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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
01.11.2023
Elektronenoptische Säule und Verfahren zum Richten eines Primärelektronenstrahles auf eine Probe
EP4268257
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2023
Elektronenlinse
EP4268256
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Computerimplementiertes Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens
EP4104018
Optik & Fototechnik
25.10.2023
Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3408829
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Verfahren zum Filtern von Falschen Positiven für einen Pixelierten Elektronendetektor
EP4266347
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Thermisch Unterstützte Inspektion durch Erweitertes Ladungssteuerungsmodul in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4264653
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2023
Verfahren zur Räumlichen Ausrichtung einer Strukturierungsvorrichtung und eines Substrats
EP4261619
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Komponente und Verfahren für eine Lithographievorrichtung
EP4260142
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur zur Steuerung eines Lithographischen Und/oder Metrologischen Prozesses und Zugehörige Vorrichtungen
EP4261618
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Metrologieverfahren und Zugehörige Vorrichtungen
EP4261617
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.10.2023
Verfahren und Computerprogramm zum Gruppieren von Musterstrukturen eines im Wesentlichen Unregelmässigen Musterlayouts
EP4261616
Optik & Fototechnik
11.10.2023
Werkzeug für Geladene Teilchen, Kalibrierungsverfahren, Inspektionsverfahren
EP4256601
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Beurteilungswerkzeug für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren und Bild
EP4256600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Sensorsubstrat, Gerät und Verfahren
EP4258320
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Winkelaufgelösten Reflexionsprofils
EP4258058
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Metrologievorrichtung auf Basis von Erzeugung Hoher Oberschwingungen und Zugehöriges Verfahren
EP4252071
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.10.2023
Flüssigkeitshandhabungssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
EP4252072
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Verfahren zur Bestimmung der Markierungsstruktur von Überlagerten Fingerabdrücken
EP4252073
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Hochpräzises Temperaturkompensiertes Piezoresistives Positionsmesssystem
EP4252074
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2023
Verfahren zur Bestimmung der Räumlichen Verteilung eines Relevanten Parameters über mindestens ein Substrat oder einen Teil davon
EP4254068
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Strahlungsquelle
EP3688530
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2023
Verfahren in Bezug auf ein Autocoder-Modell oder Ähnliches zum Herstellen von Prozessparameterschätzung
EP4254266
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.09.2023
Einrichtungs- und Kontrollverfahren für einen Lithografischen Prozess und Zugehörige Geräte
EP4250009
Optik & Fototechnik
27.09.2023
Elektrostatische Klemme
EP4248274
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2023
Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4250332
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2023
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4250331
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Filterung von Messstrahlung
EP4250010
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.09.2023
Auf Aktivem Lernen Basierende Defektortidentifizierung
EP4244677
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Aktuator, Linearmotor und Lithographische Vorrichtung
EP3631957
Elektrische Energietechnik
20.09.2023
Anordnung einer Objektivlinsengruppe, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches Systemarray, Verfahren zur Fokussierung
EP4244881
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.09.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Vertikalen Position einer Struktur auf einem Substrat und Zugehörige Vorrichtungen
EP4246231
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren und Computerprogramme zur Konfiguration eines Abtastschemaerzeugungsmodells
EP4244675
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Beleuchtungsanordnung für eine Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren
EP4246232
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Halbleitersubstratmessvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
EP4235306
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Verformung eines Optischen Elements
EP4244676
Optik & Fototechnik
13.09.2023
Verfahren zur Korrektur von Messungen bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen und Zugehörige Vorrichtungen
EP4242744
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.09.2023
Positionsbestimmung in einem Lithografiesystem mit einem Substrat mit Teilweise Reflektierender Druckmarke
EP2699967
Optik & Fototechnik
06.09.2023
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
EP4239215
Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.09.2023
Modensteuerung von auf Photonischer Kristallfaser Basierenden Breitbandlichtquellen
EP4224250
Optik & Fototechnik
06.09.2023
Retikel Stage
EP4239410
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
356
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Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
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60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
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34
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33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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