Versum Materials US Patente

🇺🇸 USA

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Patente

2002–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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393 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
05.12.2018	05.12.2018 Verfahren zur Herstellung Kohlenstoffdotierter Siliciumhaltiger Filme EP3254303 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2016 Erteilt am 05.12.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2018	21.11.2018 System und Verfahren zur Rückgewinnung von Xenon EP2857352 Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2014 Erteilt am 21.11.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2018	31.10.2018 Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film EP3394315 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2016 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2018	24.10.2018 Verfahren zur Herstellung von Siliziumoxidschichten aus Organoaminosilanvorläuferverbindungen EP1860690 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2007 Erteilt am 24.10.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2018	24.10.2018 Verfahren zur Herstellung von Siliziumoxidschichten aus Organoaminosilanvorläuferverbindungen EP2562798 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2007 Erteilt am 24.10.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2018	17.10.2018 Organoaminofunktionalisierte Lineare und Cyclische Oligosiloxane zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen EP3388440 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2018 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2018	04.10.2018 Heating jacket and method of making heating jacket WO2018183334 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2018	26.09.2018 Lösungsmittelfreie wässrige Polyurethan-Dispersionen und Verfahren zur Herstellung und Verwendung davon EP2332998 Kunststoff- & Polymertechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2010 Erteilt am 26.09.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2018	19.09.2018 Vorläufer für GST-Filme in ALD/CVD-Verfahren EP2698373 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.08.2013 Erteilt am 19.09.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2018	05.09.2018 Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film EP3209814 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2015 Erteilt am 05.09.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2018	05.09.2018 Kümpelverringerung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren von Wolfram EP3056553 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2016 Erteilt am 05.09.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2018	29.08.2018 Verfahren zur Herstellung von Siliziumoxidschichten aus Organoaminosilanvorläuferverbindungen EP2562797 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2007 Erteilt am 29.08.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2018	29.08.2018 Chemisch-Mechanische Planarisierung von Folien mit Elementarem Silicium EP3366742 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2018 Anhängig Vertretung Merck Patent Association · Darmstadt Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2018	08.08.2018 Alkyl-Alkoxysilacyclische Verbindungen und Verfahren zur Ablagerung von Filmen damit EP3358602 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2015 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2018	23.05.2018 Verfahren zum Herstellen von siliziumhaltigen dielektrischen Schichten EP2228465 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.03.2010 Erteilt am 23.05.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2018	16.05.2018 Spritzschutz und Einlaufdiffusor für ein Rührgefäß mit hohem Vakuum und hohem Durchfluss EP1932942 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Erteilt am 16.05.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2018	16.05.2018 Vorläufer für Gst-Filme in Ald/cvd-Verfahren EP3293193 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.08.2013 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2018	02.05.2018 Disubstituierte Alkin-Dicobalt-Hexacarbonyl-Verbindungen, Verfahren zur Herstellung und Verfahren zur Verwendung davon EP3315506 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.11.2017 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.04.2018	18.04.2018 Kupferkorrosionshemmungssystem EP2975108 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2015 Erteilt am 18.04.2018 Vertretung Sommer, Andrea · München ANDREA \| SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2018	04.04.2018 Flüchtige Monoamino-dialkoxysilane und deren Verwendung zur Herstellung von Silizium-haltigen Filmen EP2620440 Organische Chemie Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.01.2013 Erteilt am 04.04.2018 Vertretung Hatt, Anna Louise · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Alkoxyaminosilane compounds having formula I, and processes and compositions for depositing a silicon-containing film, are described herein: (R<1>R<2>)NSiR<3>OR<4>OR<5> Formula (I) wherein R<1>is independently selected from a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group; a C<2>to C<12>alkenyl group; a C<2>to C<12>alkynyl group; a C<4>to C<10>cyclic alkyl group; and a C<6>to C<10>aryl group; R<2>and R<3>are each independently selected from hydrogen; a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group; a C<3>to C<12>alkenyl group, a C<3>to C<12>alkynyl group, a C<4>to C<10>cyclic alkyl group, and a C<6>to C<10>aryl group; and R<4>and R<5>are each independently selected from a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group; a C<2>to C<12>alkenyl group; a C<2>to C<12>alkynyl group; a C<4>to C<10>cyclic alkyl group; and a C<6>to C<10>aryl group. Alle Patent-Informationen
28.03.2018	28.03.2018 Abscheidung einer dielektrischen Sperre mittels stickstoffhaltigem Vorläufer EP2251899 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2010 Erteilt am 28.03.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.03.2018	28.03.2018 Verfahren zur Ablagerung von Filmen durch Alkyl-Alkoxysilacyclische Verbindungen EP2958135 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2015 Erteilt am 28.03.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.03.2018	21.03.2018 Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung EP3153558 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.09.2016 Erteilt am 21.03.2018 Vertretung Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2018	14.03.2018 Chemisch-mechanische Polierzusammensetzung mit chemischen Zusatzstoffen und Verfahren zur Verwendung davon EP2662427 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.05.2013 Erteilt am 14.03.2018 Vertretung Hatt, Anna Louise · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2018	07.03.2018 Verfahren zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen unter Verwendung von Organoaminodisilanvorläufern EP3290425 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2013 Anhängig Vertretung Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2018	28.02.2018 Zusammensetzungen und Verfahren zur Ablagerung von Kohlenstoffdotierten Siliciumhaltigen Filmen EP2714960 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2012 Erteilt am 28.02.2018 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2018	28.02.2018 Harte Titannitridmaske und Ätzrestentfernung EP3024016 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2015 Erteilt am 28.02.2018 Vertretung Sommer, Andrea · München ANDREA \| SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2018	28.02.2018 Verfahren zur Entfernung von Kohlenstoff aus einem Organosilikatmaterial EP3121310 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2009 Erteilt am 28.02.2018 Vertretung Sommer, Andrea · München ANDREA \| SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2018	21.02.2018 Flüchtige Gruppe 2 Metallvorläufer EP2540731 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2010 Erteilt am 21.02.2018 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2018	24.01.2018 Verfahren zum Entfernen von Kohlenstoff von einem Organosilikatmaterial EP2199428 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2009 Erteilt am 24.01.2018 Vertretung Sommer, Andrea · München ANDREA \| SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB Westendorp Sommer · München Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2018	17.01.2018 Verfahren zur Ablagerung Poröser Organosilikatglasfilme zur Verwendung als Resistiver Direktzugriffsspeicher EP3268997 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2016 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2017	27.12.2017 Verfahren und Ausrüstung zum selektiven Auffangen von Prozessabgasen EP2463012 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2011 Erteilt am 27.12.2017 Vertretung Hatt, Anna Louise · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2017	27.12.2017 Entschichtungsmittel mit Hoher Wn-/w-Ätzselektivität EP3040409 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2015 Erteilt am 27.12.2017 Vertretung Sommer, Andrea · München ANDREA \| SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2017	20.12.2017 Verfahren zur Ablagerung von Silizium-enthaltenden Schichten mit Organoaminodisilan-Vorläufern EP2669249 Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2013 Erteilt am 20.12.2017 Vertretung Muir, Benjamin M. J · London Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2017	22.11.2017 Doppeldurchflussventil und Behandlungsbehälter mit Innenisolationssystem EP1715225 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2006 Erteilt am 22.11.2017 Vertretung Kador & Partner Part mbB · München Kador & Partner · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2017	15.11.2017 Ausgabebehälter mit Strömungsverteiler EP3243927 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.05.2017 Anhängig Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2017	18.10.2017 Ultraschall-Flüssigkeitsstandmesssysteme EP2803955 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2014 Erteilt am 18.10.2017 Vertretung Beck Greener LLP · London Beck Greener · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2017	11.10.2017 Elektrochemisches Verfahren und Zelle für die Herstellung von Monogerman EP2426235 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2011 Erteilt am 11.10.2017 Vertretung Hatt, Anna Louise · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung The invention relates to the electrolysis of aqueous electrolyte solutions containing GeO<2>; hydroxide and water with metal alloy electrodes, such as copper or tin rich alloy electrodes with alloying elements such as Sn, Pb, Zn, Cu etc, to generate Germane (GeH<4>). Cu-rich alloy electrodes have been demonstrated to increase the GeH<4> current efficiency by almost 20 % compared to Cu metal electrodes. Germanium deposition has been found to be either absent or minimal by using Cu-rich alloy electrodes. Several different methods for maintaining the cell performance or restoring the cell performance after a reduction in current efficiency over time have been identified. A titration-based method for the analysis of the electrolyte to obtain the concentration of GeO<2> and the concentration of hydroxide is also disclosed. <img class="EMIRef" id="80433273-iaf01" /> Alle Patent-Informationen
11.10.2017	11.10.2017 Mechanische Verstärkung von dichten und porösen Organosilikatmaterialien durch UV-Bestrahlung EP1457583 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2004 Erteilt am 11.10.2017 Vertretung Kador & Partner · München Kador & Partner Part mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2017	11.10.2017 Verbesserte Haftung an Kupfer für verbesserten Kupfer-Elektromigrationswiderstand EP2105960 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2009 Erteilt am 11.10.2017 Vertretung Hatt, Anna Louise · London Beck Greener · London Beck Greener LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen