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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
28.08.2025
Maintaining an optical focus of an optical element for improving performance of a metrology system
Optik & Fototechnik
28.08.2025
Machine Learning Assisted Pupil Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Improvements to lithographic methods and apparatus
Optik & Fototechnik
27.08.2025
Durch Maschinenlernen Unterstützte Pupillenmetrologie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2025
Elektrische Verbindungsprüfung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.08.2025
Bestimmung eines Ätzeffekts auf Basis einer Gerichteten Ätzreserve
Optik & Fototechnik
27.08.2025
Lithographischer Apparat und Verfahren
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Apparatus for use in a metrology tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.08.2025
An illumination and detection arrangement and a method for a metrology arrangement
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Systems and methods of energy-based filtering and detection of charged particles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2025
Metrology method and associated metrology device
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Lithographic apparatus and method with fast alignment measurements using deformation prediction models
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Apparatus and method for securing a die for die bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2025
Deformable optical component actuation and modulation in a metrology system
Optik & Fototechnik
20.08.2025
Spiegelschicht und Spiegel für einen Lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
20.08.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Entrauschungsmodells
Software & Datenverarbeitung
20.08.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
20.08.2025
Elektronenoptisches Element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2025
Ausrichtung von Elektronenoptischen Elementen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Interferometer system without walk-off, method for using an interferometer system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.08.2025
Elektronenoptisches Modul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
System zur Messung von Wellenfrontaberrationen und Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
13.08.2025
Vakuumbelichtungsvorrichtung und Bewertungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2025
Beleuchtungs- und Detektionsanordnung und Verfahren für eine Metrologieanordnung
Optik & Fototechnik
13.08.2025
Vorrichtung mit mehreren Strahlverändernden Modulen zur Verwendung in einem Metrologiewerkzeug
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.08.2025
Dosage-controlled voltage contrast inspection in charged-particle beam systems and methods thereof
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Systems and methods for guided template matching in metrology systems
Software & Datenverarbeitung
07.08.2025
Collector mirror and collector mirror assembly for lithography
Optik & Fototechnik
06.08.2025
Optische Anordnung für Geladene Teilchen in einem Teilchenstrahlapparat
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verarbeitung einer Probe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Parametrisierte Inspektionsbildsimulation
Software & Datenverarbeitung
06.08.2025
Verfahren zum Bearbeiten einer Probe mittels einer Teilchenstrahlvorrichtung zur Bewertung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
Kühlvorrichtung zum Kühlen einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
31.07.2025
Improved Reticle Stage Thermal Overlay
Optik & Fototechnik
31.07.2025
Time-division multiplexing wafer z tilt-height sensor for charged particle beam focusing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Exposure apparatus and method with reduction of an overlay error
Optik & Fototechnik
31.07.2025
Image position measurement method
Optik & Fototechnik
30.07.2025
Lithographischer Apparat und Zugehöriges Verfahren
Optik & Fototechnik
30.07.2025
System und Verfahren zur Bildauflösungscharakterisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2025
Montierte Hohlkernfaseranordnung
Optik & Fototechnik

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