Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente
🇺🇸 USA
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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12.01.2005
Verfahren zur Herstellung von Dünnen Schichten durch Thermische Kurzzeitprozesse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.01.2005
Kontrolle der Dotierungsdiffusion und der Dotierungsaktivierung mit Athermal Aufheizen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.12.2004
Ion Implanter Having Enhanced Low Energy Ion Beam Transport
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2004
Anhängig
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08.12.2004
Herstellungsverfahren von Dünnfilmschichten durch Gleichzeitiges Dotieren und Sintern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.11.2004
Strahlenzuführungsvorrichtung mit Hoher Transmission und Niedriger Energie für Ionenimplantierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.10.2004
Methods and apparatus for high speed object handling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2004
Anhängig
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06.10.2004
Aktive Elektrostatische Dichtung und Elektrostatische Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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06.10.2004
Gleichförmigkeitskontrolle für Plasmadotierungssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.09.2004
Verfahren zur Bildung Ultraseichter Übergänge
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.09.2004
Kombiniertes Athermales Aufheizen und Rta Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.08.2004
Extraktion und Abbremsung von Niederenergiestrahlen mit Geringer Strahldivergenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.05.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Abstimmung von Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.04.2004
Elektrodenkonfiguration zur Erhaltung von Kühl-Gas auf einer Elektrostatischen Wafer-Klammer
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2003
Anhängig
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15.04.2004
Verfahren zur Messung der Inzidenzwinkeln eines Ionenstrahls auf einer Halbleiterscheibe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2003
Anhängig
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31.03.2004
Verfahren und Apparat zur Ionenimplantation mit Variabler Räumlicher Dichte der Zeilen des Rasters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.01.2004
Verfahren zur Herstellung Flacher Übergänge mit Niedrigem Schichtwiderstand
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2004
Glühdraht für Ionenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.12.2003
Verfahren und Vorrichtung zur Gleichmässigkeitseinstellung Gerasteter Strahlen in Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.11.2003
Methods and systems for dopant profiling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2003
Anhängig
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22.10.2003
Verfahren zur Herstellung von Soi-Materialien
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.08.2003
Hybride Rastervorrichtung und Ionenimplantierungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.07.2003
Ionenimplantierung mit Dualer Betriebsweise mittels nicht Parallelen Ionenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.06.2003
Faraday Vorrichtung für Ionenimplantierungsgeräte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.05.2003
Verfahren und Vorrichtung zur Justierung des Strahlenparallelismus in Ionenimplantierungsgeräten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.05.2003
Ionenimplantierung-Vorrichtungen und -Verfahren mit einer Stromabwärtiger Gasquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2002
Anhängig
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26.02.2003
Verfahren und Gerät zur Ionenimplantierung mit hoher Abrasterungseffizienz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.02.2003
Steuerungssystem für die Indirekt Geheizte Kathode einer Ionenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2003
Scheiben-Orientierungssensor für Gaas Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.12.2002
Verfahren zur Herstellung der Flachen Übergänge durch Laser-Annealing und Kurzzeittempern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.11.2002
Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Hochenergiebeschleunigers mit Niedriger Energie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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24.10.2002
Strahlverschlussvorrichtung für Ionenimplantierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.04.2002
Anhängig
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17.10.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Helium Ionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2002
Anhängig
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16.10.2002
Plasma-Dotierungs-System Beinhaltend eine Hohlkathode
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.09.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Sauerstoff-Implantation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2002
Anhängig
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04.09.2002
Dosismonitor für ein Plasma-Dotierungsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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31.07.2002
Elektrostatische Waferklemmvorrichtung mit einer Elektrostatischen Gasabdichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.07.2002
In Situ Strahlauftreffwinkel- und Strahldivergenz-Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2002
Anhängig
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24.07.2002
Ionenstrahl-Rastergerät mit Grossem Parameterbereich
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.07.2002
Oberflächenstruktur und Verfahren zu Ihrer Herstellung, und Elektrostatische Waferklemmvorrichtung mit Dieser Oberflächenstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.07.2002
Ladungsaustauschvorrichtung für Ladenenteilchenbeschleuniger
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2001
Anhängig
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Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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