ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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25.06.2025
System mit Geladenen Teilchen und Verfahren zum Ausbrennen eines Systems mit Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Leed- und Ptychographiebasierte Oberflächenprofilbestimmung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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25.06.2025
Hochspannungs-Entladungserkennung in einem Geladenen Partikelsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Verfahren zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung, Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Optischer Verstärker und Komponenten dafür
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Konditionierungssystem, -Anordnung und -Verfahren
Optik & Fototechnik
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25.06.2025
System und Verfahren zum Chipbonden mit Strahlungsfreisetzung
Akustik, Musik & Datenspeicherung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.06.2025
Method of scanning a sample with non-circular beam spots
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
A distributed system for wafer print check
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Droplet metrology using tunable-wavelength laser
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Method and system for primitive-based mask prediction
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Detection of yield-critical defects using the medial axis of 3d-stacked charged-particle beam inspection images
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Methods and samples to determine charged-particle beam spot size
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Holistic Calibration
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2024
Anhängig
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18.06.2025
Auf Bereichsdichte Basierender Fehlausrichtungsindex zur Bildausrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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18.06.2025
Ganzheitliche Kalibrierung
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A method is provided for measuring a characteristic feature or property of a sub-target (e.g., a component of an integrated circuit, IC, fabricated using a lithography production process). The sub-target is located on a target, which includes one or more other sub-targets. The method involves arranging each of the sub-targets in a plurality of disjunct positions within an illumination spot of electromagnetic radiation and measuring the intensity of electromagnetic radiation diffracted from each of the sub-targets at those respective positions. Corrected intensities of electromagnetic radiation diffracted by the corresponding sub-target are determined. |
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18.06.2025
Differenzialmesssystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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18.06.2025
Übersprechungsverringerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.06.2025
Method of substrate support repair
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Radiation source assembly for generating broadband radiation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Radiation Sensor
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
Fluid Handling Structure
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.10.2024
Anhängig
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12.06.2025
Method and system for perturbing mask pattern
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Signal processing method, signal processor, assessment method, and assessment apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
Metrology apparatus and associated methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Systems and methods of particle contamination reduction in charged-particle beam systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Laser powered plasma based euv generation system
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Metrology tool and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2024
Anhängig
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11.06.2025
Strahlungsquellenanordnung zur Erzeugung Breitbandiger Strahlung
Optik & Fototechnik
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11.06.2025
Metrologievorrichtung und -Verfahren mit Empfang von Streustrahlung in mehreren Diskreten Zeitintervallen
Optik & Fototechnik
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11.06.2025
Signalverarbeitungsverfahren, Signalprozessor, Beurteilungsverfahren und Beurteilungsvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.06.2025
Metrologievorrichtung und Zugehörige Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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11.06.2025
Laserbetriebenes, Plasmabasiertes Euv-Erzeugungssystem
Elektronik & Schaltungstechnik
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05.06.2025
Method of setting up of a lithography apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Reticle load lock system and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.10.2024
Anhängig
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05.06.2025
Assembly for wavelength calibration
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.10.2024
Anhängig
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05.06.2025
Method of determining a correction for an exposure process, lithography apparatus and computer program
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.10.2024
Anhängig
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05.06.2025
Robotic Arm For Cleaning Structure Surface in Chamber
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.10.2024
Anhängig
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05.06.2025
Electron-optical system, method of manufacturing an electron beam element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2024
Anhängig
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04.06.2025
Trainieren eines Modells zur Erzeugung Prädiktiver Daten
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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