenenteilchenbeschleuniger
Elektrische Energietechnik

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