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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
26.06.2025
Method and apparatus for assessing a sample surface, method of scanning a sample surface, and charged particle assessment apparatus
WO2025131457
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Multi-beam charged-particle apparatus for uniform probe current
WO2025131509
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
System and methods for offline calibration of reticle, optical element and substrate thermal heating models
WO2025131506
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Non-centrosymmetric fringe-based metrology targets and methods
WO2025131461
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Charging particle-optical device, charged particle-optical module, method of projecting a plurality of charged particle beams towards a sample
WO2025131468
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Method of forming a patterned layer of material, method of forming an electronic device, apparatus for forming a patterned layer of material
WO2025131527
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
26.06.2025
Thermal Deformation Compensation in Charged-Particle Beam Apparatus
WO2025132492
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Method and apparatus for power supply synchronization
WO2025131510
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
26.06.2025
Module and charged particle-optical device
WO2025131453
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
A color selection module for filtering a selectable wavelength band
WO2025131447
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Charged particle-optical apparatus and method of processing a sample
WO2025131442
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Sensor and method for qualification of a topography of a surface of a die for die bonding
WO2025131543
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
26.06.2025
Leed and ptychography based surface profile determination and inspection
WO2025131995
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.06.2025
Contour-based framework for monitoring and evaluating process quality and variation
WO2025131528
Optik & Fototechnik
26.06.2025
System and method for stress release in die bonding
WO2025131544
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
26.06.2025
Readout circuit design for charged particle detection applications
WO2025131845
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Apparatus and method for multi-stage die bonding
WO2025131545
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Control of laser of euv source of a lithographic apparatus
WO2025131549
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Vacuum exposure apparatus and assessment system
WO2025131589
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Conversion Layers To Block Outgassing in Hydrogen Plasma
WO2025131569
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Metrology accuracy improvement using reference geometric parameter
WO2025131571
Optik & Fototechnik
26.06.2025
Charged particle-optical module, charged particle-optical device, and a method of using a charged-particle apparatus
WO2025131599
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Systems and methods for signal-based defect classification in transient inspection
WO2025131570
Software & Datenverarbeitung
26.06.2025
Charged particle-optical arrangement for a charged particle beam apparatus
WO2025131937
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Lithographic apparatus and device manufacturing method with preventing contaminant particles from being deposited on a sensitive component, such as a patterning surface of a patterning device
WO2025131731
Optik & Fototechnik
26.06.2025
System and method for die bonding with radiation release
WO2025131758
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Method of pellicle detection, and computer program for pellicle monitoring
WO2025131791
Optik & Fototechnik
26.06.2025
High-Voltage Discharge Detection in A Charged Particle System
WO2025131747
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Optical amplifier and components therefor
WO2025131627
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
High pressure and deep vacuum electrical feedthrough
WO2025131697
Elektronik & Schaltungstechnik
25.06.2025
Verfahren zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung, Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht
EP4575032
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
Optische Ladungsteilchenvorrichtung, Optisches Ladungsteilchenmodul, Verfahren zur Projektion mehrerer Ladungsteilchenstrahlen auf eine Probe
EP4576155
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
Optisches Modul für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verwendung einer Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4576158
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
Farbauswahlmodul zur Filterung eines Wählbaren Wellenlängenbandes
EP4575636
Optik & Fototechnik
25.06.2025
Euv-Quellensteuerung mit Konstantem oder Langsam Veränderlichem Durchschnittlichem Laserausgangsleistungsniveau für eine Lithografische Vorrichtung
EP4575643
Optik & Fototechnik
25.06.2025
Behälter zur Strahlungsaufnahme mit einer Kühlfalle zur Verunreinigungssammlung
EP4575644
Optik & Fototechnik
25.06.2025
System mit Geladenen Teilchen und Verfahren zum Ausbrennen eines Systems mit Geladenen Teilchen
EP4576159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
Optischer Verstärker und Komponenten dafür
EP4574233
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
System und Verfahren zum Chipbonden mit Strahlungsfreisetzung
EP4576084
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2025
Konditionierungssystem, -Anordnung und -Verfahren
EP4573412
Optik & Fototechnik

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