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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
30.07.2025
Montierte Hohlkernfaseranordnung
EP3754389
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Dynamically decoupled ion pump and charged-particle beam system
WO2025153335
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Methods and systems to reduce effects of uncertain conditions for reticle heating
WO2025153303
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Metrology method for determining one or more parameters of a periodic target on an object and associated metrology apparatus
WO2025153300
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.07.2025
Clamping with a removable membrane in a lithography apparatus
WO2025153278
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Automatic correction for hardware-based sem tool time offset
WO2025153283
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Directly actuated patterning device for a lithography apparatus
WO2025153282
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Method of determining operational data, computer program and lithographic apparatus
WO2025153279
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Method of predicting an effect of a maintenance action in production of integrated circuits and associated apparatus
WO2025153272
Optik & Fototechnik
24.07.2025
Modular gas purification system for radiation source
WO2025153241
Elektronik & Schaltungstechnik
24.07.2025
Method and device for tuning flow velocity profile
WO2025153242
Elektronik & Schaltungstechnik
24.07.2025
Gas Flow Reallocation in Light Source
WO2025153240
Elektronik & Schaltungstechnik
23.07.2025
Pellikel und Verfahren zur Bildung des Pellikels zur Verwendung in einer Lithografischen Vorrichtung
EP4587888
Optik & Fototechnik
23.07.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Vorrichtung
EP4589380
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.07.2025
Abschwächer und Verfahren
EP3345054
Optik & Fototechnik
23.07.2025
Bestimmung einer Messrezeptur in einem Metrologischen Verfahren
EP4419968
Optik & Fototechnik
17.07.2025
Improvements to lithographic methods and apparatus
WO2025149231
Optik & Fototechnik
17.07.2025
Colour Selection Module
WO2025149338
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.07.2025
Method of forecastig a drift in a parameter of interest in a semiconductor manaufacturing process
WO2025149331
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
17.07.2025
Method for controlling a manufacturing apparatus and associated apparatuses
WO2025149332
Optik & Fototechnik
16.07.2025
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4584636
Optik & Fototechnik
16.07.2025
Verfahren zur Herstellung eines Pellikels für eine Lithographische Vorrichtung und Pellikel für eine Lithographische Vorrichtung
EP3365730
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
10.07.2025
Lithographic apparatus and associated method
WO2025146282
Optik & Fototechnik
10.07.2025
Electron energy fluctuation stabilizing and compensating methods and techniques for electron-beam systems
WO2025146461
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2025
Verfahren zur Konfiguration eines Sichtfeldes einer Inspektionsvorrichtung
EP4581426
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.07.2025
System und Verfahren zur Detektion von Partikeln mit einem Detektor Während der Inspektion
EP4581685
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2025
Farbauswahlmodul
EP4582869
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.07.2025
Internal light source, lithographic apparatus, metrology systems, and method thereof
WO2025140833
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.07.2025
Method and system for multi channel mask prediction
WO2025140817
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.07.2025
Systems and methods of laser-to-droplet positioning with tilt range keep assist during extreme ultraviolet radiation generation
WO2025140805
Elektronik & Schaltungstechnik
03.07.2025
Extreme Ultraviolet Light Generation Sequence For an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2025140811
Elektronik & Schaltungstechnik
03.07.2025
System and method for overlay metrology with reduced coherence and speckle contrast
WO2025140832
Optik & Fototechnik
02.07.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Mehrstufigen Chipbonden
EP4579723
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2025
Lithografische Vorrichtung und Kühlverfahren
EP3610328
Verfahrens- & Trenntechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
26.06.2025
Readout circuit design for charged particle detection applications
WO2025131845
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Vacuum exposure apparatus and assessment system
WO2025131589
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Leed and ptychography based surface profile determination and inspection
WO2025131995
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.06.2025
Sensor and method for qualification of a topography of a surface of a die for die bonding
WO2025131543
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
26.06.2025
System and method for stress release in die bonding
WO2025131544
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
26.06.2025
Contour-based framework for monitoring and evaluating process quality and variation
WO2025131528
Optik & Fototechnik

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60
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35

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