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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
04.06.2025
Elektrolyseur mit Laminarer Strömung
EP4562228
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
04.06.2025
Verfahren zum Einrichten eines Lithographiegeräts
EP4564096
Optik & Fototechnik
04.06.2025
Elektronenoptisches System, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenstrahlelements
EP4564396
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur für einen Belichtungsprozess, Lithographievorrichtung und Computerprogramm
EP4564095
Optik & Fototechnik
30.05.2025
Device and method for projecting a plurality of charged particle beams
WO2025109080
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
System for controlling gas flow in a laser discharge chamber
WO2025108832
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
Contrastive deep learning for defect inspection
WO2025108661
Software & Datenverarbeitung
30.05.2025
Heat transfer systems for an extreme ultraviolet radiation utilization apparatus, methods of manufacturing the same and heat transfer methods for an extreme ultraviolet radiation utilization apparatus
WO2025108637
Optik & Fototechnik
30.05.2025
Tin handling device and apparatus, euv generation apparatus, euv utilization apparatus, use thereof, and method of removing tin
WO2025108687
Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2025
Radiation Source
WO2025108684
Optik & Fototechnik
30.05.2025
Scrubber system, euv radiation source and euv utilization system comprising the same, and method of removing contamination
WO2025108636
Elektronik & Schaltungstechnik
28.05.2025
Verbesserte Kantendetektion mit Detektoreinfallstellen
EP4559016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Detektor für Geladene Teilchen für Mikroskopie
EP4559015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
System und Verfahren zum Zählen von Partikeln auf einem Detektor Während der Inspektion
EP4558845
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Optischen Eigenschaft einer Mehrschichtigen Struktur
EP4560400
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.05.2025
Anordnung zur Wellenlängenkalibrierung
EP4560401
Optik & Fototechnik
28.05.2025
System und Verfahren zur Bereitstellung von Ausgangsstrahlung
EP4560394
Optik & Fototechnik
28.05.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Projektion mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
EP4560682
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Strahlungsquelle
EP4560393
Optik & Fototechnik
22.05.2025
Patterning process assessment systems and methods
WO2025106702
Optik & Fototechnik
22.05.2025
Pellicle Membrane
WO2025103773
Optik & Fototechnik
22.05.2025
Method and apparatus for conditioning and directing a radiation beam
WO2025103666
Optik & Fototechnik
22.05.2025
Method and system for clustering patterns for optical proximity correction verification process
WO2025103701
Optik & Fototechnik
22.05.2025
Direct edge placement error measurement using a high voltage scanning charged particle microscope and machine learning
WO2025103678
Software & Datenverarbeitung
22.05.2025
Methods and systems for removing tin contaminants
WO2025103679
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
21.05.2025
Verfahren und System zur Feinfokussierung Sekundärer Strahlpunkte auf einem Detektor für Mehrstrahlinspektionsvorrichtung
EP4555550
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2025
Spiegelanordnung für Mikrospiegelarray
EP4555382
Optik & Fototechnik
21.05.2025
Transiente Defektinspektion unter Verwendung eines Inspektionsbildes
EP4555474
Software & Datenverarbeitung
21.05.2025
Verfahren und Anordnungen zur Wellenlängenkalibrierung
EP4556869
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.05.2025
Isolierender Abstandshalter für Elektronenoptische Anordnung
EP4555549
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2025
Metrologie- und Steuerungssystem
EP4555832
Elektronik & Schaltungstechnik
21.05.2025
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung, Computerprogramm und Verfahren
EP4555383
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Source, assessment apparatus, method of cleaning a charged particle source, method of cleaning a component of an assessment apparatus
WO2025098766
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Substrate support, substrate support system and method to clamp a substrate on a substrate support
WO2025098681
Optik & Fototechnik
15.05.2025
Charged particle system and method of baking out a charged particle system
WO2025098867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Method and apparatus for measuring a topography of a surface of an object
WO2025098678
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.05.2025
Neural network feedforward framework for compliance compensation
WO2025098693
Steuerungs- & Regelungstechnik
15.05.2025
Image Ripple Correction By Dynamic Compensation
WO2025098697
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Focus metrology method and method for designing a focus target for focus metrology
WO2025098704
Optik & Fototechnik
15.05.2025
Design aware dynamic pixel sizes to boost scanning electron microscopy inspection and metrology throughput
WO2025098768
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
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67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
Verfahrens- & Trenntechnik
55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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