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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
15.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
15.12.2004
Waferbehandlungssystem und Verfahren zur Verwendung in einer lithographischen Musterungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2004
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
01.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
01.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.12.2004
Verfahren zur Kalibrierung eines lithographischen Apparates
Optik & Fototechnik
01.12.2004
System und Methode zur Herstellung von Graustufen durch die Verwendung von räumlichen Lichtmodulatoren in einem maskenlosen Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
24.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
24.11.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
24.11.2004
Methode zum Beschichten eines Substrats für die EUV-Lithographie, sowie Substrat mit Fotoresistschicht
Optik & Fototechnik
24.11.2004
Steuerungssystem, lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung eines Gerätes und hiermit hergestelltes Gerät
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
24.11.2004
EUV-Kondensor mit einer nichtabbildenden Optik
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Zur Herstellung eines mikroelektronischen Elements geeignete Struktur einer lithographischen Marke
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergestellter Artikel
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zur Eichung eines lithographischen Geräts, Ausrichtverfahren, Komputerprogramm, lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zum Charakterisieren eines Verfahrensschritts und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
10.11.2004
Substrathalter für einen lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
10.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
10.11.2004
Verfahren zur Herstellung von Komponenten für einen lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
10.11.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
27.10.2004
Lithographisches Verfahren, sowie damit hergestelltes Gerät
Optik & Fototechnik
20.10.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.10.2004
Lithographischer Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
20.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.10.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Photomaskensatz zur Durchführung des Verfahrens
Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.10.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Photomaskensatz zur Durchführung des Verfahrens
Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Computerprogramm
Optik & Fototechnik
06.10.2004
Vorrichtung zur Übertragung eines Objekts, Verfahren zur deren Verwendung und lithographischer Belichtungsapparat diese Übertragungsvorrichtung enthaltend
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
06.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
23.09.2004
Ein Verfahren und ein System um die Zeitschwankungen Beim Scannen in einem Halbleiterwaferherstellungssystem Auszugleichen
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2004
Substrathandhabungsvorrichtung zur Verwendung in lithographischen Projektionsapparaten
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

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