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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
03.04.2025
Systeme und Verfahren zur Kontaktlosen Messung von Energiebarrieren Während der Vorrichtungsherstellung
EP4785380
03.04.2025
A method of spectrally configuring measurement illumination of a metrology tool and associated apparatuses
WO2025067761
Optik & Fototechnik
03.04.2025
A measurement system and a diffraction grating therefor
WO2025067757
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.04.2025
Systems and methods for contactless measurement of energy barriers during device fabrication
WO2025067791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas eines Beleuchtungssystems, Quellenmodul, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP4530719
Optik & Fototechnik
02.04.2025
Verfahren zur Spektralen Konfiguration der Messbeleuchtung eines Messwerkzeugs und Zugehörige Vorrichtungen
EP4530717
Optik & Fototechnik
02.04.2025
Verfahren zur Beurteilung eines Geladenen Teilchenstrahls und Verfahren zur Beurteilung einer Matrix von Strahlen
EP4531072
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2025
Beschleunigung von Elektromagnetischen Vorwärtsberechnungen für Sxr-Rekonstruktion
EP4530718
Optik & Fototechnik
27.03.2025
Systems and methods for motion control of a patterning device in a lithography apparatus
WO2025061615
Optik & Fototechnik
27.03.2025
Radiation system
WO2025061442
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
27.03.2025
Substrate Coupling Systems
WO2025061386
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2025
Strahlungssystem
EP4781250
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
27.03.2025
Optical element for use in euv lithography
WO2025061415
Optik & Fototechnik
27.03.2025
Projection system characterisation system and method
WO2025061398
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2025
Optical vortex based metrology systems and methods
WO2025061389
Optik & Fototechnik
26.03.2025
Verfahren zur Optimierung der Wartung eines Lithographischen Apparates
EP4526735
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.03.2025
Diffraktionsbasierte Pupillenbestimmung zur Optimierung von Lithographischen Prozessen
EP4526731
Optik & Fototechnik
26.03.2025
Überwachung von Lichtemissionen
EP3871473
Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2025
Bestimmung einer Korrektur an einem Prozess
EP3974906
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
26.03.2025
Optisches Element für die Euv-Lithographie
EP4528376
Optik & Fototechnik
20.03.2025
Method for determining root causes of events of a semiconductor manufacturing process and for monitoring a semiconductor manufacturing process
WO2025056258
Steuerungs- & Regelungstechnik
20.03.2025
Lithographic apparatus and gas lock funnel
WO2025056249
Optik & Fototechnik
20.03.2025
Membrane monitoring apparatus and method, and lithographic apparatus
WO2025056263
Optik & Fototechnik
20.03.2025
Molten Metal Transfer Line
WO2025056269
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.03.2025
Real time recipe tuning for inspection system
WO2025056262
Software & Datenverarbeitung
20.03.2025
Method for reducing stochastic failures via source-mask optimization
WO2025056265
Optik & Fototechnik
20.03.2025
An optical filter, a heterodyne interferometer system comprising the filter, and a method for filtering an input beam for a heterodyne interferometer
WO2025056241
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.03.2025
Method of determining a dimensional parameter of a microstructured optical fiber
WO2025056353
Optik & Fototechnik
20.03.2025
Systems and methods for beam alignment in multi charged-particle beam systems
WO2025056308
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Optisches Filter, Heterodynes Interferometersystem mit dem Filter und Verfahren zur Filterung eines Eingangsstrahls für ein Heterodynes Interferometer
EP4777798
20.03.2025
Echtzeit-Rezeptabstimmung für ein Inspektionssystem
EP4778024
Software & Datenverarbeitung
20.03.2025
Setpoint generator, position control system, stage apparatus and exposure apparatus
WO2025056316
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.03.2025
Substratkopplungssysteme
EP4525029
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2025
Verfahren zur Bestimmung eines Abmessungsparameters einer Mikrostrukturierten Optischen Faser
EP4524625
Optik & Fototechnik
19.03.2025
Bewegliche Trägerplatte für einen Lithographischen Apparat
EP4523045
Optik & Fototechnik
13.03.2025
Semi-supervised, self-supervised, and reinforcement learning machine learning models for mask prediction
WO2025051477
Optik & Fototechnik
13.03.2025
Verstopfungsresistente Tröpfchengeneratoren für Euv-Lichtquellen
EP4774990
Elektronik & Schaltungstechnik
13.03.2025
System and method for substrate disturbance minimization, and lithographic apparatus including the system
WO2025051458
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2025
Linear motor with cogging compensation
WO2025051467
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
13.03.2025
Method of determining a positioning correction for a lithographic process
WO2025051465
Optik & Fototechnik

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