ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

5.380 gesamt
Patent
15.09.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Wartung eines Maschinenteils
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographische Projektionsanordnung, Gerät und Verfahren zur Substrathandhabung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2004
Lithographische Projektionsanordnung, Schleuseneinrichtung und Verfahren zur Übertragung von Gegenständen
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Hochauflösender, mit Gasströmung betriebener Näherungssensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
15.09.2004
Mit Flüssigkeitsströmung betriebener Näherungssensor für den Einsatz in der Immersionslithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
08.09.2004
Vorrichtung und Verfahren zur Manipulation und Lenkung eines Messstrahls
Optik & Fototechnik
02.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Abgabe von Halbleiterverarbeitungslösungen mit mehreren Spritzen für Flüssigkeitsabgabeanordnungen
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
01.09.2004
Strukturen und Verfahren zur Verringerung der Aberration in Optischen Systemen
Optik & Fototechnik
01.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Oberflächenkontamination eines Teils eines Lithographischen Apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.08.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
Optik & Fototechnik
11.08.2004
Apparat und Verfahren für Lithographie
Optik & Fototechnik
05.08.2004
Tailored reflecting diffractor for euv lithographic system aberration measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.07.2004
Kühlung von linearen Schwingmotoren in lithographischen Projektionsapparaten
Optik & Fototechnik
21.07.2004
Detektoranordnung und mit einer solchen Detektoranordnung ausgestatteter lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
21.07.2004
Lithographischer Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
30.06.2004
Behälter für eine Maske
Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und diese Vorrichtung
Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Substrathalter
Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und diese Vorrichtung
Optik & Fototechnik
23.06.2004
Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche einer Komponente eines lithographischen Projektionsaparats, lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Reinigungssystem
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
09.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.06.2004
Lithgraphischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikel und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
09.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2004
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
19.05.2004
Anordnung und System zur Verbesserung der Abbildungsgenauigkeit einer Phasenverschiebungsmaske und verwandte Verfahren
Optik & Fototechnik
19.05.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.05.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit rückwärtigen Ausrichtmarken
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
06.05.2004
Maskenschutz und -Transport
Optik & Fototechnik
28.04.2004
Verfahren zum Schutz von zur Befestigung von optischen Elementen verwendeten Klebern vor ultra-violettem Licht
Optik & Fototechnik
21.04.2004
Lithographischer Apparat mit Vakuumkammer und interferometrischem Ausrichtungssystem
Optik & Fototechnik
15.04.2004
Beleuchtungssystem F R eine Wellenl Nge = 193 Nm mit Sensoren zur Bestimmung der Ausleuchtung
Optik & Fototechnik

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen