ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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28.08.2025
Maintaining an optical focus of an optical element for improving performance of a metrology system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.01.2025
Anhängig
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28.08.2025
Machine Learning Assisted Pupil Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2025
Anhängig
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28.08.2025
Improvements to lithographic methods and apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.01.2025
Anhängig
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27.08.2025
Durch Maschinenlernen Unterstützte Pupillenmetrologie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.08.2025
Elektrische Verbindungsprüfung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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27.08.2025
Bestimmung eines Ätzeffekts auf Basis einer Gerichteten Ätzreserve
Optik & Fototechnik
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27.08.2025
Lithographischer Apparat und Verfahren
Optik & Fototechnik
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21.08.2025
Apparatus for use in a metrology tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
An illumination and detection arrangement and a method for a metrology arrangement
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
Systems and methods of energy-based filtering and detection of charged particles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
Metrology method and associated metrology device
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
Lithographic apparatus and method with fast alignment measurements using deformation prediction models
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
Apparatus and method for securing a die for die bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2025
Anhängig
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21.08.2025
Deformable optical component actuation and modulation in a metrology system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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20.08.2025
Spiegelschicht und Spiegel für einen Lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
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20.08.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Entrauschungsmodells
Software & Datenverarbeitung
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20.08.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
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20.08.2025
Elektronenoptisches Element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.08.2025
Ausrichtung von Elektronenoptischen Elementen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.08.2025
Interferometer system without walk-off, method for using an interferometer system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.01.2025
Anhängig
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13.08.2025
Elektronenoptisches Modul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.08.2025
System zur Messung von Wellenfrontaberrationen und Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A wavefront aberration measurement system for determining aberrations of a projection system is described, the system comprising: a first 2 dimensional grating, a second 2 dimensional grating, a radiation source configured to irradiate the first 2 dimensional grating, and a detector configured to detect radiation from the radiation source having in sequence interacted with the first 2 dimensional grating, the projection system and the second 2 dimensional grating and The system further comprises a control device configured to perform phase stepping by moving the first 2 dimensional grating and the second 2 dimensional grating in respect of each other along a diagonal of the first 2 dimensional grating and the second 2 dimensional grating with an alignment phase difference between the X-direction and the Y-direction, thereby obtaining detector data. |
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13.08.2025
Vakuumbelichtungsvorrichtung und Bewertungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.08.2025
Beleuchtungs- und Detektionsanordnung und Verfahren für eine Metrologieanordnung
Optik & Fototechnik
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13.08.2025
Vorrichtung mit mehreren Strahlverändernden Modulen zur Verwendung in einem Metrologiewerkzeug
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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07.08.2025
Dosage-controlled voltage contrast inspection in charged-particle beam systems and methods thereof
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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07.08.2025
Systems and methods for guided template matching in metrology systems
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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07.08.2025
Collector mirror and collector mirror assembly for lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.01.2025
Anhängig
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06.08.2025
Optische Anordnung für Geladene Teilchen in einem Teilchenstrahlapparat
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.08.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verarbeitung einer Probe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.08.2025
Parametrisierte Inspektionsbildsimulation
Software & Datenverarbeitung
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06.08.2025
Verfahren zum Bearbeiten einer Probe mittels einer Teilchenstrahlvorrichtung zur Bewertung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.08.2025
Kühlvorrichtung zum Kühlen einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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31.07.2025
Improved Reticle Stage Thermal Overlay
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.12.2024
Anhängig
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31.07.2025
Time-division multiplexing wafer z tilt-height sensor for charged particle beam focusing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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31.07.2025
Exposure apparatus and method with reduction of an overlay error
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.01.2025
Anhängig
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31.07.2025
Image position measurement method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.01.2025
Anhängig
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30.07.2025
Lithographischer Apparat und Zugehöriges Verfahren
Optik & Fototechnik
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30.07.2025
System und Verfahren zur Bildauflösungscharakterisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.07.2025
Montierte Hohlkernfaseranordnung
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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